|
钻瓜专利网为您找到相关结果 12个,建议您 升级VIP下载更多相关专利
- [发明专利]一种磁控溅射镀膜机-CN202211366586.4在审
-
周征华;李龙哲;朱显君;夏伟;李花;张亚芹
-
上海哈呐技术装备有限公司
-
2022-11-01
-
2023-01-10
-
C23C14/24
- 本发明属于镀膜设备领域,公开了一种磁控溅射镀膜机,蒸发镀膜室、溅射镀膜室和设置于蒸发镀膜室与溅射镀膜室之间可启闭地的翻板阀,翻板阀开启时蒸发镀膜室与溅射镀膜室连通,翻板阀关闭时将蒸发镀膜室与溅射镀膜室分隔为两个独立的腔室;蒸发镀膜室上设有可启闭的腔室门,蒸发镀膜室内设有前处理机构、AF蒸发机构和移载机构,溅射镀膜室内设有溅射机构;移载机构沿所述蒸发镀膜室至溅射镀膜室的方向可往复移动,用于将放置有待处理产品的工装板放入溅射镀膜室并从溅射镀膜室内拾取放置有已处理产品的工装板。本发明溅射镀膜室可始终保持真空状态,无需重新抽真空,可实现产品的连续性不间断溅射镀膜,大大提高生产效率。
- 一种磁控溅射镀膜
- [实用新型]用于镀膜机的磁控溅射装置-CN202122589706.4有效
-
夏伟;周征华;张亚芹;朱小凤;李花
-
上海哈呐技术装备有限公司
-
2021-10-26
-
2022-03-08
-
C23C14/35
- 本实用新型专利公开了一种用于镀膜机的磁控溅射装置,镀膜机包括镀膜室和转笼,转笼可转动地安装于镀膜室内。磁控溅射装置包括一控制器和至少一磁控溅射组件。磁控溅射组件包括一呈圆管状的靶材、一呈条状的磁轭和一驱动件。靶材安装于镀膜室内,且位于转笼外围。磁轭安装于靶材内部,且偏向于靶材的一侧。驱动件用于驱动磁轭围绕于靶材的轴线转动。控制器信号连接和/或电性连接于驱动件。在控制器的控制下,驱动件用于驱动磁轭转动,并将磁轭定位于朝向转笼的第一位置和远离转笼的第二位置。本实用新型通过将磁轭设置成可转动式,能够有效解决镀膜机在运行初期,从靶材逸出的溅射原子溅射至待镀膜产品上,从而可确保待镀膜产品的良品率。
- 用于镀膜磁控溅射装置
- [实用新型]用于镀膜机的工装转架-CN202023230998.4有效
-
李龙哲;夏伟;李添;李花;朱小凤
-
上海哈呐技术装备有限公司
-
2020-12-28
-
2021-10-22
-
C23C14/50
- 本实用新型专利公开了一种用于镀膜机的工装转架,工装转架包括转筒和支座。支座包括上支撑座、下支撑座和多个支撑型条。上支撑座和下支撑座组装于镀膜机内部,且上下相对设置。多个支撑型条连接于上支撑座和下支撑座。转筒由多个呈弧型片状的板体依次拼接形成。转筒位于上支撑座和下支撑座之间。每一板体均铰接于一支撑型条。板体围绕支撑型条转动,以实现对转筒的开合。其中,上支撑座设有第一限位部,用于抵接转筒上端内壁;及下支撑座设有第二限位部,用于抵接转筒下端内壁。本专利中,通过将板体设为铰接式,使得存取镀膜产品更加方便。
- 用于镀膜工装
- [实用新型]用于镀膜机回转架的导向机构-CN202023226159.5有效
-
李龙哲;夏伟;李添;李花;朱小凤
-
上海哈呐技术装备有限公司
-
2020-12-28
-
2021-10-12
-
C23C14/50
- 本实用新型专利公开了一种用于镀膜机回转架的导向机构,镀膜机包括箱体,回转架组装于箱体内。导向机构包括第一导向件和第二导向件。第一导向件安装于箱体内,且位于回转架正上方。第二导向件安装于回转架上。第一导向件和第二导向件均呈圆环状,且同轴设置。第一导向件沿其周侧均匀设有第一磁性体。第二导向件沿其周侧均匀设有第二磁性体。第二磁性体悬浮于第一磁性体内侧。其中,回转架在转动的过程中,第一磁性体和第二磁性体相互排斥,使回转架始终沿第一导向件和第二导向件的轴向转动。导向机构通过水平磁悬浮的方式对回转架进行斥力方向引导,使得回转架始终能够围绕同一位置转动,不会轻易发生偏离和晃动。
- 用于镀膜回转导向机构
|