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[实用新型]一种晶圆干燥装置-CN201921011684.X有效
发明人：李怀阳;花宁;隋镁深;王友军;孔敏;徐肖飞 -专利权人： 中建材衢州金格兰石英有限公司
申请日： 2019-07-02 - 公布日： 2019-12-17 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型属于工业生产技术领域，具体涉及一种晶圆干燥装置。由FFU本体、排风系统、清洗花篮、排水底板和旋转平台组成，所述的排风系统由开设在FFU本体左右两侧面和底面上的排风口，以及设置在排风口上的风机组成；所述的排水底板设置在FFU本体底部，排水底板采用镂空设计；所述的清洗花篮底部卡设在旋转平台上。设备投资较小，能源消耗少，无有毒有害物质使用，安全无害，操作简便，可用于院校科研、企业研发，同时使用不受晶圆尺寸大小与产品厚度影响。
排水底板排风系统旋转平台排风口清洗花篮工业生产技术本实用新型干燥装置厚度影响能源消耗企业研发物质使用镂空两侧面风机晶圆可用种晶院校科研安全

[发明专利]一种晶圆干燥装置-CN201910587544.5在审
发明人：王友军;李怀阳;花宁;隋镁深;孔敏;徐肖飞 -专利权人： 中建材衢州金格兰石英有限公司
申请日： 2019-07-02 - 公布日： 2019-09-03 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明属于工业生产技术领域，具体涉及一种晶圆干燥装置。由FFU本体、排风系统、清洗花篮、排水底板和旋转平台组成，所述的排风系统由开设在FFU本体左右两侧面和底面上的排风口，以及设置在排风口上的风机组成；所述的排水底板设置在FFU本体底部，排水底板采用镂空设计；所述的清洗花篮底部卡设在旋转平台上。设备投资较小，能源消耗少，无有毒有害物质使用，安全无害，操作简便，可用于院校科研、企业研发，同时使用不受晶圆尺寸大小与产品厚度影响。
排水底板干燥装置排风系统旋转平台排风口种晶清洗花篮工业生产技术厚度影响能源消耗企业研发物质使用镂空两侧面风机晶圆可用院校科研安全

[发明专利]一种不透明石英玻璃及其制备方法-CN201910587545.X在审
发明人：王友军;花宁;隋镁深;李怀阳;孔敏;徐肖飞 -专利权人： 中建材衢州金格兰石英有限公司
申请日： 2019-07-02 - 公布日： 2019-08-23 - 主分类号： C03B20/00 文献下载
摘要：本发明属于化工生产技术领域，具体涉及一种不透明石英玻璃及其制备方法。由以下原料经过取料、混合料、混料筒和制备等步骤制成，石英砂96.8％‑99.7％、发泡剂0.1％‑3％，固体发泡剂0.1％‑3％，白炭黑0.005％‑0.08％，以上比例均为重量百分比。本发明制备的不透明石英玻璃内部为玻璃态，各向均匀，在使用过程中没有因为晶相转变引起产品破裂的隐患。
制备石英玻璃不透明固体发泡剂重量百分比化工生产白炭黑玻璃态发泡剂混合料混料筒石英砂取料破裂

[发明专利]逐步加压安全抛光石英玻璃晶圆的方法-CN201410527639.5有效
发明人：花宁;李怀阳;孔敏;王友军;林姣;隋镁深 -专利权人： 中建材衢州金格兰石英有限公司
申请日： 2014-10-09 - 公布日： 2019-01-25 - 主分类号： B24B1/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种逐步加压安全抛光石英玻璃晶圆的方法，采用逐步加压法，首先通过在轻压下、慢速抛光一段时间以降低试片之间厚度差，之后逐步增加抛光盘上盘压力、提高抛光盘转速以提高抛光速度。能防止了因厚度偏差引起的崩边和破碎，加工效率高、成品率高。
逐步加压安全抛光石英玻璃方法

[实用新型]一种石英玻璃管的内孔珩磨装置-CN201721784834.1有效
发明人：花宁;隋镁深;李怀阳;王友军;孔敏;秦建鸿;祝伟生;祝天林 -专利权人： 中建材衢州金格兰石英有限公司
申请日： 2017-12-20 - 公布日： 2018-12-18 - 主分类号： B24B33/02 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种石英玻璃管的内孔珩磨装置，括用于加工石英玻璃管内孔的珩磨头(1)，珩磨头位于固定环(32)一侧，珩磨头(1)具有砂轮部(11)和珩磨杆(12)，砂轮部(11)包括粗砂轮(13)、中砂轮(15)、细砂轮(17)，所述粗砂轮(13)、中砂轮(15)、细砂轮(17)均有圆柱体外表面，并在外表面上具有螺旋的排屑槽(18)，粗砂轮、中砂轮、细砂轮的排屑槽顺次相接，粗砂轮、中砂轮之间具有第一接缝，第一接缝与珩磨杆轴线平行，中砂轮、细砂轮之间具有第二接缝，第二接缝与珩磨杆轴线平行，珩磨头加工石英玻璃管时的引起的石英玻璃管振动通过固定环(32)被减振缸(2)减弱和吸收。
砂轮石英玻璃管粗砂轮细砂轮珩磨头接缝珩磨杆内孔轴线平行珩磨装置固定环排屑槽圆柱体外表面本实用新型减振缸加工吸收

[实用新型]一种石英玻璃棒的缩径装置-CN201820414189.2有效
发明人：花宁;李怀阳;隋镁深;王友军;孔敏;秦建鸿;祝伟生;祝天林 -专利权人： 中建材衢州金格兰石英有限公司
申请日： 2018-03-27 - 公布日： 2018-10-26 - 主分类号： C03B20/00 文献下载
摘要：本实用新型提出一种石英玻璃棒的缩径装置，包括熔炉和牵引装置，牵引装置用于缩径拉棒，熔炉内包括三个气路，惰性气体被引入熔炉后，按照预定的气路进行导向，然后从上排气口和挡气管排出，气流没有逆转撞击的情况发生，避免了对撞涡流对拉棒工艺的影响。
熔炉石英玻璃棒牵引装置缩径装置气路涡流本实用新型惰性气体上排气口对拉对撞拉棒排出缩径气管逆转引入

[实用新型]一种石英加工的打砣设备-CN201820291681.5有效
发明人：花宁;隋镁深;李怀阳;王友军;孔敏;秦建鸿;祝伟生;祝天林 -专利权人： 中建材衢州金格兰石英有限公司
申请日： 2018-03-02 - 公布日： 2018-10-12 - 主分类号： C03B5/033 文献下载
摘要：本申请提出一种石英加工的打砣设备，在该石英加工的打砣设备中使用了全新的保护气体的流向，其从中心对称分布的两个通气管进入外环流室后，会产生均速转动的环形气流，环形气流之后从外环流室进入内环流室，其间因受到支撑片的阻挡的作用气流旋转能力变弱，在气流上升过程中进一步旋转能力变弱，当气流到达隔热套顶端向下进入平流室时，气流基本上变为均匀的平缓气流。从平流室供向坩埚的拉制嘴时，平缓均匀的气流有利于石英产品的外表面品质。
石英加工环流室环形气流平流中心对称分布保护气体气流旋转上升过程石英产品旋转能力拉制隔热套通气管支撑片坩埚转动阻挡申请

[实用新型]一种石英玻璃的外圆磨床-CN201721788989.2有效
发明人：花宁;李怀阳;隋镁深;王友军;孔敏;秦建鸿;祝伟生;祝天林 -专利权人： 中建材衢州金格兰石英有限公司
申请日： 2017-12-20 - 公布日： 2018-08-10 - 主分类号： B24B5/04 文献下载
摘要：本实用新型提出一种石英玻璃的外圆磨床，其包括上磨板（92），下磨板（93），及上磨板上磨板下方固定有第一抛光架（941），下磨板（93）上方固定有第二抛光架（942），第一抛光架（941）的半球槽与第二抛光架（942）的半球槽共同形成磨外圆槽用于加工石英制品（10），且磨外圆槽为多个，还具有标准球（101），标准球（101）被置于一个磨外圆槽内，上磨板与液压缸（8）相连，液压缸通过上磨板向石英制品提供加载力，下磨板与变频电机（95）相连并被变频电机旋转驱动并提出了粗磨、半精磨、精磨和精抛光四个双磨阶段，并且不同阶段使用了不同的上磨板加载压力和下磨板转速，从而更好的对石英制品的磨外圆。
上磨板磨外圆抛光架下磨板石英制品变频电机石英玻璃外圆磨床半球槽标准球液压缸本实用新型加载压力旋转驱动半精磨加载力精抛光粗磨精磨加工

[实用新型]一种石英制品的双面磨装置-CN201721789705.1有效
发明人：花宁;隋镁深;李怀阳;王友军;孔敏;秦建鸿;祝伟生;祝天林 -专利权人： 中建材衢州金格兰石英有限公司
申请日： 2017-12-20 - 公布日： 2018-07-20 - 主分类号： F15B11/08 文献下载
摘要：本实用新型提出一种石英制品的双面磨装置，石英制品的双面磨装置，其包括上磨板（92），下磨板（93），及上磨板与下磨板之间的抛光架（94），抛光架内能够放置石英制品（10），上磨板与液压缸（8）相连，液压缸通过上磨板向石英制品提供加载力，下磨板与变频电机（95）相连并被变频电机旋转驱动，并提出了粗磨、半精磨、精磨和精抛光四个双磨阶段，并且不同阶段使用了不同的上磨板加载压力和下磨板转速，从而更好的对石英制品的双面磨，另外由于使用了两个流路阀和一个三位换向阀，使液压缸在加压、降压时压力可控，当需要保压时，只需要将三位换向阀切换到截止状态即可，此时三位换向阀与两个流路阀形成双重的截止密封。
石英制品上磨板下磨板三位换向阀双面磨装置液压缸变频电机流路阀抛光架本实用新型加载压力截止状态旋转驱动压力可控半精磨加载力精抛光双面磨保压粗磨降压精磨加压密封截止

[实用新型]石英玻璃管的深孔加工装置-CN201721390498.2有效
发明人：花宁;李怀阳;隋镁深;王友军;孔敏;秦建鸿;祝伟生;祝天林 -专利权人： 中建材衢州金格兰石英有限公司
申请日： 2017-10-26 - 公布日： 2018-06-12 - 主分类号： B28D1/14 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种石英玻璃管的深孔加工装置，石英玻璃管贯穿钻具传动装置并通过夹头固定在钻具传动装置上，在钻具上设置有保证钻具与石英玻璃管同轴度的支撑架，所述的钻具呈长筒型且内部设置有轴向贯穿钻具的芯棒通孔，在钻具的一端与钻具固定座固定连接，另一端的端口处设置有呈环形的齿锯，所述的支撑架包括多个滚轴支撑机构，所述的滚轴支撑机构包括支撑滚轴和支撑气缸，支撑滚轴与支撑气缸之间通过气缸杆固定连接，支撑架上设置有能使支撑架在机架上行走的支撑架传动装置。本实用新型提高钻具了有效使用长度、且具有效率高、节约材料和加工精度高的优点。
钻具支撑架石英玻璃管传动装置深孔加工装置本实用新型支撑滚轴支撑机构支撑气缸滚轴有效使用长度钻具固定座节约材料内部设置轴向贯穿长筒型端口处气缸杆同轴度齿锯夹头通孔芯棒贯穿加工保证

[实用新型]一种石英砂下料装置-CN201721390349.6有效
发明人：花宁;隋镁深;李怀阳;王友军;孔敏;秦建鸿;祝伟生;祝天林 -专利权人： 中建材衢州金格兰石英有限公司
申请日： 2017-10-26 - 公布日： 2018-05-11 - 主分类号： B65G29/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种石英砂下料装置，包括盖板、观察窗及底板，该观察窗为中空结构，该盖板、观察窗及底板依次连接构成密闭的腔体，该腔体内转动连接有转盘，所述的底板上连接有驱动转盘转动的驱动源，底板上连接有与腔体相通的带有出料通道的出料接口，该出料接口的入料口位于观察窗的内壁与转盘的侧壁之间，所述的盖板上设置有带有下料通道的下料调节管，该下料调节管的下料口位于转盘的上部，盖板朝向转盘的端面上设置有刮板，刮板的下端面与转盘的上端面贴合设置，刮板的出料方向与出料接口的入料口对应设置；本实用新型在于：实现了对石英砂下料量的控制，提高了对石英砂下料精确度，保证了石英砂后续加工的工序。
一种石英砂装置

[实用新型]长杆石英玻璃棒的磨削装置-CN201721390312.3有效
发明人：花宁;隋镁深;李怀阳;王友军;孔敏;秦建鸿;祝伟生;祝天林 -专利权人： 中建材衢州金格兰石英有限公司
申请日： 2017-10-26 - 公布日： 2018-05-11 - 主分类号： B24B27/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种长杆石英玻璃棒的磨削装置，包括输送架及位于输送架输送路径上的磨削机床，磨削机床包括机架，机架上设置有磨削机构，磨削机构包括分别设置于机架上的第一砂轮固定座、第二砂轮固定座及位于第一砂轮固定座和第二砂轮固定座之间的托板，第一砂轮固定座上设置有第一砂轮，第二砂轮固定座上设置有第二砂轮，托板的上端设置有用于固定石英玻璃棒的固定槽：本实用新型在于：石英玻璃棒进入磨削机构同时进行三道磨削，先被第一砂轮的第一磨削面进行粗磨，接着被托板上的固定槽的第二磨削面进行细磨，最后被第二砂轮的第三磨削面进行精磨，进而提高了石英玻璃棒的外表面光滑度，保证了石英玻璃棒的质量。
石英玻璃棒磨削装置

[发明专利]一种石英砂下料装置及下砂方法-CN201711017541.5在审
发明人：王友军;花宁;隋镁深;李怀阳;孔敏;秦建鸿;祝伟生;祝天林 -专利权人： 中建材衢州金格兰石英有限公司
申请日： 2017-10-26 - 公布日： 2018-01-30 - 主分类号： B65G29/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种石英砂下料装置及下砂方法，包括盖板、观察窗及底板，该观察窗为中空结构，该盖板、观察窗及底板依次连接构成密闭的腔体，该腔体内转动连接有转盘，所述的底板上连接有驱动转盘转动的驱动源，底板上连接有与腔体相通的带有出料通道的出料接口，该出料接口的入料口位于观察窗的内壁与转盘的侧壁之间，所述的盖板上设置有带有下料通道的下料调节管，该下料调节管的下料口位于转盘的上部，盖板朝向转盘的端面上设置有刮板，刮板的下端面与转盘的上端面贴合设置，刮板的出料方向与出料接口的入料口对应设置；本发明在于实现了对石英砂下料量的控制，提高了对石英砂下料精确度，保证了石英砂后续加工的工序。
一种石英砂装置方法

[发明专利]一种石英玻璃晶圆毛坯的加工方法-CN201510210838.8有效
发明人：王友军;花宁;孔敏;李怀阳;林姣;隋镁深 -专利权人： 中建材衢州金格兰石英有限公司
申请日： 2015-04-29 - 公布日： 2017-09-05 - 主分类号： C03B20/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种石英玻璃晶圆毛坯的加工方法，将第一牵引系统与熔融的石英玻璃砣进行组合、向下拉制，然后将第二牵引系统与晶圆毛坯进行组合、同时向下拉制；待晶圆毛坯达需要长度，在第二牵引系统下方切割；分离后的第二牵引系统仍以原速度向下拉制，同时将第一牵引系统快速下降至设备底部、卸下晶圆毛坯，冷却；第一牵引系统快速上升、与晶圆毛坯的底部进行组合，随即解开第二牵引系统的组合；第二牵引系统上升，与晶圆毛坯的上部进行重新组合，继续同时行进，实现石英玻璃晶圆毛坯的连续加工。本发明实现了石英玻璃砣的连续加工，将熔融玻璃砣最大限度拉尽，并显著减少生产空间，节约设备成本和生产时间。
一种石英玻璃毛坯加工方法

[实用新型]一种石英玻璃棒数控打孔装置-CN201620538868.1有效
发明人：隋镁深;花宁;孔敏;王友军;李怀阳;林姣 -专利权人： 中建材衢州金格兰石英有限公司
申请日： 2016-06-06 - 公布日： 2016-12-28 - 主分类号： B23B39/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了提供一种石英玻璃棒数控打孔装置，包括:数控加工中心、高精度固定工装和内、外冷却水系统，其特征在于：所述数控加工中心包括钻孔用的空心金刚石钻头，所述高精度固定工装包括：槽板、螺柱、螺母、锁紧挡板，槽板上设有若干条V形槽，每两槽中间设有螺柱、螺母，锁紧挡板套在螺柱上，所述内、外冷却水系统由外冷却水管和内冷却水管组成，所述内冷却水管设置在数控加工中心内，用于在内部冷却空心金刚石钻头，所述外冷却水管设置在数控加工中心外，用于在外部冷却空心金刚石钻头。本实用新型的有益效果是：使用数控加工中心钻孔，能够达到人工操作无法达到的精度。有效的水冷却方式提高了钻头的使用寿命。
一种石英玻璃棒数控打孔装置