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- [发明专利]一种晶圆缺陷自动检测设备-CN202310731625.4在审
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顾卫民;吴卓鸿
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无锡芯启博科技有限公司
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2023-06-20
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2023-09-15
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G01N21/95
- 本发明公开了一种晶圆缺陷自动检测设备,包括台体,所述台体的顶部外壁固定连接有第一固定架,所述第一固定架的顶部固定连接有支撑架,所述支撑架的顶部和一侧分别设置有显示屏和控制面板,所述台体的顶部设置有晶圆盒,所述晶圆盒的内部设置有晶圆本体,所述台体的顶部外壁固定连接有安装架,所述安装架的顶部内壁固定连接有图像采集器。本发明中的图像采集器包括了多组激光发射器和一组LED灯组,实现了对灯源和激光的综合,既保证了对晶圆本体缺陷的全面检测,也保证了对特定种类的缺陷的检测能力,同时激光发射器数目为多组,且多组激光发射器的波长均不同,从而提高了激光发射器的波长与晶圆本体缺陷之间的匹配度,提高了检测能力。
- 一种缺陷自动检测设备
- [实用新型]一种晶圆划痕检测装置-CN202223026076.0有效
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吴卓鸿;张梅;许金戈;郑菲
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无锡芯启博科技有限公司
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2022-11-15
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2023-03-31
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G01N33/00
- 本实用新型公开了一种晶圆划痕检测装置,涉及晶圆划痕检测技术领域,包括检测箱,所述检测箱内壁下侧后方的中心处固定连接有划痕检测器,所述检测箱内壁上下两侧前方的中心处均固定连接有电动伸缩杆,两个所述电动伸缩杆的输出端均固定连接有电机,两个所述电机的输出端均固定连接有转动板,两个所述转动板的相对一侧均固定连接有除尘布。本实用新型能够无需人工利用布料对晶圆的表面进行清理,利用电机带动转动板上的除尘布对待检测晶圆表面进行清理,再直接放置在划痕检测器的检测台上,过程十分便捷,省时省力,提高了检测的效率,且不易遗漏杂质,进而使得清理的干净度得到提高,从而避免了影响晶圆划痕检测装置检测结果。
- 一种划痕检测装置
- [实用新型]一种集成电路高效散热装置-CN202122200245.7有效
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王佳;顾卫民;吴卓鸿;曹必红
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无锡芯启博电子有限公司
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2021-09-13
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2022-04-15
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H01L23/367
- 本实用新型公开了一种集成电路高效散热装置,包括底座,所述底座的底面四角固定连接有支撑垫脚,所述底座的内部固定安装有散热风扇,所述底座的顶面固定连接有排气罩,且排气罩位于散热风扇的正上方,所述底座的两侧面均固定连接有连接板,两个所述连接板之间固定连接有散热板,所述散热板的顶面设置有导热层。通过散热风扇、排气罩、散热板、导热层和固定垫等结构的相互配合,实现了对集成电路板进行散热的过程,与利用集成电路板自身的散热能力进行散热的方式相比,通过将热量传导,提高了散热面积和散热效率,实现了便于高效散热的目标,散热性较好,达到了提高集成电路板使用寿命的效果,满足了使用需求。
- 一种集成电路高效散热装置
- [实用新型]一种集成电路芯片拾取装置-CN202122334314.3有效
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王佳;顾卫民;吴卓鸿;曹必红
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无锡芯启博电子有限公司
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2021-09-26
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2022-03-15
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H01L21/683
- 本实用新型公开了一种集成电路芯片拾取装置,包括连接柱,所述连接柱的下方设置有底台,所述底台的顶面开设有连接孔,所述连接柱的底面固定安装有第一电动推杆,所述第一电动推杆外侧壁与连接孔的内侧壁活动套接,所述第一电动推杆的外侧壁设置有固定底台的固定机构,所述底台的下方设置有托板,所述托板的一侧设置有带动托板移动的转动机构,通过握杆将装置拿取在手上,通过吸盘将镜片进行拾起,启动第一电动推杆,第一电动推杆会带动吸盘进行移动,方便拾起芯片,当芯片拾起时,通过启动第二电动推杆,第二电动推杆会通过转动机构带动两侧托板进行转动,两个托板将芯片托举,避免芯片在拾起后掉落,增强了装置的实用性。
- 一种集成电路芯片拾取装置
- [实用新型]一种便于检修的晶圆测试仪-CN202121621561.5有效
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顾卫民;吴卓鸿;张梅;吴熙文
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无锡芯启博科技有限公司
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2021-07-16
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2022-02-11
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G01R27/02
- 本实用新型公开了一种便于检修的晶圆测试仪,包括保护壳体,所述保护壳体的内腔滑动设有安装板,所述保护壳体的上端安装有插接组件且所述插接组件与安装板插接,所述安装板的底部和保护壳体内腔底部均安装有横板且两组所述横板上均安装有弹性磁条,所述保护壳体的内腔壁上固定有顶起弹簧,所述安装板的下端呈对称设有移动组件。本实用新型所述的一种便于检修的晶圆测试仪,本晶圆测试仪将各电气元件安装在安装板上,且安装板滑动设置在保护壳体的内腔,可通过插接组件与安装板的插接可将其固定在保护壳体的内腔,当接触插接组件与安装板的插接时,通过顶起弹簧的弹力作用可使得安装板做移动保护壳体的运动,便于对晶圆测试仪的拆卸检修。
- 一种便于检修测试仪
- [实用新型]一种电子晶圆检测用清洗机-CN202121660091.3有效
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吴熙文;张梅;顾卫民;吴卓鸿
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无锡芯启博科技有限公司
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2021-07-21
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2022-02-11
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H01L21/02
- 本实用新型是关于一种电子晶圆检测用清洗机,包括底座,底座表面设置有圆盘,所述圆盘的两侧壁均连接有侧台,所述圆盘的表面斜对称设置有固定套,所述固定套的内部滑动连接有固定架,所述固定架位于固定套上侧的表面设置有横板,两个所述横板相对的表面均设置有齿条,两组所述齿条之间啮合有齿轮,所述齿轮的底部连接有电机B,所述电机B位于底座的下侧,两个所述固定架的顶部均设置有固定座,本实用新型中通过设置底座、圆盘、侧台、固定架、固定座、弧形台、卡槽、电机A、电机B、齿条、齿轮、横板以及电动导轨等结构设计了一种对晶圆固定效果好且能够对晶圆表面进行全面清洗的电子晶圆检测用清洗机。
- 一种电子检测清洗
- [实用新型]一种电子晶圆质量检测装置-CN202121660654.9有效
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顾卫民;吴熙文;吴卓鸿;张梅
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无锡芯启博科技有限公司
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2021-07-21
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2022-02-11
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H01L21/66
- 本实用新型公开了一种电子晶圆质量检测装置,包括机体,所述机体的前后表面均固定安装有四组带齿滑轨,且机体的前后表面的两组带齿滑轨位置之间活动安装有挡板,所述机体和挡板相互靠近的一侧外壁均开设有滑槽,且机体和挡板相均通过滑槽活动安装有两组硅胶垫,相互远离的两组所述硅胶垫相互靠近的一侧外壁位置之间活动安装有调节杆,且两组调节杆的上下表面位置之间活动安装有螺栓。本实用新型为一种电子晶圆质量检测装置,可有效的对外力进行缓冲,从而降低外力对其产生损害,有效的增加其检测装置的稳定性,同时也可对待检测的晶圆进行固定,从而降低其在检测过程中发生移动,增加检测过程的准确度。
- 一种电子质量检测装置
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