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[发明专利]一种N-极性GaN基平面耿氏二极管及其制备方法-CN202311027314.6在审
发明人：戴扬;任雨萌;袁若松;高磊玉;李宇坤;张陈成 -专利权人：西北大学
申请日： 2023-08-15 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： H10N80/10 文献下载
摘要：本发明公开了一种N‑极性GaN基平面耿氏二极管及其制备方法，包括衬底层，衬底层上生长有n‑AlGaN背势垒层，n‑AlGaN背势垒层上生长有GaN沟道层、左欧姆接触层和右欧姆接触层，左欧姆接触层和右欧姆接触层分别位于GaN沟道层的两侧，左欧姆接触层和右欧姆接触层上面分别对应地生长有左欧姆接触电极和右欧姆接触电极；GaN沟道层上面生长有左肖特基接触电极、右肖特基接触电极和钝化层，左肖特基接触电极、右肖特基接触电极分别位于钝化层的两侧；GaN沟道层和n‑AlGaN背势垒层之间形成二维电子气薄层，通电时电流方向为沿n‑AlGaN背势垒层的横向，沟道层底部形成漂移的耿氏畴，耿氏畴漂移过程限制在GaN沟道层内部，提高了器件的交直流转化效率和输出功率。
一种极性 gan 平面耿氏二极管及其制备方法

[发明专利]平坦化方法及化学机械抛光装置-CN202311040471.0在审
发明人：冯涛;季明华;林岳明;任雨萌;李元贞 -专利权人：上海传芯半导体有限公司
申请日： 2023-08-17 - 公布日： 2023-09-26 - 主分类号： B24B37/10 文献下载
摘要：本发明提供一种平坦化方法及化学机械抛光装置。其中，所述平坦化方法是采用化学机械抛光工艺平坦化目标基底，但与现有技术不同的是，本发明在平坦化的过程中通入的抛光液包括含氟液体及表面活性物质，且未包含磨料。所述含氟液体及表面活性物质能够增强抛光液与目标基底的化学反应，有利于剥离目标基底表面的粗糙颗粒。所述抛光液中未设置磨料，不仅可以避免磨料对目标基底亚表面的损伤，提高抛光质量，还能够降低抛光液的制备成本。此外，为确保平坦化效果，本发明还引入了高频波。即，在平坦化过程中利用高频波振动抛光液，使得抛光液内形成空化现象和声波流现象，从而有效剥离并去除目标基底表面的粗糙颗粒，提高平坦化效果。
平坦方法化学机械抛光装置

[发明专利]掩模保护膜激光耐久度的检测方法及装置-CN202310432406.6在审
发明人： 任雨萌 -专利权人：上海传芯半导体有限公司
申请日： 2023-04-20 - 公布日： 2023-07-18 - 主分类号： G01M11/02 文献下载
摘要：本发明提供了一种掩模保护膜激光耐久度的检测方法，利用一激光照射掩模保护膜，并检测可表征所述掩模保护膜的光学性能的特征值，当所述特征值的变化达到一预定值时，获取照射到所述掩模保护膜的单位面积上的激光总量，所述激光总量可表征所述掩模保护膜的激光耐久度，根据所述掩模保护膜的激光耐久度及实际使用场景可以提前估算出所述掩模保护膜的寿命，据此可在合适的时间丢弃所述掩模保护膜，既能够满足曝光要求又不至于造成浪费。相应的，本发明还提供了一种掩模保护膜激光耐久度的检测装置。
保护膜激光耐久检测方法装置

[发明专利]全方位主动型激光驱鸟器-CN202111202542.3在审
发明人：陈瑞林;曹国栋;马亚南;李文欣;张涛;王腾;刘名利;岳岩;沙宏飞;马光正;张宗贤;张兴;任雨萌;刘鑫;郭沛涵;贾磊;彭杰;马昱;刘怀超;商东彪;张诗蓓 -专利权人：国网山东省电力公司冠县供电公司
申请日： 2021-10-15 - 公布日： 2021-12-03 - 主分类号： A01M29/10 文献下载
摘要：本申请提供了全方位主动型激光驱鸟器，包括基座和设于基座上的支撑架、传光筒，支撑架包括垂设于基座顶部的立轴，立轴一侧水平设置有中间板，中间板上开设有支撑通槽，基座上设有升降机构，传光筒的底部转动垂设于升降机构的升降部，支撑通槽环设于传光筒外周，传光筒外壁上开设有螺旋滑槽，支撑通槽的侧壁上均匀设置有若干个支撑滑杆，支撑滑杆的末端设置有约束滑块，约束滑块滑动嵌设于螺旋滑槽；传光筒内设置有激光发射组件，传光筒顶部一侧开设有出光口，激光发射组件用于发射环形分布的多束平行激光束并动态调整激光束间距，以对传光筒升降行程内的空域进行全方位扫射驱鸟。
全方位主动激光驱鸟器