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[发明专利]感光性树脂层叠体-CN202211156119.9在审
发明人：樱井隆觉;三个野原崇士 -专利权人：旭化成株式会社
申请日： 2022-09-22 - 公布日： 2023-04-04 - 主分类号： G03F7/004 文献下载
摘要：本发明的目的在于，提供能够兼顾低粘性和高分辨率的感光性树脂层叠体、以及使用该感光性树脂层叠的卷、抗蚀图案和结构体。提供一种感光性树脂层叠体，其特征在于，其包含支撑体、感光性树脂层和覆盖薄膜，上述感光性树脂层和上述覆盖薄膜相接触，上述覆盖薄膜为低密度聚乙烯，且上述感光性树脂层含有：(A)碱溶性树脂、(B)具有烯属不饱和键的光聚合性化合物、(C)光聚合引发剂、和(D)两末端改性有机硅化合物，所述两末端改性有机硅化合物通过甲醇改性、酚改性或硅醇改性中的任意者进行了改性。
感光性树脂层叠

[发明专利]感光性树脂组合物、使用了感光性树脂组合物的转印薄膜-CN202011462119.2在审
发明人：樱井隆觉;西本秀昭;三个野原崇士;下田浩一朗 -专利权人：旭化成株式会社
申请日： 2020-12-11 - 公布日： 2021-06-18 - 主分类号： G03F7/004 文献下载
摘要：感光性树脂组合物、使用感光性树脂组合物的转印薄膜。提供使通过光刻法形成的物体、图案的成品率提高的干膜抗蚀剂或包含其的图案形成方法，层压性、最小显影时间、分辨率、侧蚀量、Cu缺损和显影残渣的至少一者优异的感光性树脂层叠体。提供干膜抗蚀剂，包含支撑薄膜和支撑薄膜上的感光性树脂组合物层，感光性树脂组合物包含(A)碱溶性树脂、(B)包含烯属不饱和键的光聚合性化合物、(C)光聚合引发剂和(D)染料，特定的穿刺试验的最大点载荷为70gf以上；作为B成分，包含三官能以上的多官能单体和二官能单体；和/或将感光性树脂组合物的不挥发成分的酸值记作A且将感光性树脂组合物层的厚度记作T，酸值A与厚度T之比为5～90。
感光性树脂组合使用薄膜