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[实用新型]一种用于镀膜机的工艺腔笼架结构及镀膜机-CN202321034357.2有效
发明人：李龙哲;沈聚丰;夏伟;朱显君;李花;周征华;马玉升 -专利权人：上海哈呐技术装备有限公司
申请日： 2023-05-04 - 公布日： 2023-09-22 - 主分类号： C23C14/50 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于镀膜机的工艺腔笼架结构及镀膜机，所述笼架结构包括第一转盘、第二转盘、驱动装置以及若干固定件，所述第一转盘设置在所述镀膜室内靠近顶壁的位置，所述第二转盘朝向所述第一转盘远离所述顶壁一侧设置；驱动装置的驱动轴依次穿过所述第一转盘和所述第二转盘，并与所述第一转盘和所述第二转盘固定连接；若干固定件包括设置在所述第一转盘上的固定件以及设置在所述第二转盘上的固定件，设置在所述第一转盘上的固定件与设置在所述第二转盘上的固定件一一对应，待镀膜产品或工装板固定于相对应的所述固定件，能够在固定待镀膜产品时避免使用多余工具，提高了便捷性以及工作效率。
一种用于镀膜工艺腔笼架结构

[实用新型]一种用于镀膜机的工艺腔可变笼架结构及镀膜机-CN202321034456.0有效
发明人：李龙哲;沈聚丰;夏伟;朱显君;李花;周征华;马玉升 -专利权人：上海哈呐技术装备有限公司
申请日： 2023-05-04 - 公布日： 2023-09-08 - 主分类号： C23C14/50 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于镀膜机的工艺腔可变笼架结构及镀膜机，所述可变笼架结构包括：转盘、驱动装置、固定模组及顶层隔板，所述转盘的数量为两个且两个所述转盘相互平行；所述驱动装置的驱动轴分别穿过两个所述转盘并将两者固定连接，所述驱动装置驱动所述驱动轴时，所述驱动轴带动两个所述转盘同步转动；所述固定模组的数量为两套，两套所述固定模组分别可拆卸安装于两个所述转盘上，待镀膜产品或者工装板两端分别设置在两个所述转盘的所述固定模组上；所述顶层隔板可拆卸设置于至少一个所述转盘一侧，且设置在所述转盘上的所述顶层隔板的延伸方向远离另一个所述转盘，能够针对不同种类及形状的待镀膜产品的固定方案做出调整，实用性很强。
一种用于镀膜工艺可变结构

[实用新型]一种用于镀膜机的换板结构及单体连续磁控溅射镀膜机-CN202320700777.3有效
发明人：李龙哲;沈聚丰;夏伟;朱显君;李花;周征华;马玉升 -专利权人：上海哈呐技术装备有限公司
申请日： 2023-04-03 - 公布日： 2023-09-08 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于镀膜机的换板结构及单体连续磁控溅射镀膜机，所述换板结构包括可移动支架，活动安装在镀膜机内可沿所述镀膜机的镀膜室出入；电磁发生装置，其设置在可移动支架上；若干磁性件，均设在用于放置待镀膜产品的工装板上，且所述磁性件与所述电磁发生装置相配合；可移动支架移动至第一预设位置时，电磁发生装置通电，能够使工装板固定吸附至可移动支架，从而使待镀膜产品能够通过可移动支架进入镀膜室进行镀膜工作；可移动支架移动至第二预设位置时，电磁发生装置断电，能够使工装板从可移动支架拆下，用户可通过对电磁发生装置通电状态的调整来实现拿取工装板及镀膜产品的目的，无需耗费多余人力装拆工装板，提升了效率。
一种用于镀膜板结单体连续磁控溅射

[实用新型]一种磁控溅射机-CN202222671300.5有效
发明人： 周征华;夏伟;沈聚丰;周显君;李花 -专利权人：上海哈呐技术装备有限公司
申请日： 2022-10-11 - 公布日： 2023-04-28 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本实用新型涉及镀膜技术领域，尤其涉及一种镀膜用的磁控溅射机。为保证磁控溅射机的镀膜质量，本实用新型提出一种磁控溅射机，该磁控溅射机的镀膜腔的侧壁上设置有多个抽气口，所述抽气口靠近所述磁控溅射机中的溅射靶位，且所述抽气口与抽气系统连通。本实用新型磁控溅射机中的镀膜腔上的抽气口靠近溅射靶位并与抽气系统连通，抽气系统在进行抽真空工作时，可通过抽气口将镀膜腔中的气体抽出，从而可使得溅射靶位周围的气氛保持一致，即使溅射靶周围的气氛保持一致，进而可提高本实用新型磁控溅射机的镀膜质量。
一种磁控溅射

[发明专利]一种磁控溅射镀膜机-CN202211366586.4在审
发明人： 周征华;李龙哲;朱显君;夏伟;李花;张亚芹 -专利权人：上海哈呐技术装备有限公司
申请日： 2022-11-01 - 公布日： 2023-01-10 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明属于镀膜设备领域，公开了一种磁控溅射镀膜机，蒸发镀膜室、溅射镀膜室和设置于蒸发镀膜室与溅射镀膜室之间可启闭地的翻板阀，翻板阀开启时蒸发镀膜室与溅射镀膜室连通，翻板阀关闭时将蒸发镀膜室与溅射镀膜室分隔为两个独立的腔室；蒸发镀膜室上设有可启闭的腔室门，蒸发镀膜室内设有前处理机构、AF蒸发机构和移载机构，溅射镀膜室内设有溅射机构；移载机构沿所述蒸发镀膜室至溅射镀膜室的方向可往复移动，用于将放置有待处理产品的工装板放入溅射镀膜室并从溅射镀膜室内拾取放置有已处理产品的工装板。本发明溅射镀膜室可始终保持真空状态，无需重新抽真空，可实现产品的连续性不间断溅射镀膜，大大提高生产效率。
一种磁控溅射镀膜

[实用新型]一种具有绝缘结构的镀膜传动装置-CN202222319067.4有效
发明人：夏伟;朱显君;沈聚丰;马玉升;李花;周征华 -专利权人：上海哈呐技术装备有限公司
申请日： 2022-09-01 - 公布日： 2022-12-27 - 主分类号： C23C14/50 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种具有绝缘结构的镀膜传动装置，包括支架、工装、驱动装置、电源装置和绝缘件。支架包括相对设置的上支撑架和下支撑架。工装用以安装待镀膜产品。所述工装连接于上支撑架和所述下支撑架。驱动装置设于上支撑架和/或下支撑架。电源装置用以电连接于工装。绝缘件设于上支撑架、下支撑架和工装的连接处。在镀膜过程中，驱动装置驱动上支撑架、下支撑架和工装旋转，且电源装置输出电流向工装供电，绝缘件在工装通电的情况下保持上支撑架和下支撑架绝缘。其通过在上支撑架、下支撑架以及工装的连接处设置绝缘件，使上支撑架与下支撑架在工装通电的情况下保持绝缘状态，提升产品的镀膜效果。
一种具有绝缘结构镀膜传动装置

[实用新型]一种具有辅助靶的磁控溅射镀膜装置-CN202222321816.7有效
发明人： 周征华;夏伟;李花;朱显君;沈聚丰;李龙哲 -专利权人：上海哈呐技术装备有限公司
申请日： 2022-09-01 - 公布日： 2022-12-27 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种具有辅助靶的磁控溅射镀膜装置，包括真空仓、磁控溅射靶、磁控辅助靶、仓门以及工装总成。磁控溅射靶呈纵向地设于真空仓侧壁面。磁控辅助靶呈横向地设于真空仓的上壁面和/或下壁面。仓门可转动地安装于真空仓的开口处。工装总成包括驱动组件、转轴和支架。转轴设于仓门上。支架设于转轴上，用以安装待镀膜产品。驱动组件用以在镀膜过程中驱动转轴带动支架转动，及磁控溅射靶和磁控辅助靶朝向待镀膜产品溅射靶原子，使靶原子在待镀膜产品上沉积形成厚度一致的膜层。其通过设置磁控辅助靶，提高镀膜装置对于具有弧形结构的待镀膜产品镀膜的均匀性和一致性，结构简单，且能够一定程度上提高产品镀膜的良品率。
一种具有辅助磁控溅射镀膜装置

[实用新型]用于镀膜机的磁控溅射装置-CN202122589706.4有效
发明人：夏伟;周征华;张亚芹;朱小凤;李花 -专利权人：上海哈呐技术装备有限公司
申请日： 2021-10-26 - 公布日： 2022-03-08 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本实用新型专利公开了一种用于镀膜机的磁控溅射装置，镀膜机包括镀膜室和转笼，转笼可转动地安装于镀膜室内。磁控溅射装置包括一控制器和至少一磁控溅射组件。磁控溅射组件包括一呈圆管状的靶材、一呈条状的磁轭和一驱动件。靶材安装于镀膜室内，且位于转笼外围。磁轭安装于靶材内部，且偏向于靶材的一侧。驱动件用于驱动磁轭围绕于靶材的轴线转动。控制器信号连接和/或电性连接于驱动件。在控制器的控制下，驱动件用于驱动磁轭转动，并将磁轭定位于朝向转笼的第一位置和远离转笼的第二位置。本实用新型通过将磁轭设置成可转动式，能够有效解决镀膜机在运行初期，从靶材逸出的溅射原子溅射至待镀膜产品上，从而可确保待镀膜产品的良品率。
用于镀膜磁控溅射装置

[发明专利]磁控溅射镀膜设备及镀膜方法-CN202111250744.5在审
发明人：李龙哲;周征华;夏伟;张亚芹;朱小凤;李花 -专利权人：上海哈呐技术装备有限公司
申请日： 2021-10-26 - 公布日： 2022-01-11 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本发明专利公开了一种磁控溅射镀膜设备及镀膜方法，磁控溅射镀膜设备包括一设备本体、一安装于设备本体内部的转笼及一安装于转笼内部的磁控溅射装置。转笼的内壁面用于安装镀膜产品，且转笼可围绕于磁控溅射装置转动，以使磁控溅射装置对镀膜产品进行均匀镀膜。其中，镀膜产品具有一镀膜面，当镀膜产品安装于内壁面时，镀膜面呈和内壁面轮廓相一致的凹面状。磁控溅射装置朝向镀膜面溅射靶材原子，靶材原子在镀膜面沉积形成厚度一致的膜层。当镀膜产品展开铺平时，膜层呈一完整的平面状态。本专利中，磁控溅射镀膜设备结构紧凑，占地空间小，且能够在很大程度上提高产品镀膜的良品率。
磁控溅射镀膜设备方法

[实用新型]一种改进蒸散电极接触性能的装置-CN201821670949.2有效
发明人：沈聚丰;李龙哲;周征华;夏伟;金虎;李花;朱小凤;王田英 -专利权人：上海哈呐机电设备有限公司
申请日： 2018-10-15 - 公布日： 2019-06-25 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本实用新型涉及蒸散镀膜机技术领域，具体地说是一种改进蒸散电极接触性能的装置，包括两个电极的电极接触面、气缸，其特征在于：所述的气缸设有两个，所述气缸水平向设置，气缸的安装端面分别固定在直角安装座的垂直面上；两个气缸的伸缩杆分别贯穿直角安装座的垂直面后固定连接一个接触块；两个所述接触块分别与相应的电极接触面一一对应。本实用新型与现有技术相比，电极接触性能稳定，减少输出电压的丢失，提高蒸散稳定性，且控制灵活；进一步的还可以方便调整电极接触面，方便更换电极接触面。
电极接触面气缸电极接触本实用新型直角安装安装端面方便更换气缸水平输出电压垂直面镀膜机伸缩杆电极改进垂直贯穿灵活

[实用新型]一种工艺调节格栅及真空镀膜机-CN201821670994.8有效
发明人：夏伟;李龙哲;沈聚丰;周征华;金虎;李花;朱小凤;王田英 -专利权人：上海哈呐机电设备有限公司
申请日： 2018-10-15 - 公布日： 2019-06-04 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本实用新型涉及真空镀膜机技术领域，具体地说是一种工艺调节格栅及真空镀膜机，其包括嵌设在真空镀膜机的壳体通风孔内的固定框、设在固定框内的若干格栅片，其特征在于，还包括：总连动杆；若干格栅片转动连杆，格栅片转动连杆的一端旋转连接在总连动杆上，且若干格栅片转动连杆沿总连动杆的长度方向均布；所述格栅片的两端分别一体式设有轴部，两轴部分别与固定框的两侧壁旋转连接，且格栅片的一个轴部还轴接相应的格栅片转动连杆的另一端；任意格栅片的轴部的外端还与电机的输出轴轴接。本实用新型与现有技术相比，可以任意调节格栅片的开启角度，既可提高抽气速率，还可减少内部污染。
格栅片真空镀膜机转动连杆固定框连动杆轴部本实用新型工艺调节旋转连接格栅轴接壳体通风孔任意调节两侧壁输出轴抽气均布两轴外端电机污染

[实用新型]一种真空镀膜机冷冻钟罩放水单元-CN201821671002.3有效
发明人： 周征华;李龙哲;沈聚丰;夏伟;金虎;李花;朱小凤;王田英 -专利权人：上海哈呐机电设备有限公司
申请日： 2018-10-15 - 公布日： 2019-06-04 - 主分类号： C23C14/22 文献下载
摘要：本实用新型涉及真空镀膜机技术领域，具体地说是一种真空镀膜机冷冻钟罩放水单元，包括用于设在冷冻钟罩的下钟罩上的第一放水阀，其特征在于，还包括：储水箱，其上设有储水箱进水口；进水阀，设在所述储水箱进水口上，与所述第一放水阀相连；第二放水阀，设在储水箱的壳体上；加热器，所述加热器上设有用于输入高压气的高压气进气口及出气口；冷冻钟罩进气口，设在冷冻钟罩的壳壁上；进气阀门，其进气端连接所述冷冻钟罩进气口；高压气进气管，其一端连接加热器的出气口，其另一端用于连接进气阀门的进气端。本实用新型与现有技术相比，通过高温高压气体减少冷冻钟罩内化冰时间，加速排气，使其内部水滴快速吹干，减少再积冰状态，提高抽气速率。
钟罩冷冻进气口加热器真空镀膜机放水阀储水箱进水口本实用新型进气阀门出气口储水箱高压气进气端放水积冰高温高压气体输入高压一端连接进气管进水阀水滴抽气吹干壳壁壳体内化排气

[实用新型]工装轴装置及双轴真空镀膜机快速装件用夹具装置-CN201821671003.8有效
发明人：李龙哲;沈聚丰;周征华;夏伟;金虎;李花;朱小凤;王田英 -专利权人：上海哈呐机电设备有限公司
申请日： 2018-10-15 - 公布日： 2019-06-04 - 主分类号： C23C14/50 文献下载
摘要：本实用新型涉及真空镀膜机技术领域，具体地说是一种工装轴装置及双轴真空镀膜机快速装件用夹具装置，其中工装轴装置包括固定架、顶部贯穿固定架的顶面的工装轴、由外至内依次嵌设在固定架与工装轴之间的上轴套和上轴承、套设在工装轴底端且由驱动机构驱动旋转的链轮，其特征在于：所述链轮采用带凸台的链轮，链轮的凸台面朝向驱动机构；所述链轮的凸台面固定装配有安装法兰，安装法兰的底面固定设有用于与驱动机构装配连接用的连接轴；所述链轮与工装轴之间装配有单向轴承。本实用新型与现有技术相比，在现有结构上改造十分方便，且结构简单；驱使工装轴旋转的方式十分灵活机动，既可采用电机，也可采用人工手动旋转。
工装轴链轮真空镀膜机驱动机构固定架本实用新型安装法兰夹具装置凸台面双轴装件单向轴承固定装配驱动旋转人工手动装配连接连接轴上轴承上轴套底端底面凸台装配电机灵活贯穿改造

[实用新型]一种真空镀膜机自动加硅油系统-CN201721576015.8有效
发明人：沈聚丰;李龙哲;周征华;夏伟;李花;金虎;朱小凤;王田英 -专利权人：上海哈呐机电设备有限公司
申请日： 2017-11-22 - 公布日： 2018-07-20 - 主分类号： C23C14/22 文献下载
摘要：本实用新型涉及真空镀膜机技术领域，具体地说是一种真空镀膜机自动加硅油系统，包括真空镀膜机的控制系统、包括工作状态呈负压的硅油罐，其特征在于：所述的硅油罐上设有进油接口、出油接口，所述的进油接口连接进油管的一端，所述的进油管上设有电磁阀；所述的出油接口连接出油管的一端，出油管的另一端连接真空镀膜机的供油管的一端，供油管的另一端设有供油接口。本实用新型与现有技术相比，利用真空镀膜机工作时硅油灌的自身负压，通过控制电磁阀来实现自动吸入及吸入量，不容易溢出，节省劳动力，提高工作效率。
真空镀膜机本实用新型出油接口进油接口出油管供油管硅油罐进油管油系统负压加硅控制电磁阀工作效率控制系统一端连接电磁阀吸入量供油硅油吸入溢出

[实用新型]一种在公转齿轮设耐磨片的真空镀膜机-CN201721576052.9有效
发明人：李龙哲;沈聚丰;夏伟;周征华;李花;孙海澄;王田英;朱小凤 -专利权人：上海哈呐机电设备有限公司
申请日： 2017-11-22 - 公布日： 2018-07-20 - 主分类号： C23C14/50 文献下载
摘要：本实用新型涉及真空镀膜机技术领域，具体地说是一种在公转齿轮设耐磨片的真空镀膜机，包括门、腔体、蒸散装置、设在腔体内的支撑座、设在支撑座上的支撑轴承、公转齿轮，所述的公转齿轮的下端面抵接在支撑轴承上；所述的门包括门外壳及设置在其内的门内衬，其特征在于：在公转齿轮的下端面上固定耐磨片。本实用新型与现有技术相比，在公转齿轮下面增加了一个耐磨热处理后形成的耐磨片，以提高硬度，达到耐磨的效果；而如果经过长时间的使用后，耐磨片有一定的磨损，但耐磨片加工工艺较简单，加工方便，更换也方便，可以随时更换，保证齿轮长时间使用保持转动顺畅。
公转齿轮耐磨片真空镀膜机本实用新型支撑轴承支撑座耐磨加工方便热处理门内衬门外壳下端面齿轮抵接腔体下端磨损转动体内保证

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