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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]具有用来获取光强度的探测器的照明系统-CN200780020002.5无效
发明人：延斯·奥斯曼 -专利权人： 卡尔·蔡司SMT股份公司
申请日： 2007-07-23 - 公布日： 2009-06-10 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于微光刻-投影曝光设备的照明系统，其中，该照明系统包括：光源，其发射≤100nm的波长范围的光，特别是在EUV-波长范围内的光，用来照明出射光瞳平面(121)，以及一种元件，利用该元件在出射光瞳平面(121)的至少一个第一照明(22)中可向第二照明(24)改变，以及至少一个探测器(160.1，160.2)用来检测光，其中，其特征在于，该照明系统包括一种装置(164)，其获取探测器(160.1，160.2)的至少一个光强度信号并至少根据所获取的光强度信号来提供控制信号，利用该信号可以调节在微光刻-投影曝光设备的像平面(221)中的光敏物体的扫描速度。
具有用来获取强度探测器照明系统

[发明专利]用于微光刻的具有四个透镜组的对称物镜-CN200780016315.3有效
发明人：戴维·谢弗;奥里莉恩·多多克;海科·费尔德曼;约翰尼斯·泽尔纳;威廉·乌尔里克;霍尔格·沃尔特;乌尔里克·洛林;丹尼尔·克雷默;格哈特·富尔特 -专利权人： 卡尔·蔡司SMT股份公司
申请日： 2007-05-04 - 公布日： 2009-05-20 - 主分类号： G02B13/14 文献下载
摘要：本发明特征在于一种用于微光刻的系统，该系统包括配置成发射多个汞发射谱线处的辐射的汞光源、设置成接收由汞光源发射的辐射的投影物镜以及配置成相对于投影物镜放置晶片的台。在操作期间，投影物镜将来自光源的辐射引导到晶片，其中在晶片处的辐射包括来自发射谱线中多于一条谱线的能量。用于所述投影物镜的光学透镜系统包括四个透镜组，每个透镜组具有两个包括二氧化硅的透镜，一方的第一和第二透镜组与另一方的第三和第四透镜组相对于与所述透镜系统的光轴垂直的平面对称放置。
用于微光具有四个透镜对称物镜

[发明专利]使用偏振光的微光刻曝光装置及具有凹面主镜和凹面辅镜的微光刻投射系统-CN200680015147.1无效
发明人：汉斯－于尔根·曼 -专利权人： 卡尔·蔡司SMT股份公司
申请日： 2006-04-27 - 公布日： 2008-04-30 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明涉及一种微光刻投射曝光装置，其使用的波长≤100nm，尤其是用于EUV光刻的波长＜50nm，优选地＜20nm，该微光刻投射曝光装置具有：照明系统，该照明系统使用限定的偏振状态的光来照亮物体平面中的场；以及物镜，其将物体平面中的场投射到像平面中，所述偏振光从物体平面穿过所述物镜到达像平面。
使用偏振光微光曝光装置具有凹面投射系统

[发明专利]具有暗化光瞳的大孔径物镜-CN200580044848.3有效
发明人：汉斯－于尔根·曼;戴维·谢弗;威廉·乌尔里希 -专利权人： 卡尔·蔡司SMT股份公司
申请日： 2005-12-22 - 公布日： 2007-12-12 - 主分类号： G02B17/06 文献下载
摘要：本发明涉及一种物镜，尤指一种特别在波长≤193nm中使用的微光刻投影物镜，包括有：第一局部物镜(100)，具有至少一个镜体，其中镜体(S1)不具有能由光束穿过的孔；第二局部物镜(200)，具有至少一个主凹面镜(SK1)和副凹面镜(SK2)，其中主凹面镜(SK1)和副凹面镜(SK2)都具有能由光束穿过的孔。
具有暗化光瞳孔径物镜

[发明专利]用于补偿不对称光瞳照明的滤光装置-CN200580044849.8无效
发明人：曼弗雷德·毛尔;达米安·菲奥尔卡 -专利权人： 卡尔·蔡司SMT股份公司
申请日： 2005-08-25 - 公布日： 2007-12-12 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明涉及一种滤光装置(100)，其用于包括光源的照明系统，特别是用于照明光瞳的照明的校正，照明系统被从光源传播到物平面的照明射线束穿过，该照明射线束射到包括至少一个滤光元件(105)的滤光装置(100)上，所述至少一个滤光元件可以被引入到照明射线束(5)的光束路径中，滤光元件包括致动元件(113)，从而滤光元件可以借助于致动元件而被带到照明射线束(5)内。
用于补偿不对称照明滤光装置

[发明专利]用于照明系统的光学元件-CN200480010303.6有效
发明人：沃尔夫冈·辛格;马丁·安东尼 -专利权人： 卡尔·蔡司SMT股份公司
申请日： 2004-04-13 - 公布日： 2006-05-17 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明涉及一种波长≤193nm的照明系统用的光学元件；其中照明系统具有光源、场平面以及出射光瞳。本发明的特征在于，光学元件具有多个棱面，这些棱面这样布置并具有这样的偏转角，从而使每个棱面都接收光源的光并将其偏转向场平面中的离散点，其中离散点这样选择，以使得以预定形状照亮场平面里的场。各自属于场平面里的离散点的棱面将各自相应的在场平面里的离散点以及照明系统的出射光瞳的相应区域照亮。
用于照明系统光学元件

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