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- [发明专利]带有无铝限制层的埋脊半导体激光器-CN00808789.X无效
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扎哈·冯恩
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康宁股份有限公司
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2000-05-16
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2002-06-26
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H01S5/223
- 埋脊半导体二极管激光器最好基于GaAs和AlGaAs族的材料。较薄的上包层被无铝蚀刻截止层和无铝限制层覆盖,较佳的为GaInP,为相对于上包层的反向电导型。在限制层中形成沟槽,延伸至蚀刻截止层。在孔中再次形成额外的AlGaAs,以形成埋脊。在再次形成期间,在底部和孔的两边上都没有铝暴露。限制层最好是符合AlGaAs的点阵。较薄的蚀刻截止层最好具有与夹住它的AlGaAs相同的电导型和相同的带隙。对于产生较短波长辐射的激光器,要增加AlGaAs包层的铝含量,并将一些铝加入限制层,但是少于包层。
- 有无限制半导体激光器
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