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[发明专利]定位治具与制作工艺机台-CN201410209883.7有效
发明人：胡良友;叶韦华;王育宗;谢南河 -专利权人：旺宏电子股份有限公司
申请日： 2014-05-19 - 公布日： 2018-04-24 - 主分类号： H01L21/68 文献下载
摘要：本发明公开了一种定位治具与制作工艺机台。定位治具用以标定并排设置的两刷洗件之间的距离。定位治具包括主体以及定位块。主体具有多个刻度标记，且包括一延伸部。延伸部具有相对的两侧边以及对应于此两侧边的宽度，其中靠近延伸部的尾端的位置上的宽度小于相对远离尾端的位置上的宽度。定位块滑设于主体，且具有承靠面。延伸部适于插入此两刷洗件之间。当承靠面与延伸部的此两侧边共同承靠此两刷洗件时，定位块对应于这些刻度标记中的一个，且被对应的刻度标记指示此两刷洗件之间的距离。
定位制作工艺机台

[发明专利]平坦化修正臂、应用其的平坦化系统及平坦化方法-CN201210134506.2无效
发明人： 叶韦华;赖明灿 -专利权人：旺宏电子股份有限公司
申请日： 2012-05-03 - 公布日： 2013-11-06 - 主分类号： B24B53/017 文献下载
摘要：本发明公开了一种平坦度修正臂、应用其的平坦化系统及平坦化方法。平坦化系统包括研磨垫、研磨头及平坦度修正臂；研磨头抵压待加工件于研磨垫上；平坦度修正臂包括摇臂、加工头、光发射器、光接收器、表面轮廓取得单元及控制单元；加工头连接于摇臂；光发射器发射光线至研磨垫；光接收器接收自研磨垫反射及折射的光线；表面轮廓取得单元依据自研磨垫反射及折射的光线，取得研磨垫的一表面轮廓。控制单元依据表面轮廓，驱动摇臂带动加工头至研磨垫上而修正研磨垫的平坦度。
平坦修正应用系统方法