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[发明专利]射频返回路径的阻抗的控制-CN201710083055.7有效
发明人：阿列克谢·马拉霍塔诺夫;拉金德尔·迪恩赛;肯·卢彻斯;卢克·奥巴伦德 -专利权人：朗姆研究公司
申请日： 2014-09-24 - 公布日： 2019-06-25 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本发明涉及射频返回路径的阻抗的控制。具体而言，一种用于控制射频(RF)返回路径的阻抗的系统包括匹配盒，该匹配盒进一步包括匹配电路。该系统进一步包括射频发生器，该射频发生器与匹配盒联接上以经由射频供应路径的第一部分供应射频供应信号到匹配盒。射频发生器联接到匹配盒以经由射频返回路径的第一部分接收射频返回信号。该系统还包括开关电路以及经由射频返回路径的第二部分与该开关电路联接上的等离子体反应器。等离子体反应器经由射频供应路径的第二部分联接到匹配电路。该系统包括联接到所述开关电路上的控制器，所述控制器被配置成基于调节配方控制所述开关电路以改变所述射频返回路径的阻抗。
射频返回路径阻抗控制

[发明专利]使用电压控制模式进行室匹配-CN201410092433.4有效
发明人： 卢克·奥巴伦德 -专利权人：朗姆研究公司
申请日： 2014-03-13 - 公布日： 2017-06-30 - 主分类号： H05H1/46 文献下载
摘要：本发明涉及使用电压控制模式进行室匹配，具体描述了用于补偿在等离子体室中的等离子体处理期间产生的谐波的系统和方法。所述方法之一包括检索组合波形的测量。所述组合波形包括基本波形和谐波波形。所述组合波形限定靠近吸盘的表面的电压，所述吸盘连接到射频（RF）传输线。所述射频传输线连接到阻抗匹配电路。阻抗匹配电路连接到射频发生器。所述方法进一步包括从所述组合波形提取所述基本波形；确定所述组合波形的幅值与所述基本波形的幅值之间的差值；并且控制所述射频发生器以补偿所述差值。
使用电压控制模式进行匹配

[发明专利]射频返回路径的阻抗的控制-CN201410494730.1有效
发明人：阿列克谢·马拉霍塔诺夫;拉金德尔·迪恩赛;肯·卢彻斯;卢克·奥巴伦德 -专利权人：朗姆研究公司
申请日： 2014-09-24 - 公布日： 2017-05-24 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本发明涉及射频返回路径的阻抗的控制。具体而言，一种用于控制射频(RF)返回路径的阻抗的系统包括匹配盒，该匹配盒进一步包括匹配电路。该系统进一步包括射频发生器，该射频发生器与匹配盒联接上以经由射频供应路径的第一部分供应射频供应信号到匹配盒。射频发生器联接到匹配盒以经由射频返回路径的第一部分接收射频返回信号。该系统还包括开关电路以及经由射频返回路径的第二部分与该开关电路联接上的等离子体反应器。等离子体反应器经由射频供应路径的第二部分联接到匹配电路。该系统包括联接到所述开关电路上的控制器，所述控制器被配置成基于调节配方控制所述开关电路以改变所述射频返回路径的阻抗。
射频返回路径阻抗控制

[发明专利]射频输送路径的阻抗的控制-CN201410499774.3有效
发明人：阿列克谢·马拉霍塔诺夫;拉金德尔·迪恩赛;肯·卢彻斯;卢克·奥巴伦德 -专利权人：朗姆研究公司
申请日： 2014-09-25 - 公布日： 2017-04-26 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本发明涉及射频输送路径的阻抗的控制。等离子体系统包括射频发生器以及包括阻抗匹配电路的匹配盒，该匹配盒经由射频电缆联接到所述射频发生器。所述等离子体系统包括卡盘以及经由射频线联接到所述匹配盒的等离子体反应器。射频线形成射频供应路径的一部分，所述射频供应路径从所述射频发生器延伸通过所述匹配盒并且延伸到所述卡盘。等离子体系统进一步包括联接到所述阻抗匹配电路与所述卡盘之间的所述射频供应路径上的相位调节电路。所述相位调节电路的一端联接到所述射频供应路径并且另一端接地。所述等离子体系统包括联接到所述相位调节电路的控制器。所述控制器用于根据调节配方改变所述相位调节电路的参数以控制所述射频供应路径的阻抗。
射频输送路径阻抗控制