“刘纯君”申请（专利权）人搜索_中国专利权人_发明人_技术持有人_科研专家_钻瓜专利网

钻瓜专利网为您找到相关结果10个，建议您升级VIP下载更多相关专利

[实用新型]一种晶粒搬运装置-CN202321255867.2有效
发明人：陈朝星;刘纯君 -专利权人：上海福赛特机器人股份有限公司
申请日： 2023-05-23 - 公布日： 2023-09-22 - 主分类号： B65G47/91 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种晶粒搬运装置，包括：搬运组件，包括相对设置的两个摆臂，所述摆臂的顶端设置有吸嘴，两个吸嘴背向设置；视觉组件，位于搬运组件的侧边，包括两个并列设置的镜头；反光组件，固定在两个摆臂的中间；包括与所述镜头对应的两个反光模组，所述反光模组包括反光面，所述反光模组的外侧覆盖背光板；所述反光面与对应镜头的轴心线呈45°夹角，所述反光面与对应吸嘴的轴心线呈45°夹角。本实用新型的目提供的一种晶粒搬运装置，缩小反光组件的体积，使得两个摆臂之间的距离缩减，进而实现晶粒半圆的效率和精度。
一种晶粒搬运装置

[发明专利]一种MOCVD晶圆集成上下片装置-CN202310104994.0在审
发明人：陈朝星;刘纯君 -专利权人：上海福赛特机器人股份有限公司
申请日： 2023-02-13 - 公布日： 2023-07-07 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本发明公开了一种晶圆集成上下片装置，用于执行LED MOCVD工艺，包括设置在防护腔体的内部的上片机构和下片机构，均包括存储单元、装载单元、晶圆运输单元、晶圆定位单元、石磨盘定位单元，防护腔体与MOCVD设备连通；存储单元用于存储多个卡塞和料架，卡塞用于存放晶圆，料架用于存放石磨盘；晶圆定位单元用于承载晶圆并对晶圆的角度进行调整；晶圆运输单元用于实现晶圆在晶圆定位单元、石磨盘定位单元之间的传输；石磨盘定位单元用于承载石磨盘并且石磨盘的角度进行调整；装载单元用于实现晶圆在卡塞和晶圆定位单元之间以及石磨盘在石磨盘定位单元和MOCVD设备、石磨盘定位单元和料架之间的逐一传输。
一种 mocvd 集成下片装置

[发明专利]一种MOCVD晶圆集成上下片装置-CN202310104957.X在审
发明人：陈朝星;刘纯君 -专利权人：上海福赛特机器人股份有限公司
申请日： 2023-02-13 - 公布日： 2023-05-23 - 主分类号： C23C16/458 文献下载
摘要：本发明涉及集成电路工艺的技术领域，公开了一种MOCVD晶圆集成上下片装置，包括设置在封闭空腔内部的存储单元、装载单元、晶圆定位单元、石磨盘定位单元，所述封闭空腔与MOCVD设备连通；所述存储单元用于存储多个卡塞，每个卡塞内部均自上而下均匀间隔叠放有多个晶圆；所述晶圆定位单元用于承载晶圆并对晶圆的角度进行调整；所述石磨盘定位单元用于承载石磨盘并且石磨盘的角度进行调整；所述装载单元用于实现晶圆在卡塞和晶圆定位单元之间、晶圆定位单元和石磨盘定位单元之间的逐一传输，以及石磨盘在石磨盘定位单元和MOCVD设备之间的逐一传输。
一种 mocvd 集成下片装置

[发明专利]一种用于AGV小车的自动补偿对接装置-CN202310023996.7在审
发明人：陈朝星;刘纯君 -专利权人：上海福赛特机器人股份有限公司
申请日： 2023-01-09 - 公布日： 2023-05-12 - 主分类号： B62D63/02 文献下载
摘要：本发明涉及物流运输的技术领域，公开了一种用于AGV小车的自动补偿对接装置，设置在AGV小车和载物平台之间，采用板状层叠式结构，其顶层与载物平台之间设置有第一补偿机构，层次之间设置有第二补偿机构，底层与AGV小车之间设置有第三补偿机构，所述第一补偿机构用于微调载物平台绕Z轴方向的转动角度，以补偿载物平台上的货物与对接口之间的角度偏差；所述第二补偿机构用于微调载物平台在Y轴方向的位移，以补偿载物平台上的货物与对接口在Y轴方向的位置偏差；所述第三补偿机构用于微调载物平台在AGV小车运动方向即X轴方向的位移，以促使载物平台上的货物与对接口的紧密接触。
一种用于 agv 小车自动补偿对接装置

[发明专利]一种晶圆周转装置及晶圆周转方法-CN201811622408.7有效
发明人： 刘纯君 -专利权人：上海福赛特机器人有限公司
申请日： 2018-12-28 - 公布日： 2020-12-11 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本发明公开了一种晶圆周转装置和晶圆周转方法。晶圆周转装置包括晶圆盒载置台，晶圆盘载置台，第一中转台，第二中转台，三个搬运机构以及控制单元。第一中转台包括用于识别并调整晶圆的平边位置的晶圆寻边器；第二中转台包括用于识别并调整晶圆盘的承载部的平边位置的晶圆盘寻边器。控制单元控制三个搬运机构分别在晶圆盒载置台和晶圆寻边器之间、晶圆寻边器和晶圆盘寻边器之间、以及晶圆盘寻边器和晶圆盘载置台之间传递晶圆，以高效地将晶圆从晶圆盒载置台搬运至晶圆盘载置台，或从晶圆盘载置台搬运至晶圆盒载置台。
一种圆周装置方法

[实用新型]一种晶圆倒片机的盘盖定位装置-CN201920111086.3有效
发明人： 刘纯君 -专利权人：上海福赛特机器人有限公司
申请日： 2019-01-22 - 公布日： 2019-08-20 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种晶圆倒片机的盘盖定位装置，包括多个第一定位块，所述第一定位块设于底板上，并围绕盘盖的圆周设置，所述第一定位块设有支撑面，用于支撑所述盘盖，并对所述盘盖的外径进行定位。本实用新型具有定位精度高，提高产品洁净度，提高生产效率，提高产品合格率，降低劳动力成本等优点。
盘盖定位块本实用新型定位装置倒片机种晶底板产品合格率定位精度高生产效率圆周设置洁净度支撑面支撑劳动

[实用新型]一种晶圆倒片机的盘中放片定位装置-CN201920115637.3有效
发明人： 刘纯君 -专利权人：上海福赛特机器人有限公司
申请日： 2019-01-23 - 公布日： 2019-08-20 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种晶圆倒片机的盘中放片定位装置，包括中空底板、设于所述底板上的盘盖、设于所述盘盖上的盘以及设于所述底板下方的举升机构，所述举升机构的上端设有吸盘，所述举升机构通过所述底板的中空部将所述吸盘顶起，从下方将所述盘盖上的盘吸住。本实用新型具有定位精度高，提高产品洁净度，提高生产效率，提高产品合格率，降低劳动力成本等优点。
底板举升机构盘盖吸盘本实用新型定位装置倒片机种晶产品合格率定位精度高生产效率中空底板洁净度上端中空吸住劳动

[实用新型]晶元圆周视觉定位及旋转装置-CN201821709535.6有效
发明人： 刘纯君;陈朝星;徐韦明 -专利权人：上海福赛特机器人有限公司
申请日： 2018-10-22 - 公布日： 2019-06-04 - 主分类号： H01L21/68 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种晶元圆周视觉定位及旋转装置，包括：旋转机构，用于带动放置其上的晶元旋转；对中机构，包括多个夹持件，用于从圆周方向对旋转机构上的晶元进行夹紧，以将晶元的圆心与旋转机构的旋转中心进行对中；视觉检测机构，用于对旋转机构上的晶元的特征角度进行检测；控制机构，用于控制对中机构对晶元进行对中，控制视觉检测机构对对中后的晶元的特征角度进行检测，以及控制旋转机构将晶元旋转到需要的角度。本实用新型具有降低搬运机构的搬运精度，在搬运时不需要对晶元中心进行定位，在旋转定位时晶元中心和旋转轴中心有很高的同心度，旋转角度的准确性得到更高保证的多种优点。
晶元旋转机构本实用新型对中机构视觉定位旋转装置搬运视觉旋转轴中心圆心搬运机构控制旋转旋转定位旋转中心夹持件同心度检测夹紧种晶保证

[实用新型]一种圆盘类零件的定位机构-CN201821201170.6有效
发明人：陈朝星;刘纯君;吴高 -专利权人：上海福赛特机器人有限公司
申请日： 2018-07-27 - 公布日： 2019-04-19 - 主分类号： B25B11/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种圆盘类零件的定位机构，包括：夹持模块，包括多个夹持件，用于从侧部对圆盘类零件进行夹紧，以对圆盘类零件的圆心进行定位；旋转模块，连接夹持模块，用于通过驱动夹持模块转动，带动圆盘类零件旋转；检测模块，用于对圆盘类零件的旋转角度进行检测。本实用新型可利用气动夹爪来夹紧圆盘类零件，定圆心速度快，结构简单；采用伺服电机带动圆盘类零件旋转角度精度高；同时，还可采用多层台阶式夹爪，可以在不更换任何零件的情况下，完成对多种尺寸圆盘类零件的定位。本实用新型可以提高整个自动化制程的节拍，从而增加生产线的产能，为工厂带来更好的经济效益。
圆盘类零件本实用新型圆心定位机构夹持模块多层台阶夹紧圆盘检测模块气动夹爪伺服电机旋转模块夹持件连接夹产能夹紧夹爪制程节拍转动自动化驱动检测

[实用新型]物体特征标记点识别装置-CN201820880925.3有效
发明人： 刘纯君 -专利权人：上海福赛特机器人有限公司
申请日： 2018-06-07 - 公布日： 2019-03-19 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型提供一种物体特征标记点识别装置，包括：旋转机构，具有一放置待识别物体的转盘、连接于所述转盘下方用于带动所述转盘转动的旋转控制组件；导正固定机构，包括一控制所述待识别物体导正的导正机构和控制所述导正机构运动的导正驱动机构；激光测距传感器，悬置于待识别物体上方，用于测量待识别物体的距离并根据距离的变化确定所述待识别物体上的特征标记点，并且生成用于控制所述旋转机构运行的识别信号。本实用新型中，机器人将石墨盘放到旋转机构上，激光测距传感器识别mark点后旋转机构停止，此时可确保石墨盘特征标记点（mark）点朝向的一致性，有效解决现有技术中通过人工识别特征标记点容易出现误差，而且耗费人力的问题。
旋转机构特征标记导正激光测距传感器本实用新型导正机构识别装置物体特征标记点石墨盘转盘旋转控制组件变化确定固定机构驱动机构人工识别识别信号有效解决转盘转动机器人测量

1
共 10 条