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[发明专利]一种能够提升压电系数的压电薄膜退火工艺-CN202310928578.2在审
发明人：管涛;周长阳;刘浩 -专利权人：三三智能科技（日照）有限公司
申请日： 2023-07-26 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： H10N30/04 文献下载
摘要：本申请公开了本发明公开了一种能够提升压电系数的压电薄膜退火工艺，具体涉及压电薄膜技术领域，本发明通过保持限定的拉伸速率，PVDF压电薄膜内部结晶度增加且β相晶体增加，退火过程分为一段退火和二段退火，一段退火过程温度略高，为拉伸后PVDF基膜内部晶型转换提供充足能量，保证结晶度增加，在内部结晶度增加后，降低退火温度至限定温度范围，使退火过程中α相晶体转化为β相晶体，增加整体结晶度的同时，使β相含量更为理想，充分改善压电薄膜的压电系数，在一定程度上改善压电薄膜的性能，便于大范围推广使用，经济效益理想。
一种能够提升压电系数薄膜退火工艺

[发明专利]极化设备-CN202010085101.9有效
发明人：李志勇;陈安禄 -专利权人：馗鼎奈米科技股份有限公司
申请日： 2020-02-10 - 公布日： 2023-10-24 - 主分类号： H10N30/045 文献下载
摘要：一种极化设备。此极化设备包含导电载台、介电质屏蔽放电电浆源、电网、介电质屏蔽放电电源供应器、以及直流电源供应器。导电载台具有承载面配置以承载工件，其中工件包含压电材料薄膜，且导电载台接地。介电质屏蔽放电电浆源设于承载面的上方，且配置以朝压电材料薄膜施加电浆。电网设于承载面与介电质屏蔽放电电浆源之间。介电质屏蔽放电电源供应器包含第一极与第二极，其中第一极电性连接介电质屏蔽放电电浆源，第二极接地。直流电源供应器包含第三极与第四极，其中第三极电性连接电网，第四极接地。介电质屏蔽放电电浆源可产生二维均匀电浆，因此可避免极化盲区与放电不均匀的问题，而可提升极化的均匀度。
极化设备

[发明专利]一种软性压电陶瓷材料空气极化方法-CN202310920300.0在审
发明人：孙兆海;孙启波;曲昊晨 -专利权人：淄博宇海电子陶瓷有限公司
申请日： 2023-07-26 - 公布日： 2023-10-13 - 主分类号： H10N30/045 文献下载
摘要：本发明涉及一种软性压电陶瓷材料空气极化方法，属于空气极化技术领域；包括：预加温：在0.4Tc‑0.8Tc下经过20‑50min对产品进行预加温处理，Tc为居里温度；加温极化：在0.5Tc‑0.9Tc下加压400‑1300V/mm极化时长10‑20min对产品进行加温极化处理；室温极化：加压100‑500V/mm极化时长20‑50min对产品进行室温极化处理；放电完成，结束极化；生产的空气极化软性压电陶瓷材料产品具有性能参数一致性好、时间稳定性和温度稳定性佳的优点，且该方法生产效率高，能够避免清洗，降低污染。
一种软性压电陶瓷材料空气极化方法

[发明专利]一种用于小电极片状压电陶瓷的极化装置与方法-CN202310813141.4在审
发明人：咸夫正;王春明;王茜 -专利权人：山东大学
申请日： 2023-07-04 - 公布日： 2023-10-13 - 主分类号： H10N30/045 文献下载
摘要：本发明涉及压电陶瓷的极化领域，提供了一种用于小电极片状压电陶瓷的极化装置与方法。极化装置包括极化控制设备、极化夹具和温度控制设备；极化控制设备包括控制电路，控制电路均与程控直流高压电路、电压采集电路和电流采集电路连接；极化夹具包括正极电极探针和负极电极板，正极电极探针的一端通过片状压电陶瓷连接负极电极板，另一端和负极电极板均通过电极引线连接极化控制设备的电压输出端口；正极电极探针垂直于片状压电陶瓷；正极电极探针的一端、负极电极板和片状压电陶瓷均置于容器内的硅油中；控制电路通过通信线连接温度控制设备，温度控制设备用于加热/冷却容器内的硅油。
一种用于电极片状压电陶瓷极化装置方法

[发明专利]一种调节AlN异质外延面内应力的方法-CN202311121195.0在审
发明人：张立胜;沈波;许福军;贺钟冶;杨学林 -专利权人：北京中博芯半导体科技有限公司
申请日： 2023-09-01 - 公布日： 2023-10-10 - 主分类号： H10N30/04 文献下载
摘要：本申请属于半导体器件技术领域，具体涉及一种调节AlN异质外延面内应力的方法。本申请的调节异质外延面内应力的方法，包括以下步骤：1）在衬底背面沉积一层预制应力膜，得到背面带有预制应力膜的衬底；所述预制应力膜的材料与目标外延膜的材料相同；2）在无氧环境下，将背面带有预制应力膜的衬底进行退火处理；3）所述退火处理后，在背面带有预制应力膜的衬底的正面进行目标外延膜的沉积。本申请通过背部预制应力膜和退火处理的配合，能够抵消目标外延层受到的一部分甚至全部的面内应力，从而降低目标外延膜的翘曲度，减少或避免裂纹的产生。
一种调节 aln 外延内应力方法

[实用新型]一种用于电极化压电材料的智能运动平台-CN202320310619.7有效
发明人：张耀鹏;陈杰;范苏娜 -专利权人：东华大学
申请日： 2023-02-24 - 公布日： 2023-09-26 - 主分类号： H10N30/045 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种用于电极化压电材料的智能运动平台，包括电晕针、夹具、摄像机、x轴方向的电机、y轴方向的电机、xy轴电机连接板、z轴滑轨和z轴固定连接板；电晕针用于极化样品(压电材料)，摄像机用于识别样品的所在位置进行标定，电晕针和摄像机固定在夹具上，夹具与z轴滑轨上的滑块固定连接，z轴滑轨用于控制电晕针与样品间的距离，z轴滑轨与位于其上方的z轴固定连接板垂直连接，z轴固定连接板还与x轴方向的电机连接，x轴方向的电机和y轴方向的电机分别固定在xy轴电机连接板的上下表面，x轴方向的电机和y轴方向的电机分别用于控制电晕针在x轴方向和y轴方向运动。本实用新型能够实现对样品整体的均匀极化。
一种用于极化压电材料智能运动平台

[实用新型]一种压电陶瓷的极化装置-CN202320628810.6有效
发明人：陈昱;钱璐;付妍博;张龙飞;张愉;高翔宇;韩飞;赵鹏;魏勇建;李飞;李景雷;吴杰 -专利权人：西安创研电子科技有限公司
申请日： 2023-03-28 - 公布日： 2023-09-22 - 主分类号： H10N30/045 文献下载
摘要：一种压电陶瓷的极化装置，台桌上设有极化箱及电气控制箱，极化箱的内侧壁上设有智能控温仪和内外循环风机，极化箱内底部设有加热片、内顶部垂直设有多个极化连杆，极化连杆的端部设有极化夹具，极化夹具上设有正极端和负极端；电气控制箱根据智能控温仪采集到的温度信息，控制加热片运行和内外循环风机工作，以及向极化夹具的正极端和负极端释放设定电压。本实用新型采用在极化箱内空气环境下极化的方式，该极化方式所需的极化电场远低于油浴极化所需的极化电场，实现了压电陶瓷极化后快速降温的效果，从而提升了压电陶瓷的极化效率，同时，实现压电陶瓷极化电压与极化温度的实时联动，满足了对压电陶瓷极化电压与极化温度实时控制的使用需求。
一种压电陶瓷极化装置

[发明专利]一种基于惰性保护气体的PVDF压电薄膜极化工艺-CN202310721939.6在审
发明人：管建国;管涛;张成鹏 -专利权人：三三智能科技（日照）有限公司
申请日： 2023-06-16 - 公布日： 2023-09-05 - 主分类号： H10N30/045 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于惰性保护气体的PVDF压电薄膜极化工艺，属于极化工艺技术领域，包括如下步骤：将成卷PVDF压电薄膜置于带收放装置的容器内，向容器内置入一定浓度溶液，再取出PVDF压电薄膜。本发明中，通过在内设置有对于PVDF压电薄膜的多个溶液处理过程，同时设置有多次干燥过程，能够首先对于PVDF压电薄膜的性质产生一定的改变，同时通过在内设置有两次电压极化处理，在第二次电压极化处理时，向反应环境中通入惰性气体，惰性气体由于本身的高稳定性不易与其他反应物质发生反应，因此不会对于薄膜的极化处理产生不良影响，提升极化后的PVDF压电薄膜整体的稳定性。
一种基于惰性保护气体 pvdf 压电薄膜极化工艺

[实用新型]一种压电敏感件极化装置-CN202222328752.3有效
发明人：张迪;宋琼芳;樊虎;易翔;段科军;陈俊梅;刘坪琳;乔斌 -专利权人：成都凯天电子股份有限公司
申请日： 2022-08-31 - 公布日： 2023-08-22 - 主分类号： H10N30/045 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种压电敏感件极化装置，其包括支座，支座包括在竖直方向上间隙设置的底板和顶板，底板和顶板通过支撑板固定连接，顶板上排布有若干均与电源正极连接的第一导电板，底板的上表面排布有若干均与电源负极连接的第二导电板，顶板上滑动穿设有若干竖直的导电压杆，且顶板上设置有用于限位固定导电压杆的限位件，若干导电压杆通过导线分别与若干第一导电板连通，若干导电压杆的底部分别间隙设置在若干第二导电板的上方；本方案可实现多个压电敏感元件的同时极化，且压电敏感元件之间互不影响，避免了手动接电操作，降低操作难度，提升极化过程的安全性。
一种压电敏感极化装置

[发明专利]一种压电材料的极化方法和应用-CN202210112921.1在审
发明人：何超;龙西法;熊俊杰 -专利权人：中国科学院福建物质结构研究所
申请日： 2022-01-29 - 公布日： 2023-08-18 - 主分类号： H10N30/045 文献下载
摘要：本发明提供一种压电材料的极化方法和应用。本发明所述的极化方法包括如下步骤：S1：将压电材料装在极化装置上，置于空气或绝缘媒质中，并调整至极化温度；S2：脉冲极化：极化电压选自脉冲电压，极化时，各个脉冲电压的方向保持一致。采用本发明的极化方法，使含有两种以上晶体结构的铁电压电材料的压电性能得到显著提升，具有很高的应用价值。
一种压电材料极化方法应用

[实用新型]一种压电陶瓷片的极化装置-CN202320064978.9有效
发明人：李中英;张朝俊;高天 -专利权人：温州市瓯新电子有限公司
申请日： 2023-01-10 - 公布日： 2023-08-01 - 主分类号： H10N30/045 文献下载
摘要：本申请涉及一种压电陶瓷片的极化装置，涉及压电陶瓷片的技术领域，其包括安装组件，所述安装组件包括上导电板、下导电板和挡板，所述安装组件还包括上导电片和下导电片，所述上导电片和下导电片之间设有定位组件，所述上导电板的侧面设有加压组件，所述定位组件包括支撑杆和套设有于支撑杆外侧的弹簧，所述支撑杆的外侧套设有防护套筒，所述防护套筒包括筒身和固定环，所述固定环的下侧与弹簧抵触，所述筒身的外侧套设有调节件，所述调节件包括第一套筒和第二套筒；本申请通过调节套筒和调节件的配合设置，有选择的将筒身外侧的第二套筒或第三套筒取下，将其调节至适用于该种压电陶瓷片的尺寸，以此扩大该极化装置所适用的压电陶瓷片尺寸范围。
一种压电陶瓷极化装置

[发明专利]一种纳米级厚度极化铁电薄膜及其正压电系数d33-CN202310165834.7在审
发明人：丁业成;刘楠楠;袁国亮 -专利权人：南京理工大学
申请日： 2023-02-24 - 公布日： 2023-07-18 - 主分类号： H10N30/045 文献下载
摘要：本发明涉及一种纳米级厚度极化铁电薄膜及其正压电系数d33的测试方法，直接采用上电极压盖到薄膜上的方式，然后引线加电压对薄膜成功进行极化，避免了直接在薄膜上蒸镀电极对薄膜的破坏。本发明可以稳定有效测试出最薄可达2 nm压电薄膜的宏观的正压电系数d33；对于纳米级厚度超薄薄膜，可以在不生长上电极的情况下进行极化和压电系数d33测试。相比于传统的测试方法，本发明拓宽了压电薄膜的可测试厚度范围，降低了压电薄膜测试对电极的依赖。
一种纳米厚度极化薄膜及其压电系数 base sub 33

[发明专利]一种高通量高压极化装置-CN202110367739.6有效
发明人：方辉 -专利权人：武汉佰力博科技有限公司
申请日： 2021-04-06 - 公布日： 2023-07-18 - 主分类号： H10N30/045 文献下载
摘要：本发明公开了一种高通量高压极化装置，包括框架、至少一个第一极化探针、夹持组件、至少一个第二极化探针及驱动组件，第一极化探针固定于框架；夹持组件包括固定件和至少一个夹持件，夹持件包括间隔设置于固定件的两个导电弹片，两个导电弹片用于夹持待极化的材料；第二极化探针连接于固定件并与待极化的材料电连接；驱动组件连接于固定件，用于驱动固定件、导电弹片及待极化的材料向靠近第二极化探针的方向移动，并使得待极化的材料与第一极化探针电连接。本发明能便捷的夹持待极化的材料。
一种通量高压极化装置

[发明专利]Fe插层氧化石墨烯二维可调铁电极化材料结构设计方法-CN202110935605.X有效
发明人：耿晨铎;仲崇贵;张诗俊;董正超 -专利权人：南通大学
申请日： 2021-08-16 - 公布日： 2023-07-14 - 主分类号： H10N30/045 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于Fe插层氧化石墨烯二维可调铁电极化材料结构设计，其设计方案包括：基材选取‑插层极化结构设计‑极化翻转所需的能量‑应变的使用‑极化处理，其中，氧化石墨烯实现铁电信息存储的简单结构，不仅维度低，尺度小，而且翻转极化所需要外加电场小；不同于其他二维材料中的铁电极化躺在平面内，该结构的铁电极化垂直于单层薄膜表面，外加电场容易读写数据；本发明的结构设计简单、操作方便，易于加工，可大大提高集成度等优点，且随着应变一定范围内的增大，实现铁电信息存储的所需的外电场可以更小，具有非常可观的应用前景。
fe 氧化石墨二维可调极化材料结构设计方法

[发明专利]一种压电材料的极化系统及其极化方法-CN201910902887.6有效
发明人：沈意平;刘翊;周剑;蒋帅;杨大炼;段辉高;黄贵励 -专利权人：湖南科技大学
申请日： 2019-09-24 - 公布日： 2023-07-11 - 主分类号： H10N30/045 文献下载
摘要：本发明公布了一种压电材料的极化系统及其极化方法，包括机架、极化环境调节模块、压电材料传送模块、数字化综合控制系统；极化环境调节模块设置极化室，极化室内设置有放置压电材料样品的极化载具、极化环境的温度检测与调节系统、绝缘媒质预热与定量供给系统以及多组电极板；压电材料传送模块包括输送极化载具的带传送装置；数字化综合控制系统包括极化电场数字化控制模块、温度数字化控制模块以及与压电材料传送模块上伺服电机电连的传送速度数字化控制模块。极化系统的极化方法使得压电材料进行批量分步极化处理，并实时储存和反馈极化过程参数，实现自动化生产，改善材料极化性能，提高工作效率。
一种压电材料极化系统及其方法

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