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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]用于制造曝光结构的方法和装置-CN03820925.X无效
发明人：汉斯·奥普韦;斯特凡·沙尔;迪尔克·莱嫩巴赫 -专利权人： 克列奥半导体技术有限商业两合公司
申请日： 2003-08-20 - 公布日： 2005-10-05 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：用于借助于曝光装置(10)在大量组件上制造曝光结构的方法，在该曝光装置中，衬底体(28)和曝光装置彼此相对运动，其中，在至少一部分组件上制造相同的结构，为这样进行改进，使该方法尽可能高效地工作，提出每个相同的结构是在大量宏行内部通过在各个组件区域内曝光衬底体而产生的；每个宏行包括大量并排的行；在曝光装置的曝光行程的一次通过期间，大量宏行的同一宏行区域内所有被该曝光行程捕捉的组件均得到曝光；曝光装置具有大量光源和一个带有控制存储器的控制装置，其中，可以从该存储器中读出已经存储的其区域要被曝光的宏行的数据组，同时存储另一宏行的数据组。
用于制造曝光结构方法装置

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