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- [实用新型]一种晶圆位置检测校对装置-CN202021146687.7有效
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莫景钊;叶纬;莫景新
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广东唯是晶圆科技有限公司
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2020-06-19
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2021-04-20
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G01N21/956
- 本实用新型公开了一种晶圆位置检测校对装置，涉及晶圆加工技术领域，包括：支架、旋转组件、显微镜、激光灯、调节结构和减震组件，所述支架的底部安装有调节结构，所述连接杆的另一端竖直安装有显微镜，所述显微镜的一侧安装有激光灯，所述旋转组件安装在调节结构的顶部，通过设置旋转组件和调节结构，纵向马达和横向马达作业时，改变旋转组件的位置，能够实现微调，通过三组激光的照射点均落在定位杆顶部端面上，表示将晶圆的位置调至到显微镜的正下方，能够实现多点定位，提高检测的准确性，旋转马达做间歇式作业，能够实现旋转盘的旋转，在轮转的过程中，补料、取料和检测可以同步进行，能够实现周期循环，提高检测的效率，提高检测的精度。
- 一种位置检测校对装置
- [实用新型]一种用于晶圆生产的切割装置-CN202021147211.5有效
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莫景钊;叶纬;莫景新
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广东唯是晶圆科技有限公司
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2020-06-19
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2021-04-20
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B28D5/02
- 本实用新型公开了一种用于晶圆生产的切割装置，包括机壳、柜门、切割组件、固定组件、物料罐底和滤尘组件,所述机壳的前端端面一侧固定安装有柜门,所述机壳的内侧底部设置有物料罐底,所述物料罐底的顶部上方设置有固定组件,所述机壳的内壁一侧设置有切割组件,所述机壳的内侧顶部设置有滤尘组件；所述机壳的底部端面四周均固定安装有所述支撑柱；所述固定组件包括承重支架、固定框、切割台、切割顶板、防刮垫片、调节套管、锁紧螺柱、固定架和防滑垫片；该用于晶圆生产的切割装置，固定牢固，能够有效防止晶圆发生滑脱的情况；在使用时，切割方便，能够有效将切割产生的晶圆碎屑进行清洁，清洁效果好。
- 一种用于生产切割装置
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