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[实用新型]一种稳定磁场的真空电子束焊机-CN202320716428.0有效
发明人：王昌高 -专利权人： 东莞市欧莱溅射靶材有限公司;广东欧莱高新材料股份有限公司
申请日： 2023-04-04 - 公布日： 2023-10-17 - 主分类号： B23K15/06 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种稳定磁场的真空电子束焊机，旋转夹具包括旋转驱动机构、夹盘和薄壁形状的中空的屏蔽罩，屏蔽罩的磁导率高于夹盘的磁导率，旋转驱动机构固定安装于加工平台，夹盘固定安装于旋转驱动机构的输出轴上，屏蔽罩套设于夹盘，夹盘收纳于屏蔽罩的腔室内，夹盘设置有多个用于夹持工件的卡爪，屏蔽罩对应各个卡爪的位置开设有形状相匹配的避让槽。通过屏蔽罩自身的高磁导率对旋转夹具进行感应屏蔽，防止旋转夹具对真空电子束焊装置的电子束产生的磁场进行干扰，稳定电子束，防止在焊接过程中电子束不规则跳动，降低焊缝气孔产生，提高焊接质量；具体是用于加工长度大于3米，纯度大于99.99％的高纯度旋转靶材的焊接设备。
一种稳定磁场真空电子束

[实用新型]一种改进隔离阀的电子束焊机-CN202320716470.2有效
发明人：王昌高 -专利权人： 东莞市欧莱溅射靶材有限公司;广东欧莱高新材料股份有限公司
申请日： 2023-04-04 - 公布日： 2023-10-17 - 主分类号： B23K15/06 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种改进隔离阀的电子束焊机，隔离机构包括隔离阀和驱动机构，隔离阀包括阀体、挡块、阀杆、密封圈和两个导向杆，阀体的内部具有一安装腔室，阀体的中心部开设有竖直贯穿阀体的用于穿过电子束的穿束通孔，两个导向杆上下滑动安装于安装腔室，挡块的左右两侧分别滑动安装于两个导向杆，密封圈设置于挡块的上部，阀杆的第一端与挡块的一侧上下滑动连接、第二端与驱动机构传动连接，当关闭隔离阀时挡块移动至阀体的中心部遮挡穿束通孔且与安装腔室的内壁抵顶配合。导向杆与挡块连接，减少挡块与阀体的接触面积，降低摩擦力，减少卡死现象；挡块上下滑动设置，减少密封圈在挡块与阀体摩擦，延长密封圈寿命，提高稳定性和可靠性。
一种改进隔离电子束

[发明专利]一种旋转靶分节绑定装置及分节绑定方法-CN201810262706.3有效
发明人：陈明恒;文锋 -专利权人： 东莞市欧莱溅射靶材有限公司;广东欧莱高新材料股份有限公司
申请日： 2018-03-28 - 公布日： 2023-09-08 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明通过定位配合的外加热装置和内加热装置在背管的表面依次表成多节金属层浇铸空间，依次在背管的表面浇铸成型多节金属层，且相邻两节金属层连结成一体；本发明能够生产任意长度的背管成型金属层，结构简单，减少加热元件及各种检测元件的配置数量，根据金属层的材质灵活调整，不仅提高了绑定焊合率、焊合质量，而且减少了形变，能够生产不同规格长度的旋转靶，设备通用性强，使用方便。
一种旋转分节绑定装置方法

[发明专利]铬平面靶材热等静压处理方法-CN201810142089.3有效
发明人：张中美 -专利权人： 东莞市欧莱溅射靶材有限公司;广东欧莱高新材料股份有限公司
申请日： 2018-02-11 - 公布日： 2023-08-22 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明涉及铬平面靶材热等静压处理方法，本发明是向炉腔内填充具有流动性的圆球体形状的陶瓷珠，在靶材工件的上方形成一陶瓷珠流动压盖层，再启动热等静压炉进行热等静压处理，陶瓷珠自动填充因靶材工件热变形而陶瓷珠基本无热变形而产生的空隙，陶瓷珠流动压盖层中的陶瓷珠在自身重力作用下流动并填充至流动间隙中，使陶瓷珠在各个方向均受到陶瓷珠的静压作用，使靶材工件在各个方向受到基本相同静压力，在热等静压处理结束，使靶材工件和陶瓷珠在炉腔内自然冷却，得到成品。本发明的热等静压处理是在高温高压环境下，利用陶瓷珠的热形变较小和流动性，使得靶材工件的形变降到最低，减少侧弯和形变，提高了产品的质量，减少了材料报废，降低了生产成本。
平面靶材热静压处理方法

[发明专利]锡铜合金靶生产工艺-CN201910294918.4有效
发明人：许宏智 -专利权人： 东莞市欧莱溅射靶材有限公司
申请日： 2019-04-12 - 公布日： 2022-03-01 - 主分类号： C22C1/02 文献下载
摘要：本发明涉及靶材生产工艺领域，特别是涉及一种锡铜合金靶生产工艺，包括以下步骤，提供锡锭和铜，按需求计算比例配料，复磅，装炉，开炉，功率开至15～25KW加温预热，加温30分钟后，增加功率35～45KW，待坩埚底部开始有金属融化时，增加功率50～60KW，直至锡锭熔化，往坩埚内加入铜，并搅拌至铜全部熔化，继续搅拌使熔融液体均匀，将加热炉功率调到10～25KW，加入除气剂，并将浮渣捞出，将加热炉功率调到10～20KW，搅拌使熔融液体均匀，并调温，浇铸，保温、静置、排渣，冷却，随后出炉去模具，对靶管机加工，对成品进行C‑scan扫描，检测内部无气孔、裂纹等组织缺陷，经氦质谱检漏仪检漏，漏率≤5×10E‑10Pa·m3/s，得到合格锡铜合金靶。本发明提供一种稳定性好、纯度高的锡铜合金靶生产工艺。
铜合金生产工艺

[发明专利]一种铝铜合金管件的制造方法-CN201910742563.0有效
发明人：吴本明;文宏福 -专利权人：广东欧莱高新材料股份有限公司;东莞市欧莱溅射靶材有限公司
申请日： 2019-08-13 - 公布日： 2022-02-11 - 主分类号： B21C23/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种铝铜合金管件的制造方法，包括以下步骤：S1、将铝铜合金锭坯进行加热、保温处理；S2、在真空条件下，采用分流模挤压机将步骤S1所得铝铜合金锭进行挤压处理，挤压温度为360～400℃，制得铝铜合金管坯件；S3、将步骤S2所得的铝铜合金管坯件进行固溶、冷却和时效处理，制得铝铜合金管件成品。与现有技术相比，采用本发明所述铝铜合金管件的制造方法，最终得到铝铜合金管件内部组织均匀、致密、晶粒细小，无裂纹缺陷，且具有优良的综合力学性能，大大提高了成品合格率；铝铜合金管件的纯度≥99.99％，平均晶粒为150～200μm，具有较高的生产质量指标，满足产品要求。
一种铜合金制造方法

[发明专利]一种低密度ITO靶材的制备方法-CN201910773128.4有效
发明人：叶俊峰;文宏福 -专利权人：广东欧莱高新材料股份有限公司;东莞市欧莱溅射靶材有限公司
申请日： 2019-08-21 - 公布日： 2022-02-08 - 主分类号： C04B35/457 文献下载
摘要：本发明涉及一种低密度ITO靶材的制备方法，包括以下步骤：S1、回收ITO废靶，并对所述ITO废靶进行预处理，获得ITO废靶粉末；S2、制备氢氧化铟浆料，根据配比，将一定量的所述氢氧化铟浆料与所述ITO废靶粉末混合、烘干后获得新配比的ITO粉末；S3、将所述ITO粉末压制成型获得坯体，将所述坯体烧结后获得所述低密度靶材。相对于现有技术，本发明的低密度ITO靶材通过添加氢氧化铟浆料改变ITO废靶中的铟、锡配比，利用了氢氧化铟浆料的类似胶体的性质，其能够充分与原ITO粉末混合，并充当粘接剂的角色，氢氧化铟脱水形成氧化铟的过程中不会使坯体收缩，保证成型后坯体的体积密度的稳定，克服了使用氧化铟作为改变配比的添加剂时引成型起坯体收缩的技术缺陷。
一种密度 ito 制备方法

[发明专利]一种钼铌合金旋转靶材及其制备方法-CN201910379954.0有效
发明人：李培林;文宏福 -专利权人：广东欧莱高新材料股份有限公司;东莞市欧莱溅射靶材有限公司
申请日： 2019-05-08 - 公布日： 2022-01-18 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明公开了一种钼铌合金旋转靶及其制备方法，其通过将钼粉和铌粉装入模具并在冷等静压作用下成为大尺寸的空心钼铌管压坯，随后装入包套中真空焊接密封，热等静压烧结成管坯，在后期机加工后最终制成钼铌旋转靶材。本制备方法能够减少杂质元素的引入，所生产靶材成分均匀、无偏析、晶粒细小。通过对所得钼铌合金旋转靶进行检测，其密度大于9.97g/cm3，晶粒度小于50微米，C‑SCAN扫描显示组织均匀，未发现有内部缺陷，达到了高端溅射靶材的要求。
一种合金旋转及其制备方法

[发明专利]等静压圆柱形靶材螺纹加工方法-CN201910259659.1有效
发明人：张益 -专利权人： 东莞市欧莱溅射靶材有限公司
申请日： 2019-04-02 - 公布日： 2021-06-08 - 主分类号： B23P15/00 文献下载
摘要：本发明涉及靶材加工领域，特别是涉及一种等静压圆柱形靶材螺纹加工方法，本发明包括以下步骤，提供靶材的螺纹以及铜套，所述靶材外圆与螺纹面具有0.5～2mm的加工余量；对靶材进行车削加工，所述靶材在车床上车削一个端面，并精车削靶材的内径；将铜套放在烤炉上加热烘烤，并将铜套套入靶材上，采用等静压技术使铜套和靶材紧配在一起；在钻床上对靶材进行钻销钉孔加工，并打上销钉；对靶材在车床上进一步车削加工，在所述靶材一面车削螺纹，并车削靶材的基准尺寸。本发明通过上述加工方法，实现加工简单、产品质量好、工作效率高等目的。
静压圆柱形螺纹加工方法

[发明专利]一种靶材的清洗方法-CN202011089333.8在审
发明人：文宏福;郭文明 -专利权人： 东莞市欧莱溅射靶材有限公司;韶关市欧莱高新材料有限公司
申请日： 2020-10-13 - 公布日： 2021-03-09 - 主分类号： B08B7/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种靶材的清洗方法，干冰喷枪组与清洁台相对移动，使干冰喷枪全面覆盖靶材清洁。一种靶材的清洗方法，通过本发明的清洗设备使用干冰对靶材进行清洁，实现全面覆盖靶材清洁，缩短清洗时间，有效去除靶材氧化物。
一种清洗方法

[实用新型]一种避免镍铬靶材边部产生裂纹的模具-CN202020436262.3有效
发明人：文宏福;吴本明 -专利权人：广东欧莱高新材料股份有限公司;东莞市欧莱溅射靶材有限公司
申请日： 2020-03-30 - 公布日： 2021-03-09 - 主分类号： B22C9/06 文献下载
摘要：一种避免镍铬靶材边部产生裂纹的模具，包括前后相对的第一侧板和第二侧板、左右相对的第三侧板组和第四侧板组，以及底板；第一侧板、第三侧板组、第二侧板、第四侧板组及底板依次贴靠围合成一个顶部开口的四方体模具，该四方体模具中央具有一顶部开口的铸造腔。该第三侧板组包括第一弧面板和第二弧面板，第一弧面板的朝向所述铸造腔的侧面具有第一倒角弧面，第二弧面板的朝向所述铸造腔的侧面具有第二倒角弧面。该第四侧板组包括第三弧面板和第四弧面板，第三弧面板的朝向所述铸造腔的侧面具有第三倒角弧面，第四弧面板的朝向所述铸造腔的侧面具有第四倒角弧面。本案的模具，具有弧面边部的铸造腔，使得铸造出来的镍铬靶材的边部不容易产生裂纹。
一种避免镍铬靶材边部产生裂纹模具

[发明专利]一种高纯铜旋转靶的制备方法-CN202010251321.4有效
发明人：文宏福;吴本明;张中美 -专利权人： 东莞市欧莱溅射靶材有限公司;广东欧莱高新材料股份有限公司
申请日： 2020-04-01 - 公布日： 2021-02-26 - 主分类号： B21C37/08 文献下载
摘要：本发明公开了一种高纯铜旋转靶的制备方法，包括1)坯锭预处理步骤、2)精密制管步骤、3)靶材复合结构加工与焊接和4)靶材稳定化处理步骤。通过本发明的高纯铜旋转靶的制备方法，得到的晶粒组织均匀，晶粒细化，旋转靶结构稳定性强。
一种高纯旋转制备方法

[发明专利]一种大尺寸钼铌平面靶材的制备方法-CN202010363526.1有效
发明人：文宏福;李培林 -专利权人： 东莞市欧莱溅射靶材有限公司;广东欧莱高新材料股份有限公司
申请日： 2020-04-30 - 公布日： 2021-02-26 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明公开了一种大尺寸钼铌平面靶材的制备方法，包括1)粉末造粒步骤、2)热等静压步骤、3)热变形步骤和清洗加工步骤。通过本发明的制备方法，制造出组织成分均匀、平均晶粒度小、含氧量低、纯度高和密度高的大尺寸靶材，本发明的制备方法制备的大尺寸靶材满足溅射靶材的镀膜要求。
一种尺寸平面制备方法

[实用新型]一种改进的可避免镍铬靶材边部产生裂纹的模具-CN202020436216.3有效
发明人：文宏福;吴本明 -专利权人：广东欧莱高新材料股份有限公司;东莞市欧莱溅射靶材有限公司
申请日： 2020-03-30 - 公布日： 2021-02-19 - 主分类号： B22C9/06 文献下载
摘要：一种改进的可避免镍铬靶材边部产生裂纹的模具，包括前后相对的第一侧板和第二侧板、左右相对的第三侧板和第四侧板、以及底座；第一侧板、第三侧板、第二侧板、第四侧板及底座依次贴靠围合成一个顶部开口的四方体模具，该四方体模具中央具有一顶部开口的铸造腔。该第三侧板和第四侧板的两端均设置有凸条与设置在第一侧板和第二侧板内侧面上的凹槽匹配，且第三侧板的朝向铸造腔的侧面具有第一倒角弧面，第四侧板的朝向铸造腔的侧面具有第二倒角弧面。本案的改进的可避免镍铬靶材边部产生裂纹的模具，具有弧面边部的铸造腔，使得铸造出来的镍铬靶材的边部不容易产生裂纹。
一种改进避免镍铬靶材边部产生裂纹模具

[实用新型]一种平面靶材的自动喷砂设备-CN202020923484.8有效
发明人：文宏福;郭文明 -专利权人： 东莞市欧莱溅射靶材有限公司;韶关市欧莱高新材料有限公司
申请日： 2020-05-27 - 公布日： 2021-01-22 - 主分类号： B24C1/08 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种平面靶材的自动喷砂设备，包括喷砂室和喷砂平台，喷砂室与喷砂平台连接，喷砂平台设置有用于运送靶材移动的运送装置，喷砂室内设置有喷砂装置，喷砂装置设置在运送装置上方，喷砂装置包括中部摆动喷砂装置和侧部喷砂装置，侧部喷砂装置设置有侧部喷砂枪，侧部喷砂枪的枪口朝向靶材的侧部，中部摆动喷砂装置设置有中部喷砂枪，中部喷砂枪的枪口朝向靶材的板面的非溅射区。提高靶材喷砂效率和喷砂良品率，提高喷砂作业的安全系数。
一种平面自动喷砂设备

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