专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]一种非晶硅材料电阻率调节方法-CN202011592450.6在审
  • 曾璞;陈方军;刘从吉;公丕华;赖冬寅;王万祎;梁松林;周忠燕;李刚;陈君润 - 西南技术物理研究所
  • 2020-12-29 - 2021-05-18 - H01L31/18
  • 本发明涉及一种简单可行的非晶硅材料电阻率的调节方法,其中,包括:采用化学气相沉积PECVD硅烷辉光放电制备非晶硅材料,平行板结构装置衬底放在具有温控装置的平板上,射频电压加在上下平行板之间;反应腔体内采用热丝控制气体温度,在辉光放电前,先将沉积室温抽真空到5x10‑4Pa;然后在辉光放电沉积过程的反应室中,通入少量N2O与硅烷作为非晶硅材料反应气体,并且在反应过程中使反应腔中保持46Pa~55Pa的压强,对衬底进行加热到300℃,让上下平板间出现电容耦合式的气体放电,将氧原子掺杂入非晶硅材料中,使氧原子在非晶硅中与Si形成新键,形成含氧的氢化非晶硅。本发明提出的一个非晶硅材料电阻率的调节方法,简单可行。
  • 一种非晶硅材料电阻率调节方法
  • [发明专利]激光器冷却箱的洁净方法及其洁净度的检测方法-CN201510988210.0有效
  • 曾璞;杨闯;公丕华;周忠艳;赵子竣;石朝骥;徐丹;丁戗;温峰;张治旭 - 西南技术物理研究所
  • 2015-12-27 - 2018-08-21 - B08B9/08
  • 本发明提出的一种激光器冷却箱的洁净方法及其洁净度的检测方法,旨在提供的一种方法便捷精确,洁净度高,能够快速洁净复杂结构冷却箱的洁净方法和简便准确、能够定量精确判定清洗洁净度的检测方法。本发明通过下述技术方案予以实现:将水泵进出口管路分别连接激光器冷却箱冷却系统的冷却水循环回路进出水口;用纯净的乙二醇清洗液注入激光器冷却箱内,然后将注满乙二醇装清洗液的激光器冷却箱放入温度调至80度的超声波清洗机中,开启超声波清洗机和水泵,使所述激光器冷却箱内的乙二醇在水泵作用下循环流动。再用分光光度计对标准乙二醇样本和乙二醇液体取样进行透过率测试,然后将两者测试透过率结果进行对比,取样透过率小于标准二乙醇透过率2%的洁净度良好。
  • 激光器冷却洁净方法及其检测

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