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- [实用新型]一种用于单晶炉的变温冷却系统-CN201520376166.3有效
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刘英江;黄旭光;赵京通
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河北晶龙阳光设备有限公司
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2015-06-03
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2015-12-02
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C30B15/00
- 本实用新型涉及一种用于单晶炉的变温冷却系统,其包括热交换器、外冷却系统和纯水循环系统；所述外冷却系统包括相互串联连接形成回路的水冷塔、阀门、外水泵和水源槽；所述纯水循环系统包括水冷套、副炉室水冷水路和主炉室水冷水路，所述水冷套、副炉室水冷水路由第一纯水冷却水回路与第一纯水冷冻水回路并联组成，所述主炉室水冷水路由第二纯水冷却水回路与第二纯水冷冻水回路并联组成；所述热交换器包含两个独立的循环通路，一个循环通路接入所述的外冷却系统，另一循环通路接入所述的纯水循环系统。本实用新型可以根据季节选择冷却方式，亦可根据不同工艺阶段需要的冷却水温度调配冷却水。本实用新型可有效提高单晶炉拉晶速度、降低加热损耗。
- 一种用于单晶炉冷却系统
- [实用新型]一种硅棒提升夹具-CN201320269593.2有效
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刘英江;李广哲;范全龙
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宁晋晶兴电子材料有限公司
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2013-05-16
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2013-11-20
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C30B35/00
- 本实用新型公开了一种硅棒提升夹具，包括上夹持件、下夹持件和联接上夹持件与下夹持件的多根立柱；所述上夹持件和下夹持件均由两个半圆形夹板扣合而成，上夹持件的两个半圆形夹板的顶部各设有一个吊环；所述多根立柱与两个半圆形夹板扣合形成的圆环垂直且在圆环上均布。本实用新型利用上下两对半圆形夹板组成圆柱形夹具，能够快速、安全的取出意外坠落于单晶炉内的单晶硅棒，立柱保证提升过程中硅棒重心垂直向下，使得硅棒垂直提升，避免发生危险；硅棒提升时不需要人力托扶，避免了人员因硅棒高温意外烫伤而发生事故，生产和安全得到保障。
- 一种提升夹具
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