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[发明专利]一种LCD平面靶材的修复方法-CN202210156050.3有效
发明人：姚力军;窦兴贤;王学泽;王青松;王波 -专利权人： 合肥江丰电子材料有限公司
申请日： 2022-02-21 - 公布日： 2023-07-25 - 主分类号： B24B1/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种LCD平面靶材的修复方法，所述修复方法包括如下步骤：(1)对LCD平面靶材采用全自动抛光机进行抛光处理，所述抛光处理中砂带的型号包括320‑1000#，得到第一靶材；(2)将步骤(1)得到的所述第一靶材进行第一修复处理，所述第一修复处理中砂纸的型号包括320‑800#，得到第二靶材；(3)将步骤(2)得到的所述第二靶材采用气动抛光机进行第二修复处理，所述第二修复处理中砂纸的型号包括320#，得到修复后的LCD平面靶材。本发明提供的修复方法可以显著提高靶材的良品率，减少人工作业时间，大大降低了人员的劳动力度，提高生产效率至30％以上。
一种 lcd 平面修复方法

[发明专利]一种靶材的喷砂方法-CN202210282242.9有效
发明人：姚力军;窦兴贤;王学泽;王青松;胡全 -专利权人： 合肥江丰电子材料有限公司
申请日： 2022-03-21 - 公布日： 2023-04-21 - 主分类号： B24C1/08 文献下载
摘要：本发明提供了一种靶材的喷砂方法，所述喷砂方法包括如下步骤：(1)对靶材的非溅射面进行第一喷砂处理，得到第一喷砂面；(2)第一喷砂面表面覆盖保护层，进行第二喷砂处理，得到第二喷砂面；(3)升温去除第二喷砂面表面的保护层，保持温度进行压缩气体吹扫，得到具有干燥喷砂面的靶材；步骤(2)所述保护层的材质包括铟和/或锡。本发明通过第一喷砂处理之后设置材质包括铟和/或锡的保护层，不仅能够实现对靶材非溅射面的喷砂处理，还能最大程度降低喷砂面清洗后的氧化风险，提高喷砂质量，生产合格率能够达到99％以上。
一种喷砂方法

[发明专利]一种LCD平面靶材焊接后的冷却方法及其冷却装置-CN202211436865.3在审
发明人：姚力军;窦兴贤;王学泽;王青松;许博钦 -专利权人： 合肥江丰电子材料有限公司
申请日： 2022-11-16 - 公布日： 2023-04-07 - 主分类号： B23K37/04 文献下载
摘要：本发明提供了一种LCD平面靶材焊接后的冷却方法及其冷却装置，所述冷却方法在焊接平台的台面上完成LCD平面靶材焊接后，通过风冷降温并进一步控制焊接平台的台面下方的进风量为3000‑4000m3/h，可以使得焊接平台的台面温度快速且均匀地降低，从而带动LCD平面靶材快速且均匀地降温，不仅可以缩短冷却时间、提高工作效率、节约成本，还可以避免风扇直吹所导致的LCD平面靶材表面变形、表面晶粒异常等问题，进而避免对后续处理以及使用造成的不利影响。
一种 lcd 平面焊接冷却方法及其装置

[实用新型]一种溅射镀膜靶材加热平台-CN202221664317.1有效
发明人：姚力军;潘杰;王学泽;王青松;丁向前 -专利权人： 合肥江丰电子材料有限公司
申请日： 2022-06-29 - 公布日： 2022-10-28 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种溅射镀膜靶材加热平台，所述溅射镀膜靶材加热平台包括底板、设置于底板上的加热平台和安装于底板两侧的辅助加热器；所述辅助加热器为移动式辅助加热器。本实用新型通过在加热平台的两侧设置辅助加热器，使得对靶材加热更加均匀，减少了靶材制造中四周翘曲度大的问题，有利于提升焊接结合率以及降低制造过程中加热后续的矫正难度；同时，设置辅助加热器为移动式，提升了利用率，并且进一步增加了靶材加热过程中的均匀性。
一种溅射镀膜加热平台

[实用新型]一种靶材抛光治具-CN202220721512.7有效
发明人：姚力军;窦兴贤;王学泽;王青松;丁路亚 -专利权人： 合肥江丰电子材料有限公司
申请日： 2022-03-29 - 公布日： 2022-10-28 - 主分类号： B24D15/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种靶材抛光治具，所述靶材抛光治具包括抛光治具主体和抛光杆，所述抛光治具主体自上而下依次包括平行设置的金属块、百洁布和砂纸，所述百洁布粘贴到金属块的底部，所述抛光杆与金属块的顶部连接。本实用新型通过抛光治具主体和抛光杆的结构划分，将砂纸、百洁布置于金属块下方构成抛光治具主体，主要用于大尺寸靶材的手动抛光，可有效减少作业时间，降低劳动强度，提高靶材的抛光效率及生产效率；所述抛光治具中砂纸和百洁布的使用，有助于保证抛光后靶材表面粗糙度的可控性及品质的稳定性，提高靶材产品的合格率；所述抛光治具结构简单，使用方便，成本较低，应用范围广。
一种抛光

[实用新型]一种靶材校正装置-CN202220620189.4有效
发明人：姚力军;窦兴贤;王学泽;王青松;张慧友 -专利权人： 合肥江丰电子材料有限公司
申请日： 2022-03-21 - 公布日： 2022-09-27 - 主分类号： G01B5/00 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种靶材校正装置，所述靶材校正装置包括数显卡尺和校正基座；所述数显卡尺位于校正基座上方；所述校正基座的底部设置有至少2个凸起。本实用新型提供的靶材校正装置，通过校正基座的底部凸起避免焊接平台与数显卡尺的直接接触，起到隔热作用，克服使用游标卡尺测量时的人为误差，提高测量的精确度和减少测量时间；同时采用本实用新型提供的靶材校正装置进行测量，能够使靶材与背板的中间距控制在0.5mm内，提高合格率。
一种校正装置

[发明专利]一种用于矫正靶坯位置的辅助治具及其使用方法-CN202210758542.X在审
发明人：姚力军;潘杰;王学泽;王青松;丁向前 -专利权人： 合肥江丰电子材料有限公司
申请日： 2022-06-29 - 公布日： 2022-08-30 - 主分类号： B21D1/06 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于矫正靶坯位置的辅助治具及其使用方法，所述辅助治具包括至少两根相交的支撑梁和与支撑梁连接的矫正尺。本发明通过至少两根相交的支撑梁和与支撑梁连接的矫正尺，实现了对背板在两个方向上的进行限定卡位，有利于实现位置精确固定和高效调整，从而使得矫正后的背板达到规定的水平范围。
一种用于矫正位置辅助及其使用方法

[实用新型]一种靶材喷砂遮蔽板-CN202221141727.8有效
发明人：姚力军;窦兴贤;王学泽;王青松;王刚 -专利权人： 合肥江丰电子材料有限公司
申请日： 2022-05-12 - 公布日： 2022-08-30 - 主分类号： B24C9/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种靶材喷砂遮蔽板，所述靶材喷砂遮蔽板为平面板材；所述靶材喷砂遮蔽板的侧面为斜面；所述斜面的表面上设置有交替凹槽和花纹；所述凹槽的深度为所述靶材喷砂遮蔽板厚度的5‑7％；所述凹槽的宽度为所述靶材喷砂遮蔽板厚度为20‑30％。本实用新型提供的靶材喷砂遮蔽板，通过对靶材喷砂遮蔽板侧面进行特定的设计，解决了喷砂时遮蔽板侧面和靶材喷砂区相邻的喷砂区域存在粗糙度显著离散的问题，采用本实用新型的靶材喷砂遮蔽板进行喷砂后，遮蔽板侧面和靶材喷砂区相邻的喷砂区域的粗糙度和其他区域的粗糙度偏差明显降低，喷砂后靶材的喷砂区域的粗糙度离散程度明显降低。
一种喷砂遮蔽

[发明专利]一种靶材侧边自动抛光装置及其使用方法-CN202110349659.8有效
发明人：姚力军;窦兴贤;王学泽;王青松;刘明健 -专利权人： 合肥江丰电子材料有限公司
申请日： 2021-03-31 - 公布日： 2022-08-16 - 主分类号： B24B29/02 文献下载
摘要：本发明提供了一种靶材侧边自动抛光装置及其使用方法，所述抛光装置包括打磨平台、打磨机器人、机器人地轨、电路控制柜以及工具平台；所述打磨平台有两个，平行设置于所述机器人地轨的两侧；所述电路控制柜位于两个打磨平台之间，且设置于所述机器人地轨的任意一端；所述工具平台设置于所述电路控制柜上；所述打磨机器人放置于所述机器人地轨上；所述打磨机器人包括主体与机械臂，所述机械臂的前端设置有夹孔，所述夹孔中连接有打磨头；所述打磨平台上放置有靶材；所述抛光装置通过多种结构的优化设计，实现了对靶材侧边的自动抛光功能，且使用方法简单，明显提高生产效率以及产品合格率，具有较好的工业应用前景。
一种侧边自动抛光装置及其使用方法

[发明专利]一种测量平面靶材组件长度的自动化装置及其使用方法-CN202210372617.0在审
发明人：姚力军;窦兴贤;王学泽;王青松;吴先帮 -专利权人： 合肥江丰电子材料有限公司
申请日： 2022-04-11 - 公布日： 2022-07-29 - 主分类号： G01B11/02 文献下载
摘要：本发明提供了一种测量平面靶材组件长度的自动化装置及其使用方法，所述自动化装置包括光栅尺组件、传送组件、支撑组件和控制组件；光栅尺组件位于传送组件的正上方，且与传送组件的传送方向相垂直；支撑组件位于所述光栅尺组件的正下方，且与传送组件间隔设置；控制组件包括第一传感器、第二传感器和控制器；控制器分别与第一传感器、第二传感器、光栅尺组件、支撑组件、传送组件相连接；光栅尺组件包括光栅标尺和两个光栅读数头，光栅读数头可移动的设置在光栅标尺上，通过两个光栅读数头分别紧靠待测平面靶材组件的两端，得到待测平面靶材组件长度；本发明自动化装置测量精度高，自动化程度高，检测效率高。
一种测量平面组件长度自动化装置及其使用方法

[发明专利]一种LCD靶材吊装的装置及方法-CN202210282243.3在审
发明人：姚力军;窦兴贤;王学泽;王青松;丁路亚 -专利权人： 合肥江丰电子材料有限公司
申请日： 2022-03-21 - 公布日： 2022-06-03 - 主分类号： B66C1/44 文献下载
摘要：本发明提供了一种LCD靶材吊装的装置及方法，所述装置包括底部与LCD平面靶材运行方向垂直的至少两个吊臂以及连接两个吊臂的连接杆，还包括顶部可沿与LCD平面靶材运行方向平行方向移动的行轨以及连接所述吊臂和行轨的连接轴；所述方法包括以下步骤：测量LCD平面靶材的长度，在预吊装处进行标记，将所述装置移动至LCD平面靶材的上方，吊臂位置调节至对准预吊装处，启动活塞机构，使得吊臂夹持住靶材，移动到下一工段后释放靶材；所述装置通过充分利用自动化生产制造，提高靶材搬运速度，单枚加工时间提升5分钟以上，同时保证了靶材转移的安全性。
一种 lcd 吊装装置方法

[发明专利]一种LCD平面靶材机加工工艺-CN202010377533.7有效
发明人：姚力军;窦兴贤;王学泽;王青松;胡建 -专利权人： 合肥江丰电子材料有限公司
申请日： 2020-05-07 - 公布日： 2022-05-20 - 主分类号： B23P17/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种LCD平面靶材机加工工艺。一种LCD平面靶材机加工工艺，包括如下步骤：1)对LCD平面靶材毛坯料的两表面进行加工；2)对LCD平面靶材的溅射面进行半精铣面加工；3)对LCD平面靶材的侧面进行粗加工；4)对LCD平面靶材的溅射面进行精加工；5)对LCD平面靶材的侧面及圆弧角进行精加工。本发明的LCD平面靶材机加工工艺，通过各步加工工艺的控制，可有效解决因应力残留造成LCD平面靶材Arcingsplash等异常放电现象，有效控制了靶材在机加工后表面的应力层厚度，保证了靶材在溅射过程中的正常使用。
一种 lcd 平面靶材机加工工艺

[发明专利]一种钼铌靶材组件中背板的水道口的抛光工艺-CN202010935907.2有效
发明人：姚力军;窦兴贤;王学泽;王青松;刘明健 -专利权人： 合肥江丰电子材料有限公司
申请日： 2020-09-08 - 公布日： 2022-05-17 - 主分类号： B24B1/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种钼铌靶材组件中背板的水道口的抛光工艺，所述抛光工艺包括对钼铌靶材组件中背板的水道口进行抛光；所述抛光为采用伞状抛光刷进行抛光；所述抛光中抛光中抛光刷的旋转方向为顺时针；所述伞状抛光刷包括倒圆台形抛光面及围绕其分布的带形抛光面；所述倒圆台形侧面与水平面的夹角为85‑88°，倒圆台形抛光面的底面直径为1.5‑3cm；所述带形抛光面的宽度为0.2‑0.5mm；所述带形抛光面中抛光丝呈辐射分布，分布范围为0‑45°，以水平面为基准。本发明通过抛光工艺及抛光介质的特定选择，使得抛光稳定，抛光后水道口使用寿命延长。
一种钼铌靶材组件背板水道抛光工艺

[发明专利]一种LCD平面靶材的下料装置系统及方法-CN202210237988.8在审
发明人：姚力军;窦兴贤;王学泽;王青松;刘明健 -专利权人： 合肥江丰电子材料有限公司
申请日： 2022-03-11 - 公布日： 2022-05-10 - 主分类号： B65G35/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种LCD平面靶材下料的装置系统及其方法，所述LCD平面靶材下料系统包括设置有预下料区的自动化流水线、下料传输装置和用于从所述预下料区托起物料并输送至所述下料传输装置的下料模组，其中，所述自动化流水线为滚筒式流水线；所述方法包括以下步骤：所述下料传输装置放在下料系统旁的固定位置，所述托臂初始状态位于在自动化流水线预下料区；产品传送到下料区时，所述行轨和连接轴带动托臂移动到下料位置，托起产品并移动至下料传输装置；所述LCD平面靶材下料装置系统充分利用自动化生产制造，提高靶材加工速度，单枚加工时间提升3分钟以上，同时保证了靶材下料的安全性。
一种 lcd 平面装置系统方法

[发明专利]一种铟渣的提纯方法-CN202210238540.8在审
发明人：姚力军;窦兴贤;王学泽;王青松;许博钦 -专利权人： 合肥江丰电子材料有限公司
申请日： 2022-03-11 - 公布日： 2022-05-10 - 主分类号： C22B7/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种铟渣的提纯方法，所述提纯方法包括对铟渣依次进行的第一热处理、挤压和第二热处理，得到铟产品。本发明提供提纯方法通过对工艺的设计，引入特定的挤压处理与热处理相协同来强化铟产品的提纯，使得所得铟产品具有优异的纯度，同时回收率也有更进一步的提升。
一种提纯方法

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