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[实用新型]射频微机械开关封装外壳-CN03269883.6无效
发明人：李军;赵平;郑宏宇;邵崇俭;高岭;张志谦 -专利权人： 中国电子科技集团公司第十三研究所
申请日： 2003-09-05 - 公布日： 2005-01-12 - 主分类号： H01P11/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种射频微机械开关封装外壳，涉及微机械封装领域。外壳采用扁平封装结构，由陶瓷件、引线、封口金属环和盖板组成，通过焊料焊接在一起。采用平行缝焊封口，构成气密性腔体，提供芯片以机械支撑和环境保护。射频微机械开关芯片装架在外壳腔体内，采用金丝键合在内引线键合区，通过埋层金属化与外部引线连接，键合区、引线钎焊区和埋层金属化区采用50欧姆标准带线设计。本实用新型还具有方便芯片的安装，一致性好，腔体不变形，隔离度高，采用多层陶瓷工艺便于批量生产的特点，适用于作射频微机械领域器件的封装外壳。
射频微机开关封装外壳

[发明专利]全干法硅－铝－硅结构微机械加工方法-CN200310109717.1有效
发明人：徐永青 -专利权人： 中国电子科技集团公司第十三研究所
申请日： 2003-12-25 - 公布日： 2004-12-15 - 主分类号： B81C1/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种全干法硅－铝－硅结构微机械加工方法，它涉及微电子机械工艺加工技术领域中的微电子机械系统结构器件的制造。它采用双面光刻、深反应离子刻蚀和硅－铝－硅键合技术工艺，实现低应力、纵向尺寸大的可动悬空微结构制作，省去了传统微机械加工技术中长时间高温扩散、磨抛工艺、硅－玻璃键合和有毒的湿法腐蚀工艺，达到了优化微机械加工技术、降低成本和难度、提高产品成品率的目的。本发明具有制造成本低廉，制作工艺简单，成品率高等优点，适合于光开关、电容式微加速度计、可变光衰减器等多种具有可动微结构器件的制作。
全干法硅结构微机加工方法

[实用新型]数控跳频滤波器-CN03269828.3无效
发明人：李宏军;刘宗武;要志宏;李国军;汤炜;刘晓红;郑升灵;李明武;乐柏林;许悦;王志会 -专利权人： 中国电子科技集团公司第十三研究所
申请日： 2003-08-20 - 公布日： 2004-11-10 - 主分类号： H04K3/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种数控跳频滤波器，它涉及通信领域中的一种数控跳频滤波器模块器件。它由存储器、驱动器、1至24组开关电路阵列、滤波器电路构成。它采用并行码控制字使存储器产生256个滤波器中心频率点地址码，输入驱动器驱动开关电路阵列，由开关电路阵列完成滤波器电容阵列的组合，达到数控改变谐振频率，实现数控跳频滤波输出目的。本实用新型还具有高速跳变、电路简单、性能可靠，便于集成化生产，成本低廉等特点，特别适用于抗干扰通信机作数控、宽范围、窄带快速选频预选器，及多信道间快速切换部件。
数控滤波器

[实用新型]高深宽比结构的电容式加速度计-CN03269885.2无效
发明人：何洪涛;杨拥军;郑锋;徐爱东;徐永青;李海军;罗蓉 -专利权人： 中国电子科技集团公司第十三研究所
申请日： 2003-09-05 - 公布日： 2004-11-03 - 主分类号： G01P15/125 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种高深宽比结构的电容式加速度计，它涉及半导体MEMS制造领域中的一种高灵敏度加速度计。它由玻璃衬底、硅质量块、玻璃衬底电极、硅玻璃键合台面、悬臂梁、硅定梳尺、硅动梳尺、硅片等部件组成。硅定梳尺通过硅－玻璃键合点固定在玻璃衬底，形成固定部分，硅动梳尺、硅质量块通过悬臂梁与硅玻璃键合台面连接，形成可动部分。当感受到敏感轴方向外界加速度时，悬臂梁产生变形，硅动梳尺和硅定梳尺之间的电容量改变被采集输出，测出加速度。它具有加工工艺简单，工艺精度高，成本低廉等特点，它还具有灵敏度高，分辨率高，性能稳定等优点，特别适用于地质探矿、个人导航系统等高新技术领域作加速度计。
高深结构电容加速度计

[实用新型]微机械陀螺仪封装真空度检测装置-CN03269884.4无效
发明人：张丽华;李军;邵崇俭;郑宏宇;戴增荣;邹勇明 -专利权人： 中国电子科技集团公司第十三研究所
申请日： 2003-09-05 - 公布日： 2004-11-03 - 主分类号： G01L21/14 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种微机械陀螺仪封装真空度检测装置，涉及微电子机械技术领域一种封装真空度检测仪。它由陶瓷外壳、盖板、加热丝、热偶丝组成。它采用在低真空状态下，对热偶式规管的加热丝通以一定的加热电流，热电偶产生的热电势取决于周围气体的压强，达到真空度检测的目的。本实用新型不需真空计，具有结构简单，操作容易，成本低等特点，特别适合微惯性小型器件低真空封装腔体内真空度测试。
微机陀螺仪封装真空检测装置

[实用新型]微型热流加速度计-CN03269899.2无效
发明人：杨拥军;徐爱东;徐永青;吕树海;吝海锋 -专利权人： 中国电子科技集团公司第十三研究所
申请日： 2003-09-10 - 公布日： 2004-09-15 - 主分类号： G01P15/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种微型热流加速度计，涉及传感器领域中的一种加速度计。它由密闭的单晶硅片、加热丝、温度传感器、内外腔体、检测电路等部件构成。它以气体为敏感介质、利用气体自然对流在加速度作用下发生改变的原理，测量某一坐标轴或同时测量两个坐标轴方向加速度的一种微传感器。它的加热丝和温度传感器悬固在硅腔体上面。加热丝产生的热场在有加速度时发生改变，通过检测电路检测温度传感器的温度变化从而测量出加速度值。本实用新型无检验质量块、弹性梁或应变梁等活动部件，因此它具有性能可靠，工艺简单成熟，制造成本低廉，采用微机械加工技术便于批量生产等特点，特别适用于智能炮弹、汽车、玩具等场合作加速度传感器。
微型热流加速度计

[发明专利]微型热流加速度计及其制造方法-CN03143287.5无效
发明人：杨拥军;徐爱东;徐永青 -专利权人： 中国电子科技集团公司第十三研究所
申请日： 2003-09-10 - 公布日： 2004-08-25 - 主分类号： G01P15/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种微型热流加速度计及其制造方法，涉及传感器领域中的一种加速度计。它由密闭的单晶硅片、加热丝、温度传感器、内外腔体、检测电路等部件构成。它以气体为敏感介质、利用气体自然对流在加速度作用下发生改变的原理，测量某一坐标轴或同时测量两个坐标轴方向加速度的一种微传感器。它的加热丝和温度传感器悬固在硅腔体上面。加热丝产生的热场在有加速度时发生改变，通过检测电路检测温度传感器的温度变化从而测量出加速度值。本发明无检验质量块、弹性梁或应变梁等活动部件，因此它具有性能可靠，工艺简单成熟，制造成本低廉，采用微机械加工技术便于批量生产等特点，特别适用于智能炮弹、汽车、玩具等场合作加速度传感器。
微型热流加速度计及其制造方法

[实用新型]高效封装结构的大功率半导体激光器线阵列-CN03269696.5无效
发明人：安振峰;赵卫清 -专利权人： 中国电子科技集团公司第十三研究所
申请日： 2003-07-17 - 公布日： 2004-08-25 - 主分类号： H01S5/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种高效封装结构的大功率半导体激光器线阵列，它涉及半导体激光器件领域中高效散热激光器件的制作。它由无氧铜热沉、上电极转接焊片、上电极、绝缘垫片、线阵列二极管激光芯片等部件构成。它采用厚薄台阶形结构上电极转接焊片，使设计制造不需昂贵键合设备及昂贵金丝作引线，以及避免键合对激光器损伤，只要将激光芯片、热沉和转接焊片一次烧焊而成。因此本实用新型具有结构简单、工艺操作方便、容易生产、成本低廉、高效散热等特点，特别适用于大功率半导体激光器件的制作。
高效封装结构大功率半导体激光器阵列

[发明专利]微液滴振荡型硅槽式聚合酶链式反应生物芯片-CN03137632.0无效
发明人：李志信;罗蓉;王玮;吕树海 -专利权人：清华大学;中国电子科技集团公司第十三研究所
申请日： 2003-06-09 - 公布日： 2004-02-25 - 主分类号： C12Q1/68 文献下载
摘要：本发明涉及一种微液滴振荡型硅槽式聚合酶链式反应生物芯片。包括微槽，以及微槽背面由绝热槽隔开的恒温区，在微槽背面的电阻式微温度传感器，对称置于该温度传感器两侧的微加热器。在生物基因组研究、法医学、遗传分析、治疗效果评估和医疗诊断等领域中有广泛应用。样品与反应物以微液滴形式在具有三个恒温区的槽中振荡运动以实现聚合酶链式反应(PCR)的变性、退火和延伸过程，减小了生物芯片工作时所需要的驱动压力，避免了可能产生的气泡对芯片功能的影响；集成于芯片上的恒温区有利于PCR反应混合物实现快速的升降温过程，并便于改变工作区温度以优化PCR过程，或实现某些特殊要求；采用硅微加工技术制造，便于大批量生产，尺寸小，成本低。
微液滴振荡型硅槽式聚合链式反应生物芯片

[发明专利]单晶硅衬底上可动微机械结构单片集成的制作方法-CN03112137.3无效
发明人：徐永青;杨拥军;李海军 -专利权人： 中国电子科技集团公司第十三研究所
申请日： 2003-04-11 - 公布日： 2003-11-12 - 主分类号： B81C1/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种单晶硅衬底上可动微机械结构单片集成的制作方法，它涉及微电子机械工艺加工技术领域中的微电子机械系统结构器件的制造。它采用浓硼扩散、光刻、深反应离子刻蚀和选择性湿法腐蚀技术工艺，实现可动悬空与固定微结构都制作在同一单晶硅片上，达到可动微机械单片集成制作目的。本发明具有制造成本低廉，操作制造简易，能单片集成和大规模集成等优点，适合于光开关、谐振器、加速度计等多种具有可动微结构器件的制作。
单晶硅衬底上可动微机结构单片集成制作方法

[发明专利]全干法深刻蚀硅溶片制造方法-CN03112020.2有效
发明人：吕苗;何洪涛;徐永青 -专利权人： 中国电子科技集团公司第十三研究所
申请日： 2003-03-21 - 公布日： 2003-09-03 - 主分类号： B81C1/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种全干法深刻蚀硅溶片制造方法，它涉及微电子机械工艺加工技术领域中的微电子机械系统器件结构的制造。它采用玻璃片、硅片、硅片的三层结构。利用全干法工艺实现MEMS可动硅结构制造。并且本发明还具有制造工艺简单，能采用普通常用工艺设备制造及封装，降低了制造成本。制造的可动硅结构厚度较厚，提高了器件的电气性能和可靠性，能普及应用于MEMS惯性器件、光学器件、微波器件、压力传感器件等多种MEMS器件制造。
全干法深刻蚀硅溶片制造方法

[发明专利]铟镓砷光电探测器制造的开管锌扩散方法-CN02130720.2有效
发明人：曾庆明;李献杰;乔树允;王全树 -专利权人： 中国电子科技集团公司第十三研究所
申请日： 2002-09-18 - 公布日： 2003-04-09 - 主分类号： H01L21/225 文献下载
摘要：本发明公开了一种铟镓砷光电探测器制造的开管锌扩散方法，它涉及半导体光电器件制造的扩散工艺。它采用开管式扩散石英管结构，通入氮气和氢气保护气体，将锌扩散源和半导体片装入石墨扩散舟中，在扩散炉中常压下进行高温扩散，完成半导体片的锌扩散工艺。本发明具有扩散结果均匀、重复，结特性好，而且还具有制造工艺简单，操作方便、安全，半导体片尺寸可以随着扩散炉的增大而尺寸做大，扩散舟和扩散源都可反复多次使用，成本低廉等优点，特别适用于半导体光电器件的锌扩散工艺。
铟镓砷光电探测器制造开管锌扩散方法