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- [实用新型]一种推顶装置-CN202223493416.0有效
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高元桢;唐艳文;袁嘉欣;吴火亮;江旭初
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上海隐冠半导体技术有限公司
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2022-12-27
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2023-10-13
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H01L21/677
- 本实用新型提供一种推顶装置，该推顶装置包括升降驱动部件和接片部件，升降驱动部件位于接片部件下方以驱动接片部件做升降运动，接片部件能够相对于升降驱动部件做旋转运动，接片部件和升降驱动部件设置有旋转解耦部件以使接片部件做旋转运动时，升降驱动部件不随接片部件运动。本实用新型的推顶装置中，接片部件通过旋转解耦部件与升降驱动部件转动连接，实现接片部件在旋转运动时与升降驱动部件解耦，使得接片部件能够实现吸附功能提高交接的安全性与可靠性，并且能够降低旋转驱动部件的驱动质量，提高旋转精度。另外，接片部件与吸盘同步旋转，降低交接运动的垂向行程，提高交接效率。
- 一种装置
- [实用新型]一种密封卡套接头-CN202320691160.X有效
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江旭初;雒佳;彭仁强;周羽;陈啸虎;吴火亮
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上海隐冠半导体技术有限公司
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2023-03-31
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2023-10-03
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F16L19/065
- 本实用新型涉及管路连接技术领域，公开一种密封卡套接头。其中密封卡套接头的夹紧机构设置有台阶孔，大径段的内壁设置有第一内螺纹；夹紧机构沿径向环设有至少一个第一螺纹孔，第一螺纹孔环设于第一内螺纹与第一外螺纹螺纹连接部位的外侧，顶丝螺纹连接于第一螺纹孔且抵接于大径段的外壁；卡套组件一端抵接于台阶孔的第一台阶面，另一端的外壁设置有第一外锥面；锁紧密封接头设置有连接部，连接部的外壁设置有与第一内螺纹配合的第一外螺纹，连接部还设置有连接孔，连接孔设置有与第一外锥面密封抵接的第一内锥面；第一衬套用于支撑管路的内壁。本实用新型实现卡套组件与管路之间密封满足使用需求，且解决了卡套可能存在的松脱或崩落问题。
- 一种密封接头
- [实用新型]一种管路接头装置-CN202320691344.6有效
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江旭初;雒佳;彭仁强;周羽;陈啸虎;吴火亮
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上海隐冠半导体技术有限公司
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2023-03-31
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2023-10-03
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F16L19/065
- 本实用新型涉及管路连接技术领域，公开一种管路接头装置。其中管路接头装置包括压紧组件、卡口组件、密封接头和第一内衬。压紧组件设置有阶梯孔，阶梯孔的大径段的内壁设置有第一内螺纹；卡口组件一端抵接于阶梯孔的第一阶梯面，另一端的外壁设置有第一外锥面；密封接头设置有连接部，连接部的外壁设置有与第一内螺纹配合的第一外螺纹，连接部还设置有连接孔，连接孔设置有与第一外锥面密封抵接的第一内锥面；第一内衬用于支撑管路的内壁；管路依次穿设于阶梯孔的小径段、卡口组件并伸入连接孔内；第一内螺纹螺纹连接于第一外螺纹，以使第一内锥面驱动卡口组件密封抵接于管路的外壁，且能够调节卡口组件与管路之间的卡紧力。
- 一种管路接头装置
- [发明专利]一种多气路吸附装置-CN202110934088.4有效
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徐腾肖;江旭初;吴火亮;袁嘉欣
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苏州隐冠半导体技术有限公司
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2021-08-13
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2023-09-05
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H01L21/683
- 本发明涉及半导体制造和检测技术领域，公开一种多气路吸附装置。多气路吸附装置包括同轴设置的框架基座、轴承基座、滑柱和吸盘，框架基座内部设置有第一气路；轴承基座固定于框架基座，轴承基座设置有第二气路；滑柱可转动安装于轴承基座内，滑柱设置有第三气路，滑柱的外侧壁设置有连通第二气路和第三气路的环形凹槽；吸盘固定于滑柱的顶端，吸盘设置有第四气路；第一气路、第二气路、环形凹槽、第三气路和第四气路依次连通形成一气路通道；第一气路、第二气路、环形凹槽、第三气路和第四气路均至少为两组，一一对应以形成至少两条气路通道，分别对应的至少两个环形凹槽沿滑柱的轴线方向间隔设置；驱动组件驱动吸盘和滑柱相对轴承基座转动。
- 一种多气路吸附装置
- [发明专利]一种管路接头装置-CN202310338680.7在审
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江旭初;雒佳;彭仁强;周羽;陈啸虎;吴火亮
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上海隐冠半导体技术有限公司
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2023-03-31
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2023-07-04
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F16L19/065
- 本发明涉及管路连接技术领域，公开一种管路接头装置。其中管路接头装置包括压紧组件、卡口组件、密封接头和第一内衬。压紧组件设置有阶梯孔，阶梯孔的大径段的内壁设置有第一内螺纹；卡口组件一端抵接于阶梯孔的第一阶梯面，另一端的外壁设置有第一外锥面；密封接头设置有连接部，连接部的外壁设置有与第一内螺纹配合的第一外螺纹，连接部还设置有连接孔，连接孔设置有与第一外锥面密封抵接的第一内锥面；第一内衬用于支撑管路的内壁；管路依次穿设于阶梯孔的小径段、卡口组件并伸入连接孔内；第一内螺纹螺纹连接于第一外螺纹，以使第一内锥面驱动卡口组件密封抵接于管路的外壁，且能够调节卡口组件与管路之间的卡紧力。
- 一种管路接头装置
- [实用新型]一种带旋转的交接机构-CN202223493463.5有效
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高元桢;唐艳文;袁嘉欣;吴火亮;江旭初
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上海隐冠半导体技术有限公司
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2022-12-27
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2023-06-27
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B25H1/14
- 本实用新型提供一种带旋转的交接机构，包括底座、二维运动组件、旋转组件和转接组件，二维运动组件包括第一旋转部件和用以驱动第一旋转部件做升降运动的升降驱动部件，旋转组件包括旋转驱动部件和第二旋转部件，第一旋转部件和第二旋转部件通过转接组件连接，旋转驱动部件驱动第一旋转部件和第二旋转部件做同步旋转，转接组件至少部分在升降运动方向能够变形或运动。本实用新型的带旋转的交接机构中，转接组件能够避免交接机构中的升降部件之间的过约束，提高运动的稳定性及结构部件的寿命；并且，第一旋转部件能独立旋转运动，降低旋转驱动部件的驱动质量，提高旋转精度，且能够解决气路和线缆的缠绕扭曲问题。
- 一种旋转交接机构
- [发明专利]一种旋转台及运动装置-CN202211524128.9有效
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谢怡仁;吴火亮;袁嘉欣;高元桢
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上海隐冠半导体技术有限公司
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2022-12-01
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2023-03-14
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H01L21/683
- 本发明属于集成电路制备技术领域，具体公开了一种旋转台及运动装置。旋转台包括：气浮底座，呈环形设置，气浮底座的内部具有静通气气道，且气浮底座的底部具有与静通气气道连通的吸附气孔和底气浮孔；旋转座，呈环形设置且与气浮底座同轴且转动套设，旋转座具有位于气浮底座内侧的安装面；吸附台，安装于安装面并与旋转座同轴设置，吸附台的上端面形成吸附面；旋转驱动组件，用于驱动旋转座相对气浮底座Z方向转动，旋转驱动组件包括驱动配合且同轴套设的旋转电机动子和旋转电机定子，旋转电机定子安装于气浮底座，旋转电机动子安装于旋转座。本发明公开的旋转台和运动装置，能够降低旋转台和运动装置在Z方向的尺寸，提高结构紧凑性。
- 一种旋转运动装置
- [发明专利]一种交接装置-CN202211679474.4有效
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高元桢;袁嘉欣;江旭初;唐艳文;吴火亮
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上海隐冠半导体技术有限公司
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2022-12-27
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2023-03-10
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H01L21/677
- 本发明提供一种交接装置，包括底座、升降部件和旋转部件，升降部件包括支撑部件和用以驱动支撑部件做升降运动的垂向驱动部件，旋转部件包括旋转驱动部件和位于升降部件上方的承载装置，旋转驱动部件能够驱动支撑部件和承载装置做同步旋转运动，其中，垂向驱动部件和支撑部件之间设有旋转解耦部件以实现支撑部件做旋转运动时垂向驱动部件静止。本发明的交接装置中支撑部件的旋转运动与动子的垂向运动解耦，解决气路和线缆的缠绕扭曲问题，提高系统可靠性，延长装置的寿命。另外，支撑爪随承载装置一起旋转，相较于不随承载装置旋转的设备，能够缩短一个承载装置厚度的垂向运动行程，解决交接行程过长的问题，提高交接效率。
- 一种交接装置
- [实用新型]一种晶圆对位装置-CN202222016272.3有效
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禹洪亮;吴火亮;谢怡仁;陈椿元
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上海隐冠半导体技术有限公司
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2022-08-02
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2023-02-28
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H01L21/68
- 本实用新型提供一种晶圆对位装置，所述装置至少包括：基座组件、第一运动系统、第二运动系统、对准检测系统、到位检测系统。本实用新型结合运动台的调节精度分级和检测系统的光学镜头的配合应用，实时反馈对准状态，提高了晶圆之间的对准精度和运动平台的到位精度；同时通过检测系统不同维度的驱动系统平铺分立，减少了不同维度的驱动系统调整时的相互影响，提高调整精度，且降低第三方向高度；另外利用气浮导向连接设计，实现了在二维平面的中心旋转运动，有利于提高对准精度，降低运动过程的阻力，减小驱动重量，提高装置运行效率；最后配合阶梯式的基台设计和驱动装置的铺排设计，减小了装置的高度，优化了空间利用。
- 一种对位装置
- [发明专利]音圈电机-CN202011381313.8有效
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胡兵;江旭初;吴火亮;蒋赟
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上海隐冠半导体技术有限公司
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2020-12-01
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2022-12-30
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H02K41/02
- 本发明公开了一种音圈电机，所述音圈电机包括：内基磁钢，所述内基磁钢呈筒状；至少一个端部磁钢，所述至少一个端部磁钢呈筒状并位于所述内基磁钢的两轴向端中的至少一轴向端，且与所述内基磁钢的相应轴向端轴向间隔开，所述端部磁钢的中心线布置成与所述内基磁钢的中心线重合，且所述端部磁钢的内径不小于所述内基磁钢的内径；线圈，所述线圈呈筒状并位于所述内基磁钢内且与所述内基磁钢径向间隔开；两个中心磁钢，所述两个中心磁钢通过中心背铁彼此轴向间隔开并位于所述线圈内且与所述线圈径向间隔开。该音圈电机具有磁浮重力补偿功能，能够实现大行程高精度的线性运动。
- 电机
- [实用新型]运动台-CN202221505894.6有效
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陈啸虎;江旭初;杜江;周羽;吴火亮;袁嘉欣
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上海隐冠半导体技术有限公司
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2022-06-16
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2022-12-13
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B25H1/14
- 本实用新型提供了一种运动台，包括承载台和与承载台连接以驱动承载台运动的驱动主体，驱动主体包括：固定座；轴向移动部，沿预定直线可移动地设置在固定座上；周向转动部，绕预定直线可转动地设置在轴向移动部的容纳槽内且与承载台连接；移动导向部，与固定座固定连接、套设在轴向移动部外且与轴向移动部间隔设置并形成气浮间隙，以对轴向移动部的沿预定直线的移动进行导向；旋转导向部，设置在轴向移动部和周向转动部之间且位于容纳槽内，包括可相对转动地连接的第一连接件和第二连接件，第一连接件与轴向移动部固定连接，第二连接件与周向转动部固定连接，以解决现有技术中的运动装置的结构不够紧凑、占用空间较大且垂向导向精度较低的问题。
- 运动
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