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[发明专利]一种复合抑制剂在CMP中的应用-CN202110909765.7在审
发明人：王辰伟;田源;张雪;周建伟;王胜利;刘启旭 -专利权人：河北工业大学
申请日： 2021-08-09 - 公布日： 2023-02-17 - 主分类号： C09G1/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种复合抑制剂在CMP中的应用，旨在提供一种能够有效抑制Cu的去除速率，增强抛光液对碟形坑和蚀坑的修正能力，有利于增强器件可靠性的复合抑制剂在CMP中的应用。所用抛光液中的抑制剂由TTA、BTA或CBT与KOH按照质量比为1‑3:1的比例配置而成。所用抛光液按质量百分比的组成为：硅溶胶5‑20％，氧化剂1‑15％，络合剂0.1‑5％，复合抑制剂0.25‑0.5％，表面活性剂为0.001‑5％，pH值调节剂适量，余量为去离子水。本发明的抛光液通过各种组分的合理配比，在保障抛光效果的情况下，能有效抑制铜的去除速率，对碟形坑和蚀坑修正能力强，增强了抛光的稳定性，提升了芯片的良率。同时，降低了抛光液的配置难度。
一种复合抑制剂 cmp 中的应用

[发明专利]一种用于多层铜互连CMP的工艺控制方法-CN202210278471.3在审
发明人：李强;康劲;刘玉岭;贾会静;杨云点;刘启旭;罗翀 -专利权人：康劲
申请日： 2022-03-21 - 公布日： 2022-09-23 - 主分类号： H01L21/768 文献下载
摘要：本发明提出一种用于多层铜互连CMP的工艺控制方法，涉及化学机械抛光技术领域。该方法主要通过调整抛光液流量后，在压力1.68psi‑5.00psi、抛头转速104rpm‑110rpm、抛盘转速110rpm‑116rpm以及研磨时间30s‑90s的条件下进行抛光，优化获得最适抛光液流量后，进行抛光，制得产品。以抛光液流量控制多层铜互连阻挡层CMP中铜、介质的去除速率，进而达到控制制作工艺的精度，可有效简化制作流程的繁琐程度，并且，该方法适合多数集成电路多层金属CMP制作工艺，适用性较强，由此可见，该方法的使用价值和实用价值较高，适合产品的规模化生产制作。
一种用于多层互连 cmp 工艺控制方法

[发明专利]一种CMP中防止划伤的抛光工艺-CN202210277713.7在审
发明人：罗翀;康劲;贾会静;姚宇;刘玉岭;刘启旭;郭峰;张月 -专利权人：康劲
申请日： 2022-03-21 - 公布日： 2022-09-16 - 主分类号： B24B29/02 文献下载
摘要：本发明提出了一种CMP中防止划伤的抛光工艺，涉及化学机械抛光技术领域。一种CMP中防止划伤的抛光工艺，包括如下步骤：将抛光液稀释到20‑100ml/L后，将稀释的抛光液加入抛光机中，对晶圆进行抛光。本发明通过在抛光过程中添加抛光液，本发明的抛光液具有强渗透力，能够渗入晶圆表面的缝隙中，通过抛光液将抛光垫碎屑和晶圆表面抛光产生的碎屑吸附，对碎屑进行包裹，将其带离晶圆表面，加快了晶圆表面凸处的质量传递，同时抛光液的表面柔软，将碎屑包裹住后形成的组合物的表面硬度远低于碎屑表面硬度，从而减小了碎屑与晶圆表面的机械作用，使得晶圆表面的划伤缺陷也随之减小。
一种 cmp 防止划伤抛光工艺

[发明专利]多层铜布线CMP中通过螯合剂修复D坑和蚀坑的方法-CN202210278631.4在审
发明人：刘玉岭;康劲;贾会静;赵健;王辰伟;刘启旭;王强;郭峰 -专利权人：康劲
申请日： 2022-03-21 - 公布日： 2022-09-16 - 主分类号： B24B37/00 文献下载
摘要：本发明提出了多层铜布线CMP中通过螯合剂修复D坑和蚀坑的方法，涉及化学机械抛光领域。多层铜布线CMP中通过螯合剂修复D坑和蚀坑的方法，包括以下步骤：制备含有FA/O型螯合剂的抛光液；再将抛光液加入抛光机中对图形片进行抛光，得到成品；其中抛光条件为：工作压力为1‑5Psi，抛头转速为88‑108r/min，抛盘转速为100‑110r/min，抛光液流量为200‑300ml/min。本发明利用自钝化理论来实现铜较高的高低速率差，从而达到较高的修正能力，有效抑制了D坑和蚀坑等缺陷的出现，达到平坦化的效果，且FA/O型螯合剂与Cu2+螯合生成的铜胺络合物易溶于水，对环境无污染。
多层布线 cmp 通过螯合剂修复方法

[发明专利]一种用于CMP过程中介质与铜速率选择比的控制方法-CN202210281679.0在审
发明人：王辰伟;康劲;贾会静;赵健;刘玉岭;盛元慧;刘启旭 -专利权人：康劲
申请日： 2022-03-21 - 公布日： 2022-09-16 - 主分类号： B24B37/005 文献下载
摘要：本发明提出了一种用于CMP过程中介质与铜速率选择比的控制方法，涉及化学机械抛光领域。一种用于CMP过程中介质与铜速率选择比的控制方法，包括以下步骤：采用pH值调节剂将抛光液的pH值调节至9.0‑11.5；再将抛光液加入抛光机中对图形片进行抛光，得到成品；其中抛光条件为：工作压力为1‑5Psi，抛头转速为88‑108r/min，抛盘转速为100‑110r/min，抛光液流量为200‑300ml/min。选用pH值调节剂来调整抛光液的pH值，进而控制不同材料的介质与铜的去除速率比，速率选择比可控可调，该控制方法较为简单，精度准，适合规模化工业生产的需要。
一种用于 cmp 过程介质速率选择控制方法

[发明专利]一种新型抛光液及其制备方法和应用-CN202210277917.0在审
发明人：康劲;刘玉岭;贾会静;罗翀;刘启旭;张月;王强 -专利权人：康劲
申请日： 2022-03-21 - 公布日： 2022-09-16 - 主分类号： C09G1/02 文献下载
摘要：本发明提供一种新型抛光液及其制备方法和应用，涉及抛光液技术领域。一种新型抛光液，按质量份数计，包括：硅溶胶3‑10％，络合剂0.02‑2％，杀菌剂0.03‑2％，表面活性剂0.0001‑3％和去离子水余量。本发明的抛光液不含缓蚀剂，对人体无伤害，通过自钝化作用即可在铜表面形成致密的钝化膜，同时也不会对晶圆表面造成损伤，更加安全环保。本发明的制备方法简单快捷，便于操作，适合快速生产。本发明在大规模集成电路的应用中，通过该抛光液在铜表面形成致密的自钝化保护膜，从而有效控制密线条处铜去除速率，进而有效控制ETHK厚度，使电路的电性能增强。
一种新型抛光及其制备方法应用

[发明专利]用于大尺寸硅边抛的化学机械抛光液及其制备方法和应用-CN202111211279.4有效
发明人：王辰伟;周建伟;王胜利;雷双双;王如;井锋;刘启旭 -专利权人：江苏山水半导体科技有限公司;河北工业大学
申请日： 2021-10-18 - 公布日： 2022-09-09 - 主分类号： C09G1/02 文献下载
摘要：本发明属于化学机械抛光领域，尤其涉及一种用于大尺寸硅边抛的化学机械抛光液及其制备方法和应用，所述抛光液包括如下重量份组分：硅溶胶650份；金属螯合剂2‑4份；钾盐速率促进剂5‑20份；碱性速率促进剂60‑90份；表面活性剂1‑10份；杀菌剂3‑5份％；pH调节剂5‑10份；去离子水213‑386份。本发明的抛光液通过加入钾离子可以有效提高大尺寸硅边缘的抛光速率、降低大尺寸硅边缘的表面粗糙度，能够满足微电子行业的精度要求。
用于尺寸硅边抛化学机械抛光及其制备方法应用

[发明专利]一种在GLSI制备中用转速调整铜和介质速率选择比的方法-CN202210278226.2在审
发明人：贾会静;康劲;王辰伟;姚宇;盛元慧;刘启旭;罗翀 -专利权人：康劲
申请日： 2022-03-21 - 公布日： 2022-09-06 - 主分类号： H01L21/321 文献下载
摘要：本发明提出了一种在GLSI制备中用转速调整铜和介质速率选择比的方法，涉及化学机械抛光领域。一种在GLSI制备中用转速调整铜和介质速率选择比的方法，包括如下步骤：将抛光液加入抛光机中，在抛光头转速为55‑115r/min、抛光盘转速为66‑125r/min条件下对晶圆进行抛光。本发明在该条件下进行抛光，可以控制晶圆表层的杂质去除速率，有效对晶圆表面平坦化处理，使得晶圆表层抛光效果良好，提高产品的成品率和质量。本发明通过在这种抛光液CMP过程中随着转速的变化，铜和介质的速率变化趋势不同，从而实现了通过改变抛光液的不同转速，得到不同铜与介质速率，以及铜和介质的选择比。
一种 glsi 制备中用转速调整介质速率选择方法

[发明专利]一种利用分段抛光降低图形表面缺陷的工艺-CN202210278624.4在审
发明人：李强;康劲;罗翀;贾会静;王辰伟;杨云点;刘启旭 -专利权人：康劲
申请日： 2022-03-21 - 公布日： 2022-08-30 - 主分类号： B24B37/00 文献下载
摘要：本发明提出了一种利用分段抛光降低图形表面缺陷的工艺，涉及化学机械抛光技术领域。一种利用分段抛光降低图形表面缺陷的工艺，包括：将待抛光材料固定在抛头上，进流抛光液，调整抛头和抛盘的转速；对抛头施加压力，使待抛光材料的抛光面与抛盘接触，调整抛头和抛盘的转速，进行一段抛光；降低压力，停流抛光液，采用高压水冲洗抛盘，进行一次水抛；停止水抛，进流抛光液，增加对抛头的压力，进行二段抛光；降低压力，停流抛光液，调整抛头和抛盘的转速，采用高压水冲洗抛盘，进行二次水抛；降低压力，采用高压水冲洗抛光材料，抛光结束。本发明工艺简单，其抛光后图形片表面的粗糙度缺陷数量明显降低，且稳定性高，具有较强的经济效益。
一种利用分段抛光降低图形表面缺陷工艺

[实用新型]一种路桥过渡搭接板装置-CN201921834290.4有效
发明人： 刘启旭 -专利权人： 刘启旭
申请日： 2019-10-29 - 公布日： 2020-08-04 - 主分类号： E01D19/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及路桥相关技术领域，具体是一种路桥过渡搭接板装置，包括安装于设置在混凝土路桥板上的放置槽内的装置本体；所述装置本体包括相对设置的第一搭接件和第二搭接件、以及设置在第一搭接件和第二搭接件之间的活动件，所述活动件的下端通过第一弹性组件与底板连接，底板上与活动件垂直位置两侧通过第二弹性组件与第一搭接件和第二搭接件连接，所述活动件的两侧端倾斜设置，且与第一搭接件或第二搭接件上与活动件相对的一倾斜面平行。本实用新型设计新颖，在第一搭接件和第二搭接件相对活动件移动时，活动件始终与第一搭接件和第二搭接件抵接，防止杂物或水的进入的落入，提高了使用寿命。
一种过渡搭接板装置

[实用新型]一种路桥主体裂缝检测装置-CN201921645967.X有效
发明人： 刘启旭 -专利权人： 刘启旭
申请日： 2019-09-29 - 公布日： 2020-05-22 - 主分类号： G01N29/04 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种路桥主体裂缝检测装置，要解决的是现有裂缝检测装置容易出错的问题。本产品包括底座和顶座，所述底座的下端设置有便于移动的滚轮，顶座的下端与液压杆的顶端相连并且液压杆的下端固定在底座上端面，液压杆与液压泵相连，底座的侧面设置有超声波探伤仪，顶座的侧面安装有摄像头并且顶座的上端安装有控制面板，控制面板分别与摄像头、超声波探伤仪和液压泵电连接。本产品通过超声波探伤仪和摄像头可以对裂缝处进行双重确认，减少错误率；本产品通过液压泵和液压杆可以调节摄像头与地面的高度，适用于不同的工作环境，使用范围更广；本产品还设置有标记装置，可以对有裂缝处进行标记，便于后期修复。
一种主体裂缝检测装置

[发明专利]一种环保除尘雾炮-CN201711238899.0在审
发明人： 刘启旭 -专利权人：济宁九吉亘花卉有限公司
申请日： 2017-11-30 - 公布日： 2019-06-07 - 主分类号： B01D47/06 文献下载
摘要：本发明公开了一种环保除尘雾炮，包括前橡胶轮、车头、后视镜、前车窗、车头顶盖、后车窗、高压蓄水灌、控制器、支撑柱、进水管、增压器、伸缩器、后橡胶轮和液晶显示器，所述前橡胶轮的外表壁上方中心处安装有车头，所述车头的外表壁左侧中心处安装有后视镜，所述后视镜的右侧中心处安装有前车窗。本发明中，我们的设计的雾炮车主要是针对煤场、火力发电厂、钢铁矿、焦化厂、料场、码头等因超量粉尘造成环境污染，利用不同形状和雾化角度的喷嘴将水雾化，与粉尘凝聚沉积下来，达到消除粉尘，净化环境的目的，整个喷雾系统由水系统和控制系统组成，雾炮车具有操作方便、免维护、快捷、灵活的特点，并在实践中取得了极佳的降尘效果。
后视镜橡胶轮车头前车窗外表壁中心处粉尘火力发电厂液晶显示器左侧中心处车头顶盖粉尘凝聚降尘效果净化环境控制系统喷雾系统控制器喷嘴钢铁矿后车窗焦化厂进水管灵活的免维护伸缩器水雾化水系统增压器支撑柱煤场料场雾化沉积环保蓄水码头

[发明专利]一种喷雾装置的供水设备-CN201711238954.6在审
发明人： 刘启旭 -专利权人：济宁九吉亘花卉有限公司
申请日： 2017-11-30 - 公布日： 2019-06-07 - 主分类号： B01D47/06 文献下载
摘要：本发明公开了一种喷雾装置的供水设备，包括设置在车体上的增压泵、储水箱、过滤器以及第一进水管、第三进水管、第二进水管，所述储水箱通过第一进水管与过滤器相连通，所述过滤器通过第二进水管与增压泵相连通，所述增压泵通过第三进水管与雾炮机构相连通。在水进入增压泵之前设置水过滤机构，可以将水中的杂物，有效过滤，便于在产业上推广和应用。
进水管增压泵过滤器供水设备喷雾装置储水箱水过滤机构车体过滤杂物应用

[发明专利]一种能够消毒的雾炮-CN201711238953.1在审
发明人： 刘启旭 -专利权人：济宁九吉亘花卉有限公司
申请日： 2017-11-30 - 公布日： 2019-06-07 - 主分类号： B05B13/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种能够消毒的雾炮，包括电动汽车，所述电动汽车的车身上设有与之固定的箱体，箱体内设有车载喷雾机、蓄电池、药液箱、手动喷雾机和控制器，车厢侧面设有细菌荧光实时侦测仪，所述药液箱通过管道与车载喷雾机连接，控制器与蓄电池均通过导线分别与车载喷雾机连接。本发明具有射程远、雾滴均匀、漂浮空气中时间长、机动性能好、工效高、操作安全、卫生、携药量大、功能齐全，急促喷雾能力强的特点，能广泛应用于各种室内外消毒用。
车载喷雾机蓄电池电动汽车消毒控制器药液箱手动喷雾机操作安全车厢侧面机动性能实时侦测细菌荧光固定的能力强室内外喷雾雾滴药量车身射程漂浮卫生应用

[发明专利]一种市政绿化洒水车的喷水设备-CN201711238952.7在审
发明人： 刘启旭 -专利权人：济宁九吉亘花卉有限公司
申请日： 2017-11-30 - 公布日： 2019-06-07 - 主分类号： E01H3/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种市政绿化洒水车的喷水设备，包括洒水车，洒水车包括车身和洒水箱，洒水箱上端设有进口，在洒水箱内前端设有洒水车专用水泵，在洒水车专用水泵的输出端连接有排水管，在排水管的另一端连接有储水装置，储水装置为封闭的空腔结构，储水装置包括进水口、出水口和立式水泵以及电机，所述进水口与排水管匹配安装，所述出水口与立式水泵的输出端匹配安装，在所述立式水泵的输出端还连接有喷水管架，所述喷水管架包括T形输送管和设置在T形输送管水平方向上的喷水管以及设置在喷水管出口的雾化喷头，所述T形输送管的竖直部分与立式水泵的输出端相连。该发明用电量小，运行费用低，大大降低了设备使用成本，并且达到了喷水雾化更加彻底的效果。
洒水车立式水泵排水管储水装置洒水箱输送管喷水管架喷水设备市政绿化专用水泵出水口进水口喷水管输出端匹配输出端连接输出端相连空腔结构喷水雾化设备使用雾化喷头一端连接运行费用上端用电量竖直车身电机封闭进口出口

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