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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]使用环动态对准数据的边缘环居中方法-CN201780070286.2有效
发明人：阿里·苏希普托·谭;颜浩权;马克·埃斯托桂;达蒙·蒂龙·格内蒂;乔恩·麦克切斯尼;亚历山大·米勒·帕特森 -专利权人：朗姆研究公司
申请日： 2017-11-10 - 公布日： 2023-10-03 - 主分类号： H01L21/687 文献下载
摘要：一种用于确定边缘环在衬底支撑件上的对准的系统包括：机械手控制模块，其被配置为控制机械手以将所述边缘环放置在所述衬底支撑件上以及从所述衬底支撑件取回所述边缘环。对准模块被配置为确定所述边缘环在被放置到所述衬底支撑件上之前在所述机械手上的多个第一位置，以及确定所述边缘环在从所述衬底支撑件取回之后在所述机械手上的多个第二位置。边缘环位置模块被配置为基于所述多个第一位置和所述多个第二位置之间的偏移来确定所述边缘环相对于所述衬底支撑件的居中位置。
使用动态对准数据边缘居中方法

[发明专利]射频匹配网络中用于频率调谐辅助双电平脉冲的辅助电路-CN201880037634.0有效
发明人：王雨后;亚瑟·H·萨托;吴垠;亚历山大·米勒·帕特森 -专利权人：朗姆研究公司
申请日： 2018-04-03 - 公布日： 2023-09-12 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：一种射频(RF)匹配电路控制系统包括：包括多个可调谐部件的RF匹配电路。所述RF匹配电路被配置为从RF发生器接收输入信号，所述输入信号包括至少两种脉冲电平；根据所述输入信号向负载提供输出信号；以及使与所述输入信号相关联的阻抗与所述负载的阻抗匹配。控制器被配置为针对所述输入信号的所述至少两种脉冲电平确定所述负载的相应的阻抗；并且调节所述多个可调谐部件的操作参数，以针对所述至少两种脉冲电平使所述RF匹配电路的频率调谐范围与所述负载的所述相应的阻抗对准，从而使与所述输入信号相关联的所述阻抗与所述相应的阻抗匹配。
射频匹配网络用于频率调谐辅助电平脉冲电路

[发明专利]衬底处理系统的直接驱动电路中的开关的保护系统-CN202180043225.3在审
发明人：龙茂林;王雨后;迈克尔·约翰·马丁;亚历山大·米勒·帕特森 -专利权人：朗姆研究公司
申请日： 2021-06-10 - 公布日： 2023-02-24 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：一种用于向衬底处理系统的部件提供RF功率的直接驱动电路包括直接驱动电路，其包括开关并被配置为向所述部件提供RF功率。开关保护模块被配置为：监控处理室中的负载电流和负载电压；基于所述负载电流和所述负载电压计算负载电阻；将所述负载电阻与第一预定负载电阻进行比较；以及基于所述比较来调整所述直接驱动电路的RF功率限制和RF电流限制中的至少一者。
衬底处理系统直接驱动电路中的开关保护

[发明专利]用于衬底处理系统的边缘环系统-CN202080056418.8在审
发明人：韩慧玲;黄新伟;亚历山大·米勒·帕特森;萨拉瓦纳普里亚·西里拉曼;安·埃里克森;乔安娜·吴;施萨拉曼·拉马钱德兰;克里斯托弗·金博尔;阿里斯·佩雷斯 -专利权人：朗姆研究公司
申请日： 2020-07-30 - 公布日： 2022-03-18 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：一种用于衬底处理系统的边缘环系统，包括顶部边缘环，所述顶部边缘环包括具有内径和外径的环形体。顶部边缘环的外径小于衬底处理系统的衬底端口的水平开口。第一边缘环设置在顶部边缘环的下方，所述顶部边缘环包括具有内径和外径的环形体。第一边缘环的外径大于衬底处理系统的衬底端口。第一边缘环的内径小于顶部边缘环的内径。
用于衬底处理系统边缘

[发明专利]双频直驱电感耦合等离子体源-CN202080048328.4在审
发明人：龙茂林;王雨后;亚历山大·米勒·帕特森 -专利权人：朗姆研究公司
申请日： 2020-04-24 - 公布日： 2022-02-11 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：一种用于向衬底处理系统提供RF功率的直驱系统包括直驱外壳，该直驱外壳包括：第一直驱电路，其位于所述直驱外壳中并以第一频率运行；和第一连接器，其连接所述第一直驱电路。接线盒布置成与所述直驱外壳相邻，并且包括：第一电容电路，其连接所述第一直驱电路；第二连接器，其位于所述接线盒的一侧，与所述第一电容电路的一端子连接，并与所述直驱外壳的所述第一连接器配合；第三和第四连接器，其连接所述第一电容电路的另一端子；以及靠近所述接线盒布置的线圈外壳，其包括第一线圈和第二线圈；以及第五和第六连接器，其与所述接线盒的所述第三和第四连接器配合。
双频电感耦合等离子体

[发明专利]衬底位置检测和调整-CN202080013341.6在审
发明人：迈克尔·约翰·马丁;王雨后;亚历山大·米勒·帕特森 -专利权人：朗姆研究公司
申请日： 2020-02-06 - 公布日： 2021-09-17 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：提供了用于相对于基准结构定位晶片的系统和方法。在一示例中，系统包括：包括至少两个相机的相机装置，所述至少两个相机中的每一个当被定位在所述相机装置中时都包括视场，每个视场都包括所述晶片的外围边缘和所述基准结构的外围边缘。处理器从所述至少两个相机中的每一个接收位置数据，并确定与每个视场相关的在相应的所述视场中包括的所述基准位置与所述晶片的相应的外围边缘之间的间隙尺寸。控制器基于所确定的相应的间隙尺寸调整晶片相对于所述基准结构的位置。
衬底位置检测调整

[发明专利]在衬底处理系统中用于无匹配式等离子体源的直接频率调谐-CN201980054228.X在审
发明人：王雨后;龙茂林;吴垠;亚历山大·米勒·帕特森 -专利权人：朗姆研究公司
申请日： 2019-08-08 - 公布日： 2021-03-30 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：一种用于将RF功率提供至衬底处理系统的部件的驱动电路包含在第一频率下运行的等离子体源。负载包含所述衬底处理系统的所述部件。阻抗网络将所述等离子体源连接至所述负载。电流传感器感测在所述等离子体源的输出处的电流。电压传感器感测在所述等离子体源的所述输出处的电压。控制器包含调谐频率计算器，所述调谐频率计算器被设置成：基于所述电压、所述电流以及所述阻抗网络的配置来计算用于所述等离子体源的调谐频率；以及基于所述调谐频率来调节所述第一频率。
衬底处理系统用于匹配等离子体直接频率调谐

[发明专利]等离子体处理工具上基于图像的等离子体鞘轮廓检测-CN201980036340.0在审
发明人：王雨后;迈克尔·约翰·马丁;乔恩·麦克切斯尼;亚历山大·米勒·帕特森 -专利权人：朗姆研究公司
申请日： 2019-05-23 - 公布日： 2021-01-08 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：一种系统包含图像处理模块，其被配置成：接收由成像装置所捕捉的图像，所述图像是在衬底的处理期间在衬底处理室内的等离子体环境的图像；以及提取所述图像的一或多个特征，其指示在所述衬底的处理期间在所述等离子体环境中形成的等离子体鞘。控制模块被配置成：基于从所述图像所提取的所述一或多个特征来确定所述等离子体鞘轮廓；以及基于所述等离子体鞘轮廓选择性调整与所述衬底的处理相关的至少一个处理参数。
等离子体处理工具基于图像轮廓检测

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