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[发明专利]一种检测并消除热处理硅晶圆应力缺陷的方法-CN202310945124.6在审
发明人：吴泓明;钟佑生;黄郁璿;孙楠;冯晨萁 -专利权人：郑州合晶硅材料有限公司
申请日： 2023-07-31 - 公布日： 2023-10-03 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：本发明公开了一种检测并消除热处理硅晶圆应力缺陷的方法，包括以下步骤：S1.取测试样品，模拟硅晶圆生产热处理工艺参数进行热处理，使样品表面生长氧化层，选取监测点对样品不同位置氧化层膜厚进行监测，同时对样品是否发生应力缺陷进行监测；S2.调节热处理工艺参数，使样品边缘和pinmark位置产生应力缺陷，分别将样品边缘和pinmark位置产生应力缺陷时的监测点膜厚差值作为上限值和下限值；S3.采用步骤S1的热处理工艺参数对硅晶圆产品进行热处理生产时，选取同样的监测点对膜厚进行监测，当监测点膜厚差值不在上限值和下限值之间时，及时调节热处理工艺参数，避免应力缺陷产生，提高了热处理硅晶圆良率。
一种检测消除热处理硅晶圆应力缺陷方法

[实用新型]一种晶片热处理用边缘环-CN202222510021.0有效
发明人：吴泓明;钟佑生;黄郁璿;冯晨萁 -专利权人：郑州合晶硅材料有限公司
申请日： 2022-09-22 - 公布日： 2023-04-28 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种晶片热处理用边缘环，包括多个分体设置的采用已抛光晶片制成的边缘环单元，多个所述边缘环单元能够拼合为完整的边缘环。本申请通过对边缘环的进一步改进，可以有效的降低热处理过程中，边缘环产生的金属污染问题和刮伤晶片问题，同时还可以发挥边缘环的实际作用，很大程度上提升了晶圆的品质。因此，本申请所提供的抛光边缘环具有较好的实用价值和技术改进意义。
一种晶片热处理边缘

[发明专利]退火方法和半导体器件的制造方法-CN201910652395.6在审
发明人： 冯晨萁;洪纪伦;吴宗祐;林宗贤 -专利权人：德淮半导体有限公司
申请日： 2019-07-19 - 公布日： 2019-10-22 - 主分类号： H01L21/324 文献下载
摘要：本公开涉及一种退火方法和半导体器件的制造方法。其中，退火方法包括：在形成有图案化结构的衬底上沉积石墨烯层，其中所述石墨烯层至少部分覆盖所述图案化结构；以及对所述衬底退火。
退火半导体器件图案化结构石墨烯层衬底沉积制造覆盖

[实用新型]遮挡装置及离子植入机-CN201821926309.3有效
发明人： 冯晨萁;洪纪伦;吴宗祐;林宗贤 -专利权人：德淮半导体有限公司
申请日： 2018-11-21 - 公布日： 2019-08-23 - 主分类号： H01J37/317 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种用于晶片的离子植入的遮挡装置及所述离子植入机中，所述遮挡装置包括：档板和机械手，所述挡板与所述机械手相连，所述挡板能够随着所述机械手移动。在晶片植入离子的位置前方增加本实用新型的遮挡装置，当晶片进行最后一次扫描且发生两次瞬间离子束的波动时，机械手带动挡板移动，将挡板的一侧边缘移动到晶片发生两次瞬间离子束的波动位置的中间位置，对晶片一侧进行补植入；然后将挡板的另一侧边缘移动到晶片发生两次瞬间离子束波动的中间位置，再对晶片另一侧进行补植入，避免了离子植入过量的现象。
晶片机械手挡板遮挡装置植入离子束离子本实用新型离子植入机一侧边缘移动波动位置挡板移动一次扫描植入的档板过量

[发明专利]一种石墨烯/氧化铁/聚苯胺复合材料的制备方法-CN201610394026.8有效
发明人：韩生;刘金宝;蔺华林;陈红艳;喻宁波;冯晨萁;韦焕明;韩治亚 -专利权人：上海应用技术学院
申请日： 2016-06-06 - 公布日： 2018-08-10 - 主分类号： C08L79/02 文献下载
摘要：本发明涉及一种石墨烯/氧化铁/聚苯胺复合材料的制备方法，包括以下步骤：将氧化石墨烯超声分散均匀，加入十二烷基硫酸钠水溶液和苯胺进行混合，超声形成稳定均匀的混合液，冰水浴搅拌并逐滴加入用盐酸酸化的过硫酸铵，继续冰水浴搅拌12小时，将得到的墨绿色溶液离心、水洗得到凝胶状的物质，再将其超声分散于盐酸溶液中，然后向其中滴加饱和氯化铁溶液继续超声，最后将其在室温下搅拌1小时候，在180℃下水热12小时离心、水洗、冻干，即得到石墨烯/氧化铁/聚苯胺复合材料；本发明工艺过程简单、操作性强，设备投入少，生产成本低，且所得的石墨烯/氧化铁/聚苯胺复合材料的电化学稳定性好、比容量高、循环性能好、倍率性能优异。
一种石墨氧化铁苯胺复合材料制备方法

[发明专利]一种金属-氮掺杂多孔碳微球的制备方法-CN201610988843.6有效
发明人：韩生;付宁;韦焕明;陈海军;蔺华林;冯晨萁;江新泽;兰国贤;刘金宝;喻宁波;余伟萍;何抗抗;马文飞;钱炜;刘玉萍;任济夫 -专利权人：上海应用技术大学
申请日： 2016-11-10 - 公布日： 2018-08-10 - 主分类号： C01B32/05 文献下载
摘要：本发明公开了一种金属‑氮掺杂多孔碳微球的制备方法。本发明以4‑乙烯基吡啶单体(4VP)为碳氮源，以不同金属盐为引发剂、配位剂、催化剂和模板剂，首先以金属盐为引发剂使得4VP单体在常温下发生聚合，金属离子与4VP分子中的氮原子形成金属‑配位结构，形成金属‑有机物微球；随后在高温下，微球中的金属又起到了催化剂和模板剂的作用，使有机物转化为碳，且球状结构得以保留，再经酸洗即得金属‑氮掺杂多孔碳微球。本发明金属源可选择性广，步骤简单，制备的氮掺杂多孔碳材料比表面积大、氮元素含量高。大的比表面积和高的氮元素含量使得本材料在能量存储转换、催化和环境保护领域有着巨大的应用前景。
微球金属氮掺杂多孔碳制备氮元素金属盐模板剂引发剂催化剂乙烯基吡啶单体环境保护领域多孔碳材料有机物转化金属离子能量存储配位结构球状结构常温下氮原子金属源配位剂碳氮源有机物酸洗催化聚合转换保留应用

[发明专利]一种锂离子电池负极材料的制备方法-CN201510849597.1有效
发明人：韩生;刘金宝;蔺华林;冯晨萁;刘益林;艾亚妮 -专利权人：上海应用技术学院
申请日： 2015-11-27 - 公布日： 2018-07-31 - 主分类号： H01M4/36 文献下载
摘要：本发明一种锂离子电池负极材料的制备方法，将CNFs经酸化处理过后，离心水洗，分散到水中，将分散好的CNFs与分散好的苯胺和十二烷基硫酸钠水溶液混合，超声形成稳定均匀的混合液，冰水搅拌并加入酸化的过硫酸铵，得到的分散液经过离心、水洗得到CNFs@PANI，再加入Na2MoO4和Na2S，停止加热，自然冷却搅拌，得到CNFs@PANI/MoS3，然后在高温下煅烧碳化，最终得到CNFs@NC/MoS2。本发明的方法利用原位生长的聚苯胺可以有效的阻止粉碎的二硫化钼由内在层面引起的体积膨胀，从而使得复合负极材料的稳定性能好，易控制，而且能够有效的提高材料的导电性，大大提高了电池的比容量以及倍率性能。
一种锂离子电池负极材料制备方法

[发明专利]一种氮掺杂多孔碳材料的制备方法-CN201610880412.8有效
发明人：韩生;付宁;蔺华林;朱贤;祝俊;韦焕明;冯晨萁;江新泽;兰国贤;刘金宝;喻宁波;余伟萍;何抗抗;马文飞;钱炜;陈海军;刘玉萍;任济夫 -专利权人：上海应用技术大学
申请日： 2016-10-09 - 公布日： 2018-07-20 - 主分类号： C01B32/05 文献下载
摘要：本发明公开了一种氮掺杂多孔碳材料的制备方法。本发明以聚4‑乙烯基吡啶(P4VP)为碳源和氮源，以金属离子为配体，基于金属有机配位理论形成碳化前驱体。再通过高温碳化、盐酸洗涤即得到氮掺杂多孔碳材料。本发明所述的制备方法不仅具有步骤简单、操作方便、适合大规模生产的特点，而且制备的氮掺杂多孔碳材料具有比表面积大、孔径分布集中、氮元素含量高的优点。采用本方法制备多孔碳材料可以避免模板法步骤复杂或者活化法设备要求高、孔径分布不均匀的缺陷，可广泛应用于能量存储转换、催化和环境保护领域。
一种掺杂多孔材料制备方法

[发明专利]一种在铜基体上制备复配表面活性剂/La‑Ni‑Mo‑W共沉积镀层的方法-CN201610085510.2有效
发明人：蔺华林;付宁;冯晨萁;蒋继波;韩生 -专利权人：上海应用技术学院
申请日： 2016-02-15 - 公布日： 2018-03-09 - 主分类号： C25D3/56 文献下载
摘要：本发明公开了一种在铜基体上制备复配表面活性剂/La‑Ni‑Mo‑W共沉积镀层的方法。通过对纯铜片抛光、除油、浸蚀前处理；然后以铜片为阴极，镀铂的金属钛网板为阳极；在恒温水浴条件下进行电镀就可得到复配表面活性剂/La‑Ni‑Mo‑W共沉积镀层。本发明采用在镍(Ni)‑钼(Mo)‑钨(W)镀液中加入复配表面活性剂和稀土元素镧(La)的方法来制备共沉积镀层，所得复配表面活性剂/La‑Ni‑Mo‑W共沉积镀层具有厚度均匀、硬度高、耐磨和耐腐蚀性好、稳定性好以及析氢活性高的优点。
一种基体制备表面活性剂 la ni mo 沉积镀层方法

[发明专利]一种碳化钼掺杂线性聚合物修饰石墨烯复合材料及其制备方法-CN201710172163.1在审
发明人：蒋继波;钱炜;陈浩天;朱丽莹;韩生;冯晨萁 -专利权人：上海应用技术大学
申请日： 2017-03-22 - 公布日： 2017-07-07 - 主分类号： B01J27/22 文献下载
摘要：本发明公开了一种碳化钼掺杂线性聚合物修饰石墨烯复合材料及其制备方法。本发明的制备方法具体步骤如下(1)将线性联吡啶类聚合物修饰的氧化石墨烯分散到钼酸铵饱和溶液，再回流反应，反应结束后过滤、滤渣在去离子水中浸泡洗涤后，经真空干燥得到带钼酸根的石墨烯复合材料Mo@GO；(2)将带钼酸根的石墨烯复合材料Mo@GO在氢气氛围下碳化得到碳化钼掺杂线性聚合物修饰石墨烯复合材料。本发明制备方法简单，所制备的材料电化学性能优异，同时具有大规模制备的潜质，可应用于电催化、析氢催化、超级电容器等领域。
一种碳化掺杂线性聚合物修饰石墨复合材料及其制备方法

[发明专利]一种用于化学镀Ni‑Mo‑B/GO多功能纳米复合沉积层的镀液、制备方法及其应用-CN201710172154.2在审
发明人：蒋继波;钱炜;陈浩天;朱丽莹;韩生;冯晨萁 -专利权人：上海应用技术大学
申请日： 2017-03-22 - 公布日： 2017-06-27 - 主分类号： C23C18/50 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于化学镀Ni‑Mo‑B/GO多功能纳米复合沉积层的镀液、制备方法及其应用。所述镀液按照每升计算，其组成和含量如下六水合氯化镍20‑55g，硼氢化钠0.5‑4g，钼酸钠10‑25g,氢氧化钠20‑65g，乙二胺15‑65克，十二烷基硫酸钠0.1‑0.2g，氧化石墨烯0.1‑10g,乙酸铅0.01‑1g，余量为蒸馏水。其制备方法通过将六水合氯化镍，硼氢化钠，钼酸钠,氢氧化钠，乙二胺，十二烷基硫酸钠，氧化石墨烯,乙酸铅依次加入到蒸馏水中溶解，然后静置，即得到镀液。本发明的镀液用于在低碳钢工件的表面进行施镀,即形成耐磨性好，耐腐蚀强的复合镀层。
一种用于化学 ni mo go 多功能纳米复合沉积制备方法及其应用

[发明专利]一种氮掺杂多孔碳材料的制备方法及其在超级电容器的应用-CN201611181674.1在审
发明人：韩生;韦焕明;蔺华林;江新泽;付宁;兰国贤;刘金宝;钱炜;陈海军;刘玉萍;余伟萍;冯晨萁;喻宁波 -专利权人：上海应用技术大学
申请日： 2016-12-20 - 公布日： 2017-04-26 - 主分类号： C01B32/348 文献下载
摘要：本发明属于无机纳米材料和电化学领域，具体地说是一种氮掺杂多孔碳材料的制备方法及其在超级电容器的应用，包括以下步骤首先将含氮聚合物与路易斯酸按一定比例溶于酸性溶液中，搅拌1‑8小时，然后蒸干，在惰性气氛保护下，400‑1000℃下活化1‑24小时，自然冷却后，在酸性溶液中洗涤，然后用去离子水洗涤PH至中性，干燥即得到氮掺杂多孔碳材料；本发明同现有技术相比，其制备方法对设备要求低、制备方法简单，便于大规模生产，且制备出的氮掺杂多孔碳材料含氮量高，具有高的比表面积和均一的孔径分布，在电池和电容器电极材料等方面具有很高的应用价值。
一种掺杂多孔材料制备方法及其超级电容器应用

[发明专利]RE‑Ni‑Mo/GO纳米复合沉积液及制备方法和用途-CN201510314625.X有效
发明人：蒋继波;韩生;冯晨萁;付宁;叶冯英 -专利权人：上海应用技术学院
申请日： 2015-06-10 - 公布日： 2017-03-22 - 主分类号： C25D3/12 文献下载
摘要：本发明公开了一种RE‑Ni‑Mo/GO纳米复合沉积液，每升沉积液中含有0.25~5g氧化石墨烯、45~55g硫酸镍、4~10g钼酸钠、55~65g柠檬酸三钠、0.2g十二烷基硫酸钠、0.1~5g稀土元素RE、余量的蒸馏水。本发明还公开了一种在低碳钢表面形成RE‑Ni‑Mo/GO多功能纳米复合沉积层的方法，采用上述的复合沉积液，基于超声波与电沉积技术结合，在低碳钢表面制备RE‑Ni‑Mo/GO多功能纳米复合沉积层。通过本发明的方法制备的复合沉积层有效提高了低碳钢的耐腐蚀性能，表面硬度、耐磨性及断裂强度等性能，而且有效的解决了传统复合电沉积中粉体微粒团聚难题。
re ni mo go 纳米复合沉积制备方法用途

[发明专利]一种硫化镍/石墨烯/聚苯胺复合电极材料的制备方法-CN201610552357.X在审
发明人：韩生;刘金宝;蔺华林;刘益林;陈红艳;喻宁波;冯晨萁;韦焕明 -专利权人：上海应用技术学院
申请日： 2016-07-14 - 公布日： 2016-10-12 - 主分类号： H01M4/36 文献下载
摘要：本发明涉及一种硫化镍/石墨烯/聚苯胺复合电极材料的制备方法，将氧化石墨烯超声分散均匀，分别加入十二烷基硫酸钠水溶液和苯胺进行混合，超声形成稳定均匀的混合液，冰水浴搅拌并逐滴加入用盐酸酸化的过硫酸铵，继续冰水浴搅拌12小时，将得到的墨绿色溶液离心、水洗得到凝胶状的物质，再将其超声分散于盐酸溶液中，然后向其中滴加四水醋酸镍水溶液和硫代乙酰胺溶液继续超声至均匀，在180℃下水热12小时，再经过离心、水洗、冻干便得到了硫化镍石墨烯/聚苯胺复合电极材料；本发明同现有技术相比，旨在通过对锂离子电池的负极材料进行改进，从而获得稳定性好，易控制的负极材料，以改善锂离子电池的性能。
一种硫化石墨苯胺复合电极材料制备方法

[发明专利]一种Ce-Ni-B/GO化学复合沉积层及其超声波辅助制备方法-CN201610420175.7在审
发明人：蒋继波;钱炜;冯晨萁;韩生;朱丽莹;初胜亚;吕冲 -专利权人：上海应用技术学院
申请日： 2016-06-13 - 公布日： 2016-08-10 - 主分类号： C23C18/34 文献下载
摘要：本发明公开了一种Ce‑Ni‑B/GO化学复合沉积层及其超声波辅助制备方法。本发明将低碳钢工件在Ce‑Ni‑B/GO复合沉积液中超声，即在低碳钢表面制得Ce‑Ni‑B/GO化学复合沉积层；其中：复合沉积液中，每升沉积液中包括如下组分：铈0.1～5g，六水合氯化镍20～55g，硼氢化钠0.5～4g，氢氧化钠20～65g，乙二胺15～65克，十二烷基硫酸钠0.1‑2g，氧化石墨烯0.1～10g。本发明采用复合沉积液，基于超声波与化学镀技术，在低碳钢表面制备多功能纳米复合沉积层。制备的复合沉积层能有效提高低碳钢的耐腐蚀性能，表面硬度、耐磨性等性能，且能有效的解决微粒开裂难题。
一种 ce ni go 化学复合沉积及其超声波辅助制备方法

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