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- [发明专利]弹性波装置、高频前端电路以及通信装置-CN201780085766.6有效
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三村昌和
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株式会社村田制作所
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2017-11-27
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2023-08-01
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H03H9/145
- 本发明提供利用了洛夫波且能够有效地抑制横模杂散的弹性波装置(1)，其使用洛夫波，具备：压电基板(2)(压电体)；IDT电极(3)，设置在压电基板上；以及第一电介质膜，设置在压电基板上，覆盖IDT电极。在IDT电极中，依次配置有中央区域(B)、第一边缘区域(Ca)、第二边缘区域(Cb)以及第一缝隙区域(Da)、第二缝隙区域(Db)。在第一边缘区域以及第二边缘区域中，在第一电介质膜中设置有质量附加膜(7)，在第一电介质膜中，将位于IDT电极与质量附加膜之间的部分的膜厚设为T1，并将位于第一电介质膜的与压电基板侧相反侧的面与质量附加膜之间的部分的膜厚设为T2，此时，T1/(T1+T2)＜0.5。
- 弹性装置高频前端电路以及通信
- [发明专利]弹性波装置-CN202180075923.1在审
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木村哲也;铃木胜己;米田年麿;井上和则;野竹直弘;三村昌和
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株式会社村田制作所
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2021-11-11
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2023-07-14
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H03H9/25
- 抑制压电层的裂纹产生。弹性波装置具备：支承基板，其在第1方向上具有厚度；压电层，其设置在所述支承基板的所述第1方向；IDT电极，其设置在所述压电层的所述第1方向，具有多个第1电极指和多个第2电极指，所述多个第1电极指在与所述第1方向交叉的第2方向上延伸，所述多个第2电极指在与所述第2方向正交的第3方向上与所述多个第1电极指的任一个对置，并且在所述第2方向上延伸；以及加强膜，其设置在所述压电层的所述第1方向，在所述支承基板和所述压电层之间，在至少一部分在所述第1方向上与所述IDT电极重叠的位置，设置有空洞部，在相对于所述IDT电极在所述第3方向上不与所述IDT电极重叠的位置，具有贯穿所述压电层的至少一个贯通孔，所述贯通孔与所述空洞部连通，所述加强膜的至少一部分在所述第1方向上与所述空洞部重叠。
- 弹性装置
- [发明专利]弹性波装置、高频前端电路以及通信装置-CN201811617295.1有效
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三村昌和
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株式会社村田制作所
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2018-12-27
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2023-06-27
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H03H9/02
- 一种弹性波装置，利用板波S0模式，具备：支承基板；声反射层，直接或间接地层叠在支承基板上；压电体，直接或间接地层叠在声反射层上；以及IDT电极，直接或间接地设置在压电体上，在声反射层中，在低声阻抗层与高声阻抗层在层叠方向上相邻的部分中的至少一个部分，将用弹性波装置的动作频率处的在低声阻抗层中传播的横波体波的波长的厚度方向上的分量进行了归一化的低声阻抗层的厚度设为T1，将用弹性波装置的动作频率处的在高声阻抗层中传播的横波体波的波长的厚度方向上的分量进行了归一化的高声阻抗层的厚度设为T2，此时，T1+T2为0.40以上且0.60以下，T1/(T1+T2)为0.35以上且0.65以下。
- 弹性装置高频前端电路以及通信
- [发明专利]弹性波装置-CN201880026037.8有效
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三村昌和
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株式会社村田制作所
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2018-03-28
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2023-06-23
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H03H9/25
- 本发明提供一种利用了板波S0模式且低损耗的弹性波装置。一种弹性波装置(1)，具备：压电体(5)，直接或间接地设置在支承基板(2)上，由铌酸锂构成；以及IDT电极(6)，直接或间接地设置在压电体(5)上，在将由IDT电极(6)的电极指间距决定的弹性波的波长设为λ时，压电体(5)的厚度为1λ以下，利用了在压电体(5)中传播的板波S0模式，所述铌酸锂的欧拉角为(0°±10°，θ，90°±10°)，其中，θ为0°以上且180°以下。
- 弹性装置
- [发明专利]弹性波装置、高频前端电路以及通信装置-CN201880025475.2有效
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三村昌和
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株式会社村田制作所
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2018-04-03
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2023-04-28
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H03H9/25
- 本发明提供一种即使在同一压电基板上设置有电极指间距不同的多个IDT电极的情况下也能够有效地抑制无用波的弹性波装置。弹性波装置(1)具备：压电基板(2)，由LiNbO3构成；以及第一电介质膜(8)(电介质膜)，设置在压电基板(2)上，使得覆盖设置在压电基板(2)上的第一IDT电极(4A)、第二IDT电极(4B)。第一IDT电极(4A)、第二IDT电极(4B)具有主电极层。将由第一IDT电极(4A)、第二IDT电极(4B)的电极指间距规定的波长设为λ1、λ2，将其平均值设为λ0，设λ1/λ0＝1+X且λ2/λ0＝1‑X，此时，0.05≤X≤0.65。波长λ1最长，波长λ2最短。压电基板(2)的欧拉角(θ，ψ)中的为0°±5°，ψ为0°±10°，θ满足式1。在式1中，B1＜T×r≤0.10λ0，且B2＜T×r≤0.10λ0。
- 弹性装置高频前端电路以及通信
- [发明专利]弹性波装置、高频前端电路以及通信装置-CN201880006651.8有效
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三村昌和;泷川和大
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株式会社村田制作所
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2018-01-16
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2023-02-28
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H03H9/145
- 本发明提供一种弹性波装置，通过使第一边缘区域以及第二边缘区域中的占空比大于中央区域中的占空比而形成低声速区域，并使用了活塞模式，其中，能够有效地抑制由高阶的横模造成的杂散。弹性波装置(1)具备压电基板(2)(压电体)和设置在压电基板(2)上的IDT电极(3)。在IDT电极(3)中依次配置有中央区域(A1)、第一低声速区域、第二低声速区域以及第一高声速区域、第二高声速区域。多个第一电极指(3a2)、第二电极指(3b2)的第一低声速区域、第二低声速区域中的占空比大于中央区域(A1)中的占空比。在将在作为主电极层的主成分的金属中传播的横波体波的声速设为v(m/s)时，v≤3299m/s，在将由IDT电极(3)的电极指间距规定的波长设为λ，并将通过波长λ进行了归一化的主电极层的膜厚设为T时，满足T≥0.00018e0.002V+0.014。
- 弹性装置高频前端电路以及通信
- [发明专利]弹性波装置-CN202180037224.8在审
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三村昌和;手川总一郎
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株式会社村田制作所
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2021-05-21
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2023-02-03
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H03H9/145
- 提供一种弹性波装置，能够更加可靠地抑制构成IDT电极的Cu向压电性基板扩散。本发明的弹性波装置具备：压电性基板(2)；以及IDT电极(3)，其具有设置在压电性基板(2)上的第一层(4)以及设置在第一层(4)上且以Cu为主成分的第二层(5)，并且具有多个电极指。第一层(4)包括位于压电性基板(2)侧的第一主面(4a)以及与第二层(5)接触的第二主面(4b)。第二层(5)包括与第一层(4)接触的第三主面(5a)、与第三主面(5a)对置的第四主面(5b)以及与第三主面(5a)及第四主面(5b)连接的侧面(5c)。IDT电极(3)还具有设置于第二层(5)的侧面(5c)的阻挡层(7)(外层)。第二层(5)的侧面(5c)与阻挡层(7)的边界(A)位于第一层(4)的第二主面(4b)上，阻挡层(7)未到达压电性基板(2)上。
- 弹性装置
- [发明专利]弹性波装置-CN202180037234.1在审
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三村昌和;手川总一郎
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株式会社村田制作所
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2021-05-21
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2023-01-31
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H03H9/145
- 本发明提供一种能够更可靠地抑制构成IDT电极的Cu扩散到压电性基板的弹性波装置。本发明的弹性波装置具备：压电性基板(2)；以及IDT电极(3)，具有设置在压电性基板(2)上的阻挡层(7)(外层)和设置在阻挡层(7)上且以Cu为主成分的第1层(5)(电极层)，且具有多个电极指。第1层(5)包含：第1主面(5a)，位于压电性基板(2)侧；第2主面(5b)，与第1主面(5a)对置；以及侧面(5c)，与第1主面(5a)以及第2主面(5b)连接。阻挡层(7)覆盖第1层(5)的第1主面(5a)以及侧面(5c)。阻挡层(7)中的覆盖第1层(5)的第1主面(5a)的部分的厚度比阻挡层(7)中的覆盖第1层(5)的侧面(5c)的部分的厚度薄。
- 弹性装置
- [发明专利]弹性波装置、高频前端电路以及通信装置-CN201780078435.X有效
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三村昌和
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株式会社村田制作所
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2017-10-17
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2023-01-06
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H03H9/25
- 本发明提供一种能够在谋求小型化的同时抑制由SH波造成的杂散、进而具有陡峭的滤波器特性并且通带宽的弹性波装置。一种弹性波装置(1)，具备：LiNbO3基板(2)；第一弹性波谐振器，具有第一IDT电极以及第一电介质膜；以及第二弹性波谐振器，具有第二IDT电极以及第二电介质膜，利用瑞利波，第一电介质膜以及第二电介质膜的厚度不同，第一弹性波谐振器以及第二弹性波谐振器中的弹性波的传播方向一致，LiNbO3基板(2)的欧拉角为(0°±5°，θ，0°±10°)的范围内，将通过由第一IDT电极以及第二IDT电极的电极指间距确定的波长λ进行了归一化的主电极的厚度设为T，将主电极的密度(ρ)与Pt的密度(ρPt)的密度比(ρ/ρPt)设为r，此时，在0.055λ≤T×r≤0.10λ的范围内，θ满足下述式(1)。‑0.033/(T×r‑0.037)+29.99≤θ≤‑0.050/(T×r‑0.043)+32.45…(1)。
- 弹性装置高频前端电路以及通信
- [发明专利]弹性波装置-CN202210371064.7在审
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三村昌和
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株式会社村田制作所
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2016-08-08
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2022-06-24
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H03H9/17
- 本发明提供一种即使在频率调整膜的膜厚发生了变化的情况下也不易产生SH波杂散的大小的变动的弹性波装置。弹性波装置(1)在LiNbO3基板(2)上设置有IDT电极(3)、电介质膜(6)以及频率调整膜(7)。LiNbO3基板(2)的欧拉角为(0°±5°的范围内，θ±1.5°的范围内，0°±10°的范围内)，IDT电极(3)具有主电极，该主电极为Cu或将该Cu作为主体的合金，在将主电极的用由IDT电极(3)的电极指间距决定的波长λ进行标准化而成的膜厚设为T并将主电极的材料与Pt的密度比设为r时，主电极的膜厚T和欧拉角的θ满足式(1)。式(1)：θ＝‑0.05°/(T/r‑0.04)+3135°。
- 弹性装置
- [发明专利]弹性波装置-CN201680059542.3有效
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三村昌和
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株式会社村田制作所
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2016-08-08
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2022-04-29
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H03H9/25
- 本发明提供一种即使在频率调整膜的膜厚发生了变化的情况下也不易产生SH波杂散的大小的变动的弹性波装置。弹性波装置(1)在LiNbO3基板(2)上设置有IDT电极(3)、电介质膜(6)以及频率调整膜(7)。LiNbO3基板(2)的欧拉角为(0°±5°的范围内，θ±1.5°的范围内，0°±10°的范围内)，IDT电极(3)具有主电极，在将主电极的用由IDT电极(3)的电极指间距决定的波长λ进行标准化而成的膜厚设为T并将主电极的材料与Pt的密度比设为r时，主电极的膜厚T和欧拉角的θ满足式(1)。式(1)：θ＝‑0.05°/(T/r‑0.04)+31.35°。
- 弹性装置
- [发明专利]弹性波装置、高频前端电路以及通信装置-CN201810991653.9有效
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三村昌和;岸本谕卓
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株式会社村田制作所
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2018-08-28
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2022-04-08
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H03H9/25
- 本发明提供一种能够增大主模式的频率与产生杂散的频率之差的弹性波装置。弹性波装置(1)具备：支承基板(2)；声反射层(3)，具有声阻抗相对低的多个低声阻抗层(4a～4d)和声阻抗相对高的多个高声阻抗层(5a～5c)，且设置在支承基板(2)上；压电体层(6)，设置在声反射层(3)上；以及IDT电极(7)，设置在压电体层(6)上。声反射层(3)中的各层的膜厚的关系为如下关系中的至少一种关系：位于最靠压电体层(6)侧的低声阻抗层(4a)的膜厚比其它所有的低声阻抗层(4b～4d)的膜厚薄；以及位于最靠压电体层(6)侧的高声阻抗层(5a)的膜厚比其它所有的高声阻抗层(5b、5c)的膜厚薄。
- 弹性装置高频前端电路以及通信
- [发明专利]复合滤波器装置-CN202080040743.5在审
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三村昌和;村中大志
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株式会社村田制作所
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2020-06-11
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2022-01-14
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H03H9/64
- 本发明提供一种具有第1滤波器以及第2滤波器的复合滤波器装置，该复合滤波器装置能够更进一步减小通带相对高的第2滤波器中的插入损耗。复合滤波器装置(1)具备：压电基板(22)，是LiNbO3基板；第1滤波器(2)，在压电基板(22)上构成，且包含分别由弹性波谐振器构成的多个谐振器；以及第2滤波器(3)，该第2滤波器(3)和第1滤波器(2)一端彼此公共连接，第2滤波器(3)的通带处于比第1滤波器(2)的通带高的频带，构成第1滤波器(2)的全部的谐振器的体波辐射频率均比第2滤波器(3)的通带高。
- 复合滤波器装置
- [发明专利]弹性波装置-CN201580030640.X有效
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三村昌和
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株式会社村田制作所
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2015-06-15
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2019-05-17
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H03H9/145
- 提供利用活塞模式、能谋求小型化的弹性波装置。在弹性波装置(1)中，在IDT电极(3)的交叉区域，在IDT中央部(3A)的两侧设置低音速部(3B1、3B2)，在低音速部(3B1、3B2)的电极指方向外侧设置高音速部(3C1、3C2)。由此能利用活塞模式。高音速部(3C1、3C2)的弹性波传播方向端部的宽度比高音速部(3C1、3C2)的IDT电极(3)的弹性波传播方向中央的宽度相对窄。
- 弹性装置
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