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[实用新型]可在槽内填充氮气的库特勒湿法刻蚀新型盖板-CN201220660383.1有效
发明人：许成德;陈冬维;肖培玉;闵祥波 -专利权人：江苏中宇光伏科技有限公司
申请日： 2012-12-05 - 公布日： 2013-05-15 - 主分类号： C23F1/08 文献下载
摘要：本实用新型公开了可在槽内填充氮气的库特勒湿法刻蚀新型盖板，包括蚀刻槽以及抽风管道,蚀刻槽内设有溶液，所述抽风管道为四根,并且相邻两抽风管道之间相互呈高低错位,各抽风管道的管道口处于同一水平面,还包括填充管道,填充管道设置在盖板上。比之单纯的四管道的库特勒湿法刻蚀新型盖板，本实用新型更具有控制方块电阻均匀性的功能。
填充氮气库特勒湿法刻蚀新型盖板

[发明专利]用于对基板的表面喷洒的设备以及方法-CN201180017782.4无效
发明人：马库斯·朗 -专利权人：沃尔夫冈·单巴赫
申请日： 2011-03-31 - 公布日： 2013-05-08 - 主分类号： C23F1/08 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于对基板的表面喷洒的设备，其中，该设备具有至少一个用于输送流体到待处理的基板的表面上的第一喷嘴并且该第一喷嘴以与基板的第一间距来布置，其中，至少一个第二喷嘴以与基板的第二间距来布置，并且第二间距与第一间距的比在0.1至0.8的范围内，其中，最多有第一体积流量的流体能够通过至少一个第一喷嘴，并且最多有第二体积流量的流体能够通过至少一个第二喷嘴，其中，第二体积流量与第一体积流量的比在0.005至0.5的范围内。
用于表面喷洒设备以及方法

[发明专利]蚀刻方法及蚀刻装置-CN201210382207.0有效
发明人：秋山政宪;松尾达彦 -专利权人：开美科技股份有限公司
申请日： 2012-10-10 - 公布日： 2013-04-17 - 主分类号： C23F1/08 文献下载
摘要：一种蚀刻方法，具备：第1蚀刻工序，将蚀刻液从一流体喷嘴（20）喷射而喷附于蚀刻对象物（1）的蚀刻对象面，从而将蚀刻对象面蚀刻；以及第2蚀刻工序，将蚀刻液与气体混合后从二流体喷嘴（30）喷射，将蚀刻液喷附于在第1蚀刻工序中被蚀刻后的蚀刻对象面，从而将蚀刻对象面进一步蚀刻。在第2蚀刻工序中，将与第1蚀刻工序相比液滴微小的蚀刻液以比第1蚀刻工序强的冲击力喷附于蚀刻对象面。
蚀刻方法装置

[实用新型]用于牙种植体的酸蚀系统装置-CN201220531311.7有效
发明人：欧阳江林;孙学通;陈贤帅 -专利权人：广州中国科学院先进技术研究所
申请日： 2012-10-17 - 公布日： 2013-04-17 - 主分类号： C23F1/08 文献下载
摘要：本实用新型公开用于牙种植体的酸蚀系统装置，包括机架、安装在机架中部且上端敞口的酸蚀槽、将酸蚀槽密封的槽盖以及夹具，夹具穿过槽盖后伸入酸蚀槽内，酸蚀槽上方还安装有酸液添加装置和与酸蚀槽内部连通的酸蒸汽冷凝回流管，酸蚀槽下方安装有废液收集装置，酸蚀槽内还安装有加热装置，槽盖的下端面安装有超声波清洗器。通过设置酸蚀槽以及将酸蚀槽密封的槽盖，形成封闭空间，并在封闭的空间内设置一个超声波清洗器，还设置有与酸蚀槽内部连通的酸液添加装置、酸蒸汽冷凝回流管以及废液收集装置，这样，集酸蚀液配制、酸蚀处理、工件超声清洗以及废汽、废液后处理于一体，实现了密闭条件下进行酸蚀处理。本实用新型可适用于牙种植体酸蚀处理中。
用于种植系统装置

[实用新型]一种改善刻蚀水膜均匀度的装置-CN201220489669.8有效
发明人：蔡晓晨;刘洪伟;王敬蕊 -专利权人：国电光伏（江苏）有限公司
申请日： 2012-09-24 - 公布日： 2013-04-10 - 主分类号： C23F1/08 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种改善刻蚀水膜均匀度的装置，该装置包括传送带、塑胶辊和电机，所述塑胶辊设置在传送带上方，塑胶辊两端设有支架，所述电机设置在所述塑胶辊的一端用于驱动塑胶辊转动。本实用新型结构简单，设置在喷水器后，可以使水膜均匀得覆盖在硅片表面，改善水膜均匀度，进而避免硅片边缘过刻。
一种改善刻蚀均匀装置

[发明专利]刻蚀设备中的摆动装置和刻蚀设备-CN201210544605.8有效
发明人：王其辉;于凯;白忠飞;李伟;宋泳珍;陈程;吴蒙 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司;北京京东方显示技术有限公司
申请日： 2012-12-14 - 公布日： 2013-04-03 - 主分类号： C23F1/08 文献下载
摘要：本发明提供的刻蚀设备中的摆动装置和刻蚀设备，其中，摆动装置包括用于传递驱动力的连杆机构以及用于容纳连杆机构的壳体，连杆机构包括与驱动电机的输出轴连接的第一螺杆以及与第一螺杆通过螺帽连接的第二螺杆，摆动装置还包括固定于第一螺杆上的标示装置以及用于检测标示装置的位置的传感器，传感器与警示设备电连接。本发明的刻蚀设备，包括本发明的刻蚀设备中的摆动装置。本发明的刻蚀设备中的摆动装置利用传感器检测第一螺杆位置的变化，以此监测螺帽是否松动，避免因壳体被带动、破坏而影响摆动装置的正常工作。本发明的刻蚀设备，因为安装了本发明的刻蚀设备中的摆动装置，其安全性得到进一步加强。
刻蚀设备中的摆动装置

[实用新型]一种酸蚀系统装置-CN201220492305.5有效
发明人：欧阳江林;孙学通;陈贤帅 -专利权人：广州中国科学院先进技术研究所
申请日： 2012-09-25 - 公布日： 2013-04-03 - 主分类号： C23F1/08 文献下载
摘要：本实用新型公开了以后总酸蚀系统装置，其包括机架、安装在机架中部且上端敞口的酸蚀槽、将酸蚀槽密封的槽盖以及夹具，夹具穿过槽盖后伸入酸蚀槽内，酸蚀槽上方还安装有酸液添加装置和与酸蚀槽内部连通的酸蒸汽处理器，酸蚀槽下方安装有废液收集装置，酸蚀槽内还安装有加热装置，槽盖的下端安装有超声波清洗器。通过设置酸蚀槽和将酸蚀槽密封的槽盖，形成封闭的空间，并在封闭的空间内设置一个超声波清洗器，还设置有与酸蚀槽内部连通的酸液添加装置、酸蒸汽处理器以及废液收集装置，这样，集酸蚀液配制、酸蚀处理、工件超声清洗以及废汽、废液后处理于一体，实现了密闭条件下进行酸蚀处理。本实用新型可适用于牙种植体以及医用螺钉等小工件酸蚀处理中。
一种系统装置

[发明专利]一种控制钛合金深度化铣均匀性的装置-CN201110269584.9无效
发明人：王辉;段序军;张春刚;赵永岗;钱本实 -专利权人：沈阳黎明航空发动机（集团）有限责任公司
申请日： 2011-09-14 - 公布日： 2013-03-27 - 主分类号： C23F1/08 文献下载
摘要：一种控制钛合金深度化铣均匀性的装置，包括吊挂横梁，支架，小传动齿轮，外传动齿轮，传动轴，中传动齿轮，大传动齿轮，横梁，夹具，可抽出中轴，支撑板，底固定梁；其中：吊挂横梁安装在支架上，外传动齿轮安装在传动轴前端，小传动齿轮安装在传动轴上，中传动齿轮与小传动齿轮啮合，零件通过夹具安装在可抽出中轴上，中轴通过卡槽与大传动齿轮链接互动，底固定梁安装在支撑板的下部。本发明的优点：具有良好的耐强酸腐蚀性能，在该化铣溶液中可工作15小时且不发生失效，不腐蚀，不污染化铣槽液，装置结构简单，强度高，速度、方向可调，可持续转动，造价低，满足化铣工艺要求，从而保证了产品质量。
一种控制钛合金深度均匀装置

[实用新型]一种具有水膜铺开功能的湿法刻蚀机-CN201220362057.2有效
发明人：王虎;靳建光;蔡钟明;邱小永 -专利权人：浙江贝盛光伏股份有限公司
申请日： 2012-07-25 - 公布日： 2013-03-27 - 主分类号： C23F1/08 文献下载
摘要：本实用新型属于太阳能电池生产制造领域，具体涉及一种可将水膜完全铺开覆盖在“N”型硅片表面的湿法刻蚀机，包括刻蚀机台和位于刻蚀机台上方的喷水装置，在刻蚀机台上方喷水装置的一侧设置有用于吹开由喷水装置喷淋到刻蚀机台上传送的硅片上表面的水膜的吹风装置。所述吹风装置位于所述喷水装置硅片传送方向的一侧。所述吹风装置包括相互连接的送气管和出气头，所述出气头上设置有朝向硅片的喷气孔。硅片通过刻蚀机台传送过程中，喷水装置将水膜喷到硅片表面，再经吹风装置吹出的气流准确的加速水膜的扩散，确保水膜完全覆盖硅片表面。
一种具有铺开功能湿法刻蚀

[发明专利]蚀刻装置及蚀刻工艺-CN201210457789.4有效
发明人：冀卫荣;林琼辉;冉彦祥 -专利权人：东莞市五株电子科技有限公司
申请日： 2012-11-14 - 公布日： 2013-03-20 - 主分类号： C23F1/08 文献下载
摘要：一种蚀刻装置，用于蚀刻电路板，包括喷淋装置、红外线感应器、控制器和传送轨道，所述喷淋装置垂直于所述传送轨道的传送方向并设置在所述传送轨道的上方，所述控制器通过导线分别与所述喷淋装置和所述红外感应器连接，所述喷淋装置包括多个喷淋单元，每个所述喷淋单元包括喷淋管和多个喷淋头，所述喷淋头均匀设置在所述喷淋管的底面，所述喷淋管的喷淋量变化为开始喷淋—逐渐递增—停止递增—逐渐递减—结束喷淋。本发明还提供了采用所述蚀刻装置的蚀刻工艺，本发明的蚀刻装置及蚀刻工艺具有蚀刻效果均匀的优点。
蚀刻装置工艺

[实用新型]一种模具喷淋蚀纹机-CN201220251525.9有效
发明人：任志同 -专利权人：模德模具（东莞）有限公司
申请日： 2012-05-31 - 公布日： 2013-02-27 - 主分类号： C23F1/08 文献下载
摘要：本实用新型涉及模具蚀纹生产设备技术领域，尤其涉及一种模具喷淋蚀纹机，它包括药水池、机架、药水槽、喷淋装置，所述药水槽安装于所述机架，药水槽上方放置有模具，药水池位于药水槽下方，药水槽连接有循环管，循环管下端伸入所述药水池，所述喷淋装置的一端连接所述药水池，喷淋装置的另一端设置于模具上方。采用上述结构的一种模具喷淋蚀纹机，其腐蚀速度快，生产效率高，腐蚀效果好。
一种模具喷淋蚀纹机

[实用新型]一种具有计量功能的蚀刻机-CN201220364501.4有效
发明人：孙斌 -专利权人：无锡科睿坦电子科技有限公司
申请日： 2012-07-25 - 公布日： 2013-02-20 - 主分类号： C23F1/08 文献下载
摘要：本实用新型公开一种具有计量功能的蚀刻机，包括蚀刻机主体以及设置在蚀刻机主体出料口的收料辊筒，所述收料辊筒与蚀刻机出料口之间设置有出料尺寸计量装置；通过在出料口设置计量装置，可以及时观察计量到产品在生产过程中的损耗量，提供准确的合格率。
一种具有计量功能蚀刻

[实用新型]一种蚀刻装置-CN201220330125.7有效
发明人：李晋峰;车世民;陈臣 -专利权人：北大方正集团有限公司;珠海方正科技高密电子有限公司
申请日： 2012-07-06 - 公布日： 2013-02-20 - 主分类号： C23F1/08 文献下载
摘要：本实用新型公开一种蚀刻装置，所述装置包括蚀刻槽和设于所述蚀刻槽中的喷嘴，其中，所述蚀刻槽用于容置待蚀刻的覆铜板，所述喷嘴用于向所述覆铜板喷淋蚀刻药液，所述蚀刻装置还包括风嘴；所述风嘴朝向蚀刻槽的下方设置，用于向蚀刻槽容置的覆铜板吹出气体。采用本实用新型提供的蚀刻装置进行的蚀刻工艺，能够在工艺过程中吹动位于覆铜板上的蚀刻药液，使覆铜板上的蚀刻药液向其两侧流动，使得覆铜板中央区域的蚀刻的线路与周边区域蚀刻的线路更加均匀，提高蚀刻质量，并且能够加快反应速率，减少毛边产生，降低短路可能性，相对于现有技术更容易达到密集电路的线宽和线距的制作要求，生产良率高，从而降低了生产成本。
一种蚀刻装置

[实用新型]一种湿刻设备-CN201220397991.8有效
发明人：赵德江;张玉军;崔伟;祝杰 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司
申请日： 2012-08-10 - 公布日： 2013-02-13 - 主分类号： C23F1/08 文献下载
摘要：本实用新型实施例提供一种湿刻设备，包括：喷头本体；所述喷头本体的第一端具有用于进行机械固定的螺纹部分；所述喷头本体的第二端具有一个凹槽；贯通所述喷头本体的用于输送刻蚀药液的导流道，所述导流道的末端位于所述凹槽中；所述导流道的末端具有一喷射孔。螺纹部分用于固定喷嘴，喷头本体是喷射药液的主要区域，这种结构保证了喷射药液所形成的液面为近似矩形，有效的增大了喷射的面积，减少了在刻蚀过程中药液的使用量，保证了刻蚀的效果，提高了刻蚀的速度。
一种设备

[实用新型]新型腐蚀机-CN201220271264.7有效
发明人：赵建梁 -专利权人：镇江华印电路板有限公司
申请日： 2012-06-08 - 公布日： 2013-02-13 - 主分类号： C23F1/08 文献下载
摘要：一种新型腐蚀机，包括腐蚀剂管道及对应腐蚀剂管道设置并用以承载线路板的承载台，所述腐蚀剂管道上设有向承载台延伸的延伸管，所述延伸管的末端设置有喷头，由于设置的延伸管使喷头能够更靠近承载台，在对承载台上的线路板喷洒腐蚀剂时，能够加强腐蚀剂的交换，提高腐蚀均匀性。
新型腐蚀