专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [实用新型]一种用于可变形研磨抛光盘表面曲率监测的装置-CN201721178942.4有效
  • 刘佩伟;黄仕康;王碧浪 - 上海怀德机电有限公司
  • 2017-09-14 - 2018-04-20 - B24B37/005
  • 本实用新型公开了一种用于可变形研磨抛光盘表面曲率监测的装置,包括基盘,所述基盘上设置研磨抛光盘,所述研磨抛光盘上设置在线磨盘平整度检测装置,所述基盘、研磨抛光盘之间形成磨盘与基盘间隙,所述磨盘与基盘间隙的外侧设置大密封圈;所述基盘的下方设置基盘支轴,所述基盘支轴的中部设置中心轴,所述中心轴的两端分别设置上轴承、下轴承,所述中心轴的上部设置传感器,所述传感器上设置传感器探头,所述传感器的外侧设置真空腔,所述真空腔的下方设置小密封圈,所述真空腔通过设置在基盘内的真空导孔连接磨盘与基盘间隙;可有效消除和减轻用于监测和控制盘面形常规设备和工艺的某些缺点,减少熟练工人依赖。
  • 一种用于变形研磨抛光表面曲率监测装置
  • [实用新型]一种可重复利用的研磨方轴夹具-CN201721179428.2有效
  • 王碧浪 - 上海怀德机电有限公司
  • 2017-09-14 - 2018-04-20 - H01L21/463
  • 本实用新型公开了一种可重复利用的研磨方轴夹具,包括用于固定方轴的基板,基板与方轴通过内六角螺钉六、内六角螺钉五固定,在方轴的端部设置三个密封圈,分别是密封圈一、密封圈二和密封圈三,所述基板的下方通过螺钉固定式样安装板,在安装板上设置数个止停螺钉,在基板的下方是驱动环,垫柱通过用阴/阳螺钉的阳螺纹部分固紧于驱动环之上;本实用新型提供的可重复利用的研磨方轴夹具,采用一种方轴夹具,能精确地控制晶圆研抛的方向,因而可获得精确的研磨精度。
  • 一种重复利用研磨夹具

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