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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

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B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[实用新型]基板输送装置及真空镀膜设备-CN202320412380.4有效
发明人：汪晨洁;余海春;杨启忠;戴晓东 -专利权人：光驰科技（上海）有限公司
申请日： 2023-03-07 - 公布日： 2023-07-28 - 主分类号： B65G35/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了基板输送装置及真空镀膜设备，该基板输送装置包括输送机构，输送机构包括滚轮组件和第一驱动组件，滚轮组件包括多个沿第一方向间隔分布的滚轮组，滚轮组包括多个沿第二方向间隔分布且均转动设置于安装基体的滚轮，沿滚轮的轴向，至少两个相邻的滚轮的轮轴之间通过活动结构连接，基板能放置于滚轮上，第一方向与第二方向垂直；第一驱动组件被配置为能带动多个滚轮组的滚轮转动于安装基体。能够降低滚轮和轮轴的加工精度要求，便于加工和安装滚轮的轮轴，能够减小传递至滚轮组的轮轴的扭转力矩，降低滚轮组的轮轴被拧断的风险，降低电机过载报警的几率，提升基板输送装置的使用寿命和使用安全性。
输送装置真空镀膜设备

[实用新型]镀膜装置-CN202320412379.1有效
发明人：汪晨洁;余海春;杨启忠;戴晓东 -专利权人：光驰科技（上海）有限公司
申请日： 2023-03-07 - 公布日： 2023-07-21 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本实用新型公开了镀膜装置，该镀膜装置用于对曲面基板进行镀膜，镀膜装置包括镀膜室，镀膜室包括与曲面基板的待镀膜面的延伸方向形成对应关系的镀膜源，以及膜厚修正机构，膜厚修正机构包括第一膜厚修正板和第二膜厚修正板，第一膜厚修正板设置于镀膜源的开口的周边区域，第二膜厚修正板设置于第一膜厚修正板和曲面基板之间；沿曲面基板的待镀膜面的延伸方向，第一膜厚修正板被配置为能够修正曲面基板的第一区域，第二膜厚修正板被配置为能够修正曲面基板的第二区域，第二区域包括曲面基板的待镀膜面的波峰区域和/或波谷区域。能够有效提升整个曲面基板的待镀膜面的膜厚均匀性。
镀膜装置

[实用新型]基板输送装置-CN202320412378.7有效
发明人：汪晨洁;余海春;杨启忠;戴晓东 -专利权人：光驰科技（上海）有限公司
申请日： 2023-03-07 - 公布日： 2023-07-21 - 主分类号： B65G35/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了基板输送装置，用于输送基板，该基板输送装置包括沿安装基体的高度方向间隔设置于安装基体的输送机构和防倾倒机构，基板设置于输送机构且位于防倾倒机构和输送机构之间，输送机构能够带动基板沿第一方向运动，第一方向垂直于安装基体的高度方向，防倾倒机构包括设置于安装基体的防倾倒驱动组件，以及防倾倒件，防倾倒件连接于防倾倒驱动组件的输出端，防倾倒驱动组件被配置为能够带动防倾倒件沿第一方向运动，防倾倒件能与基板抵接。能够避免基板在整个输送过程中发生倾倒造成的损伤基板和/或输送机构的现象，且提升了对基板的输送效率。
输送装置

[实用新型]真空镀膜设备-CN202320412550.9有效
发明人：戴晓东;余海春;杨启忠 -专利权人：光驰科技（上海）有限公司
申请日： 2023-03-07 - 公布日： 2023-07-18 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：本实用新型公开了真空镀膜设备，对于该真空镀膜设备，基板输送室能与基板交换室连通或断开，真空镀膜室还能与基板交换室连通或断开；第一平移机构能够带动基板装载架沿第一方向运动；基板交换机构被配置为能带动基板装载架沿第一方向运动，能带动基板装载架沿第二方向运动，且能带动基板装载架沿第三方向升降，第一方向和第二方向相互垂直且均垂直于第三方向；真空镀膜室的中心区域设有中心毂架，以及沿周向围设至中心毂架的外周的多个镀膜源，中心毂架能带动基板装载架绕自身中心轴线转动。该真空镀膜设备的结构简单，占用面积小，降低了真空镀膜设备的生产成本，提升了真空镀膜设备通用性和实用性。
真空镀膜设备

[发明专利]一种基板上粘贴的胶带的揭取方法-CN202111629569.0在审
发明人：陈韶华;余海春;戴晓东 -专利权人：光驰科技（上海）有限公司
申请日： 2021-12-29 - 公布日： 2023-07-11 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本发明涉及薄膜制备技术领域，尤其是一种基板上粘贴的胶带的揭取方法，在基板上设置胶带的起头部，所述胶带的粘贴范围至少覆盖所述起头部的一部分；自所述起头部对所述胶带进行揭起并将其从所述基板上逐步剥离，同时对剥离的所述胶带进行缠绕收集。本发明的优点是：实现基板上粘贴的胶带的全自动揭取，提高揭取效率和揭取质量，避免损伤基板；具有起头部的基板仍满足镀膜工艺的要求，不影响镀膜工艺的质量；结构简单合理，使用方便，适于推广。
一种基板上粘贴胶带方法

[发明专利]用于真空镀膜设备的立式旋转滚筒装配结构-CN202111441704.9在审
发明人：陈韶华;戴晓东;余海春 -专利权人：光驰科技（上海）有限公司
申请日： 2021-11-30 - 公布日： 2023-06-02 - 主分类号： C23C14/50 文献下载
摘要：本发明涉及镀膜设备技术领域，尤其是一种用于真空镀膜设备的立式旋转滚筒装配结构，所述旋转滚筒具有转轴，所述转轴连接有旋转驱动机构，所述旋转驱动机构通过驱动所述转轴带动所述旋转滚筒在所述转架上自转，所述转轴可拆卸地连接在所述转架上。本发明的优点是：保证旋转滚筒在自转过程中的稳定性和安全性；便于旋转滚筒的频繁取放，易于自动化搬送的实施；结构简单合理，安拆方便，适于推广。
用于真空镀膜设备立式旋转滚筒装配结构

[实用新型]一种用于真空镀膜的自动冷却系统-CN202320065703.7有效
发明人：唐政;余海春;于海滨 -专利权人：光驰科技（上海）有限公司
申请日： 2023-01-10 - 公布日： 2023-04-28 - 主分类号： C23C14/22 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种用于真空镀膜的自动冷却系统，包括冷却装置、排液装置、储气装置、集液装置与控制装置；所述排液装置分别通过第一管路与第二管路循环连接所述冷却装置，用于冷却液循环，所述储气装置通过进气管道接入所述第一管路，所述集液装置通过出气管道接入所述第二管路，用于吹气排液；所述控制装置用于切换所述冷却装置进行冷却液循环或吹气排液，所述集液装置还通过泄压管路连接所述冷却装置。本实用新型集成了冷却液循环、排液以及泄压功能，缩短加热器的维护时间，并且不会对加热器造成损坏。
一种用于真空镀膜自动冷却系统

[发明专利]一种通用型基板架及其应用方法-CN201710673483.5有效
发明人：戴秀海;余海春;马淑莹;朱争强 -专利权人：光驰科技（上海）有限公司
申请日： 2017-08-09 - 公布日： 2023-03-28 - 主分类号： C23C14/50 文献下载
摘要：本发明涉及真空镀膜设备技术领域，尤其是一种通用型基板架及其应用方法，其特征在于：在所述上、下基板盘的表面分别开设有环槽，所述挂钩基座通过连接件与所述环槽连接并可通过所述连接件在所述环槽内滑动或固定。本发明的优点是：可兼容不同尺寸的镀膜工件的载体，兼容性优势非常大；基板盘分割改造作业非常方便，省时省力。
一种通用型基板架及其应用方法

[实用新型]一种加热装置及真空镀膜设备-CN202221971041.1有效
发明人： 余海春;杨启忠;张月星 -专利权人：光驰科技（上海）有限公司
申请日： 2022-07-28 - 公布日： 2022-11-18 - 主分类号： C23C16/46 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种加热装置及真空镀膜设备，属于真空镀膜技术领域。加热装置包括腔体，腔体内设有支撑机构、连接单元和加热组件，连接单元用于连接镀膜工件，镀膜工件可拆卸连接于连接单元；加热组件设于支撑机构上，镀膜工件连接于连接单元时，镀膜工件的基板面朝向加热组件。本实用新型的加热装置及真空镀膜设备，保证镀膜工件均匀、快速加热，以提高镀膜品质和镀膜效率，结构紧凑，减小占用空间。
一种加热装置真空镀膜设备

[实用新型]一种旋转装置及真空镀膜设备-CN202221989214.2有效
发明人：陈韶华;程元;杨启忠;余海春;唐政 -专利权人：光驰科技（上海）有限公司
申请日： 2022-07-28 - 公布日： 2022-11-18 - 主分类号： C23C14/50 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种旋转装置及真空镀膜设备，属于真空镀膜技术领域。旋转装置设于腔体，腔体内设有挂架组件，挂架组件用于承载基板，旋转装置包括旋转组件，旋转组件的输出端用于与挂架组件对接，并驱动挂架组件旋转，使挂架组件转动以处于第一状态或第二状态，基板挂载在挂架组件上且处于第二状态时，基板面可进行镀膜。本实用新型的旋转装置及真空镀膜设备，提高基板在腔体内的灵活性，以满足生产需求。
一种旋转装置真空镀膜设备

[实用新型]一种工件架及真空镀膜设备-CN202221967867.0有效
发明人：陈韶华;程元;杨启忠;余海春;唐政 -专利权人：光驰科技（上海）有限公司
申请日： 2022-07-28 - 公布日： 2022-11-15 - 主分类号： C23C14/50 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种工件架及真空镀膜设备，属于真空镀膜技术领域。工件架包括能够绕第一中心线转动的公转架、安装座和连接架组件，安装座的一端连接于公转架上，安装座呈放射状连接于公转架的外周；连接架组件转动连接于安装座上，连接架组件能够绕第二中心线转动，基板可拆卸连接于连接架组件上。本实用新型的工件架及真空镀膜设备，能够带动基板公转和自转，提高了工件架的灵活性，以满足不同生产需求。
一种工件真空镀膜设备

[实用新型]一种加热缓存装置及真空镀膜设备-CN202221967891.4有效
发明人：杨启忠;邢涛;余海春;陈韶华 -专利权人：光驰科技（上海）有限公司
申请日： 2022-07-28 - 公布日： 2022-11-15 - 主分类号： C23C14/50 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种加热缓存装置及真空镀膜设备，属于真空镀膜技术领域。加热缓存装置包括腔体和设于腔体内的加热缓存单元，腔体设有搬运口，加热缓存单元包括能够绕中心线旋转的安装骨架和至少两个安装板组件，至少两个安装板组件间隔连接于安装骨架的外周，安装板组件用于连接基板，且基板设于两个安装板组件之间形成的间隔空隙内，且基板的基板面朝向安装板组件，间隔空隙能够朝向搬运口，基板在腔体内能够被加热。本实用新型降低搬运口的开口面积，从而减少能量消耗及占用面积，提高对基板的加热效率，以及提高空间利用率。
一种加热缓存装置真空镀膜设备

[实用新型]一种真空镀膜机-CN202221970340.3有效
发明人：戴晓东;余海春;杨启忠 -专利权人：光驰科技（上海）有限公司
申请日： 2022-07-28 - 公布日： 2022-11-15 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种真空镀膜机，涉及真空镀膜技术领域。该真空镀膜机包括真空镀膜室、进料室、出料室和搬送机构，真空镀膜室包括进料口和出料口；进料室通过第一分隔门封闭进料口；出料室通过第二分隔门封闭出料口；搬送机构包括第一搬送机构和第二搬送机构，第一搬送机构设置于进料室，对应第一分隔门设置，用于将进料室的待镀膜的基板搬送至真空镀膜室；第二搬送机构设置于出料室，对应第二分隔门设置，用于将真空镀膜室的已镀膜的基板搬送至出料室。该真空镀膜机提高了生产良品率和搬送效率。
一种真空镀膜

[实用新型]一种搬送机构及真空镀膜机-CN202221970970.0有效
发明人：陈韶华;杨启忠;余海春;程元;唐政 -专利权人：光驰科技（上海）有限公司
申请日： 2022-07-28 - 公布日： 2022-11-15 - 主分类号： B65G47/90 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种搬送机构及真空镀膜机，涉及真空镀膜机技术领域。该搬送机构用于搬送基板，该搬送机构包括相对设置的第一搬送组件和第二搬送组件，第一搬送组件和第二搬送组件二者中，至少一个能带动基板移动，以使基板脱离承载件；第一搬送组件和第二搬送组件能够夹持基板的相对两侧，以搬送基板，基板具有测量厚度的基准面，测量厚度的基准面与搬送方向的夹角小于预设角度。该搬送机构占用空间小，提高了搬送效率。应用上述的搬送机构的真空镀膜机，用于将基板从第一腔室搬送至第二腔室，大大减小了搬送通道的宽度，占用空间小，降低了预加热的能耗，同时提高了搬送效率，从而降低了真空镀膜机的能耗，提高了真空镀膜机的镀膜效率。
一种机构真空镀膜

[实用新型]一种注液装置-CN202122398537.6有效
发明人：张波;王德智;龙汝磊;戴秀海;余海春 -专利权人：光驰科技（上海）有限公司
申请日： 2021-09-30 - 公布日： 2022-09-09 - 主分类号： B65G69/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及注液装置技术领域，公开了一种注液装置。注液装置包括阀体，其内形成有用于容纳液体的容纳腔；阀芯，其活动设置在所述容纳腔内；导向件，其安装至所述阀体的出口端，所述导向件包括有向所述容器方向延伸的延长部，所述延长部内开设有导向流道，所述阀芯能够向远离所述延长部的方向移动，以使所述容纳腔与所述导向流道连通，所述导向流道被配置为导向所述容纳腔内流出的液体以使其流至所述容器内。本实用新型的有益效果：其能够在容纳腔流出的液体出现倾斜时，将液体全部注入容器内，使其注液效果较好。
一种装置

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