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[发明专利]图案形成装置-CN201310120340.3有效
发明人： 中嶋美佳;增市干雄;川越理史;上野博之 -专利权人：大日本网屏制造株式会社
申请日： 2013-04-09 - 公布日： 2013-11-13 - 主分类号： B41J11/00 文献下载
摘要：本发明提供一种图案形成装置，使担载体（BL）上的图案形成区域（Al）与板状的物体（PP）相抵接来进行图案形成，并在图案形成时与图案形成区域（Al）相向的区域（A2）的外侧吸附物体（PP）。具体地说，在吸附板（34）中的在图案形成时与物体（PP）的区域（A2）相向的区域（A3）的外侧形成有被供给负压的槽状的开口（351），进而，在该开口（351）的外侧，设有分别局部吸附物体（PP）的局部吸附部（352）。
图案形成装置

[发明专利]图案形成装置以及图案形成方法-CN201210461610.2无效
发明人：川越理史;增市干雄;古村智之;上野博之;中嶋美佳 -专利权人：大日本网屏制造株式会社
申请日： 2012-11-16 - 公布日： 2013-06-05 - 主分类号： G03F7/00 文献下载
摘要：本发明涉及图案形成装置以及图案形成方法。在使与开口（P（0））的相邻的开口（P（+1））相连接的正压阀关闭的状态不变的情况下，将吸附阀从打开状态切换至关闭状态，从而停止向开口（P（+1））供给负压。于是，在开口（P（+1））附近，相对于加压空间（SP5）内的加压力的保持橡皮布（BL）的力逐渐减弱，伴随于此加压空间（SP5）内的气体成分流入橡皮布（BL）的开口（P（+1））的铅垂上方部分和上表面（51a）之间，使该橡皮布部分从上表面（51a）浮起并与版（PP）的下表面抵接。这样，能够抑制上述加压空间（SP5）内的压力急剧地发生变动，并且使抵接区域（CA）从中央部向+Y端缘侧缓慢并稳定地扩宽。
图案形成装置以及方法