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[发明专利]一种动态调整安全研磨时间限的方法-CN201610993680.0有效
发明人：吴科;同小刚;文静;张传民 -专利权人：上海华力微电子有限公司
申请日： 2016-11-09 - 公布日： 2018-06-26 - 主分类号： B24B37/005 文献下载
摘要：本发明提供了一种动态调整安全研磨时间限的方法，包括：第一步骤：获取经验安全时间下限TLCL和为经验安全时间上限TUCL；第二步骤：根据长期研磨速率均值求得基准研磨速率RR；第三步骤：根据控挡片监测获得控挡片研磨速率及APC反馈获得实时研磨速率RRi；第四步骤：获取当前批次前a个批次的研磨速率RRi‑、…1、RRi‑a；第五步骤：根据实际反馈调整反馈强度获取反馈比例系数k；第六步骤：计算实时研磨速率批次的批数a；第七步骤：根据第一公式计算实时安全时间下限TLCLi：TLCLi＝TLCL‑k*TLCL*[(RRi+RRi‑1+…+RRi‑a)/(a+1)‑RR]/RR。
研磨反馈动态调整时间下限安全挡片比例系数公式计算强度获取时间上限监测

[实用新型]一种可以实现无级变速的研磨抛光装置-CN201721461854.5有效
发明人：文东辉;邹一岚;陈珍珍;杨杰;洪滔 -专利权人：浙江工业大学
申请日： 2017-11-06 - 公布日： 2018-06-01 - 主分类号： B24B37/005 文献下载
摘要：一种可以实现无级变速的研磨抛光装置，包括上研磨装置和下研磨装置，所述上研磨装置由龙门架、二维线性丝杠滑台和无级变速机构，所述下研磨装置包括安装座和研磨盘，所述无级变速机构包括输入电机、无级变速机构和工件盘，所述上研磨装置通过龙门架安装在下研磨装置上，所述工件盘位于研磨盘的上方且相互平行；所述无级变速装置通过滑台安装座安装在二维线性丝杠滑台上；无级变速机构包括机架、摩擦传动轮组件、长滑键轴和丝杠滑块调节器，其中一端的圆锥滚轮的转轴与输入电机的输入轴连接，其中一端的长滑键轴与工件盘连接。本实用新型结构简化、成本低廉，简单实现无级变速，对研磨抛光中不同速度下的工件表面质量的研究有一定的意义。
研磨装置无级变速机构无级变速工件盘研磨抛光装置二维线性输入电机安装座滑键轴龙门架丝杠滑研磨盘无级变速装置本实用新型摩擦传动轮工件表面结构简化丝杠滑块研磨抛光圆锥滚轮调节器输入轴滑台转轴平行研究

[发明专利]机械研磨机台异常侦测仪及侦测方法、机械研磨机台-CN201610969556.0在审
发明人：孙鹏;夏林华;赵雪峰;田国军;周维娜 -专利权人：中芯国际集成电路制造（上海）有限公司;中芯国际集成电路制造（北京）有限公司
申请日： 2016-10-28 - 公布日： 2018-05-11 - 主分类号： B24B37/005 文献下载
摘要：本发明提供了一种机械研磨机台异常侦测仪及侦测方法、机械研磨机台，设置有噪声传感器、数模转换单元、存储分析单元、反馈单元以及控制单元，噪声传感器实时采集机台运行的噪音的音频信号，数模转换单元将所述音频信号转化为数字信号，存储分析单元对所述数字信号进行存储并进行频谱分析，提取单位时间内的振幅图谱和波形图谱，并根据所述振幅图谱和频率图谱分析音频信号是否存在异常，反馈单元向所述控制单元反馈异常的音频信号，控制单元根据异常的音频信号进行异常处理，从而对机台异常进行实时有效的监测，及时侦测机台发生的异常状况，从而提高了机台的研磨效率。
机械研磨机台异常侦测方法

[发明专利]一种化学机械抛光研磨速率的实时侦测装置及其侦测方法-CN201711242825.4在审
发明人：陈智 -专利权人：上海华力微电子有限公司
申请日： 2017-11-30 - 公布日： 2018-05-04 - 主分类号： B24B37/005 文献下载
摘要：本发明公开了一种化学机械抛光研磨速率的实时侦测装置，包括底座、固定于底座上表面的研磨垫和设置于所述研磨垫上方的研磨垫修整器，所述研磨垫修整器包括修整头、与修整头连接的修整器摇臂和与所述修整器摇臂连接的修整器转轴，还包括一小研磨头；一检测窗；一激光光源；一激光探测器。以及一种采用本发明的化学机械抛光研磨速率的实时侦测装置的实时侦测方法。本发明利用小晶圆结合终点检测的方法测量研磨速率，可在生产的过程中研磨或修整研磨垫时测量速率，避免停机测量对产能的浪费，而且测量的速率可用于下一片即将研磨的产品片，滞后较小，所测速率更能准确反映实际产品片速率的快慢，从而得到准确的研磨时间和厚度。
一种化学机械抛光研磨速率实时侦测装置及其方法

[实用新型]一种晶片智能控制研磨装置-CN201721336372.7有效
发明人：李直荣 -专利权人：马鞍山荣泰科技有限公司
申请日： 2017-10-17 - 公布日： 2018-05-04 - 主分类号： B24B37/005 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种晶片智能控制研磨装置，所述装置包括机架、升降臂、连接臂、安装臂、下压平台、研磨台，所述机架的一侧面垂直安装有升降臂，在升降臂的中间段和连接臂固定连接，连接臂和安装臂固定连接，安装臂的上方安装有手柄，安装臂的中间设置有花键转轴，花键转轴安装有下压平台，下压平台和研磨台接触配合，研磨台安装在安装座上，研磨台的上表面设置有磨盘。本实用新型的优点是通过PLC控制器控制驱动电机的转速，方向控制升降臂的升降，以及下压平台对行星轮片的磨合压力，实现不同加工需求的控制，提高产品质量。
一种晶片智能控制研磨装置

[发明专利]一种碳刷曲面研磨数控机床的控制电路-CN201711396961.9在审
发明人：皇丰辉;柳彬;姚川;夏元;袁辉辉;苏文印;曾祥孔 -专利权人：武汉华海通用电气有限公司
申请日： 2017-12-21 - 公布日： 2018-04-24 - 主分类号： B24B37/005 文献下载
摘要：本发明属于数控机床控制技术领域，公开了一种碳刷曲面研磨数控机床的控制电路，包括传感器、PLC控制器、主轴电机变频器、步进电机驱动器和辅助电源；传感器设置在研磨主轴上，用于检测研磨主轴的位置；PLC控制器用于根据传感器信号以及接收的操控信号生成驱动控制脉冲；步进电机驱动器用于根据驱动控制脉冲控制步进电机运转带动研磨刀具平移；主轴电机变频器用于根据接收的启停信号控制主轴电机运转带动研磨刀具旋转；辅助电源用于接入外部交流电源为主轴电机变频器、PLC控制器供电，并用于将外部接入的交流电源转换为24V直流电源为步进电机驱动器供电；在该控制电路的控制下实现对碳刷的自动定位及研磨路径控制，显著提高加工精度，且在操控性方面具有显著优化。
一种碳刷曲面研磨数控机床控制电路

[实用新型]一种用于可变形研磨抛光盘表面曲率监测的装置-CN201721178942.4有效
发明人：刘佩伟;黄仕康;王碧浪 -专利权人：上海怀德机电有限公司
申请日： 2017-09-14 - 公布日： 2018-04-20 - 主分类号： B24B37/005 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于可变形研磨抛光盘表面曲率监测的装置，包括基盘，所述基盘上设置研磨抛光盘，所述研磨抛光盘上设置在线磨盘平整度检测装置，所述基盘、研磨抛光盘之间形成磨盘与基盘间隙，所述磨盘与基盘间隙的外侧设置大密封圈；所述基盘的下方设置基盘支轴，所述基盘支轴的中部设置中心轴，所述中心轴的两端分别设置上轴承、下轴承，所述中心轴的上部设置传感器，所述传感器上设置传感器探头，所述传感器的外侧设置真空腔，所述真空腔的下方设置小密封圈，所述真空腔通过设置在基盘内的真空导孔连接磨盘与基盘间隙；可有效消除和减轻用于监测和控制盘面形常规设备和工艺的某些缺点，减少熟练工人依赖。
一种用于变形研磨抛光表面曲率监测装置

[发明专利]一种化学机械研磨方法-CN201610886288.6在审
发明人：唐强;孙涛 -专利权人：中芯国际集成电路制造（上海）有限公司;中芯国际集成电路制造（北京）有限公司
申请日： 2016-10-11 - 公布日： 2018-04-17 - 主分类号： B24B37/005 文献下载
摘要：本发明提供一种化学机械研磨方法，用于抛光金属钨，所述方法包括以下步骤提供待研磨晶圆；第一研磨台的研磨液供应管提供金属钨研磨液对所述晶圆进行研磨；第二研磨台的研磨液供应管提供金属钨研磨液对所述晶圆进行研磨，其中，至少所述第一研磨台和/或所述第二研磨台的研磨液供应管还提供氧化物研磨液。根据本发明的研磨方法，可以减少总的研磨液消耗量，节约时间，提高生产效率，进而提高产品的产量和设备的正常运行时间、降低成本，提高研磨效率和非均一性，提高产品良率，减少W‑CMP中的钨插塞损坏。
一种化学机械研磨方法

[发明专利]一种碎屑粉碎的宝石研磨成型机-CN201711134844.5在审
发明人：刘永红 -专利权人：刘永红
申请日： 2017-11-16 - 公布日： 2018-04-13 - 主分类号： B24B37/005 文献下载
摘要：本发明涉及一种碎屑粉碎的宝石研磨成型机，包括机架、数控系统、研磨系统和驱动系统，数控系统、驱动系统和研磨系统均置于机架的上端，数控系统通过导线与驱动系统连接，驱动系统与研磨系统连接；所述机架上设置有抽风机和超声波发生器，所述抽风机处于所述研磨系统的一侧；所述超声波发生器处于所述研磨系统的另一侧，所述抽风机和超声波发生器通过同一声控开关与外部电源连接。相对现有技术，本发明通过声音控制声控开关进行导通，外部电源同时向抽风机和超声波发生器，超声波发生器能产生超声波，对研磨过程中的碎屑进行震碎，使得碎屑结构更小；同时抽风机进行抽风，将碎屑进行抽吸，除尘效率高，保障研磨精度。
一种碎屑粉碎宝石研磨成型

[发明专利]一种研磨设备-CN201711331784.6在审
发明人：邹鸳明;邹海林 -专利权人：江西佳鼎光电科技有限公司
申请日： 2017-12-13 - 公布日： 2018-04-13 - 主分类号： B24B37/005 文献下载
摘要：本发明公开了一种研磨设备，属于镜片加工领域，研磨设备包括研磨装置、第一固定装置、第二固定装置、第一气缸、第二气缸以及控制器。本发明公开的研磨设备能够实现每次同时研磨两个镜片，提高生产效率，而且还能实现对镜片的对位固定，减少镜片的位置偏差，提高研磨质量。
一种研磨设备

[实用新型]基于粘弹性材料研抛的六维力测力装置-CN201721189780.4有效
发明人：谷岩;周岩;林洁琼;孙慧岩;孙建波;卢发祥;郭海龙;王畅;张阔;贯昌玉 -专利权人：长春工业大学
申请日： 2017-09-17 - 公布日： 2018-04-06 - 主分类号： B24B37/005 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种基于粘弹性材料研抛的六维力测力装置，属于超精密加工及复杂光学零件加工测控技术领域。带有粘弹性材料层的研抛头装在卡簧中，卡簧装在弹性主体前端的凹槽内，卡簧与弹性主体前端的凹槽内壁贴合接触，并将内螺纹紧固帽靠螺纹连接在弹性主体前端，并联的力敏装置预紧在弹性主体上，并装卡在弹性主体四周呈正四边形分布的凹槽内，外套筒与弹性主体由套筒预紧螺钉连接，下盖与弹性主体通过下盖预紧螺钉连接，传出部分悬浮在下盖、接触环圈与外套筒的准闭合空间内。优点是能够实现在线精密测量，耦合程度小，横向力干扰小，可实时准确地精密测量六维力且安装拆卸方便。
基于粘弹性材料六维力测力装置

[发明专利]一种可以实现无级变速的研磨抛光装置-CN201711077662.9在审
发明人：文东辉;邹一岚;陈珍珍;杨杰;洪滔 -专利权人：浙江工业大学
申请日： 2017-11-06 - 公布日： 2018-03-23 - 主分类号： B24B37/005 文献下载
摘要：一种可以实现无级变速的研磨抛光装置，包括上研磨装置和下研磨装置，所述上研磨装置由龙门架、二维线性丝杠滑台和无级变速装置，所述下研磨装置包括安装座和研磨盘，所述无级变速装置包括输入电机、无级变速机构和工件盘，所述上研磨装置通过龙门架安装在下研磨装置上，所述工件盘位于研磨盘的上方且相互平行；所述无级变速装置通过滑台安装座安装在二维线性丝杠滑台上；无级变速机构包括机架、摩擦传动轮组件、长滑键轴和丝杠滑块调节器，其中一端的圆锥滚轮的转轴与输入电机的输入轴连接，其中一端的长滑键轴与工件盘连接。本发明结构简化、成本低廉，简单实现无级变速，对研磨抛光中不同速度下的工件表面质量的研究有一定的意义。
一种可以实现无级变速研磨抛光装置

[发明专利]一种智能化的阀门研磨机及控制方法-CN201711141878.7在审
发明人：黄欣;毛华超 -专利权人：黄欣
申请日： 2017-11-17 - 公布日： 2018-03-23 - 主分类号： B24B37/005 文献下载
摘要：本发明公开了一种智能化的阀门研磨机及控制方法。在传统阀门研磨机的研磨机构的基础上，增设了控制装置、触摸屏、力传感器、加力电机及电机控制器、以及与加力电机配合的丝杠副，实现对研磨机构的加力控制以及工况监测。通过触摸屏、控制装置控制加力电机带动研磨机构位置的调整，减轻人员劳动强度。通过力传感器对研磨力的采集，实现研磨机研磨力的实时监测，控制装置根据监测数据向阀门研磨机发出控制信号，控制研磨力始终保持在最佳的大小，以提高研磨的精度。同时，通过控制程序监测和记录状态，实现装置的自动复位，提示用户更换砂纸等功能，极大提高了阀门研磨机的工作效率，降低阀门研磨机的使用难度。本发明值得推广应用。
一种智能化阀门研磨机控制方法

[实用新型]基板处理装置-CN201720593402.6有效
发明人：权宁奎;赵珳技 -专利权人：凯斯科技股份有限公司
申请日： 2017-05-25 - 公布日： 2018-03-20 - 主分类号： B24B37/005 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种基板处理装置，基板处理装置包括第一研磨部，其对第一基板进行研磨；厚度测定部，其对第一基板的厚度信息进行测定；研磨控制部，其基于第一基板的目标厚度信息和第一基板的研磨后厚度信息间的厚度偏差信息，控制在第一研磨部中对第二基板的研磨，所述第二基板在第一基板之后将要得到处理，据此可得到的有利的效果在于，准确地控制基板的研磨厚度并使得研磨品质提高。
处理装置

[实用新型]基板处理装置-CN201720548901.3有效
发明人：蔡熙成 -专利权人：凯斯科技股份有限公司
申请日： 2017-05-17 - 公布日： 2018-03-20 - 主分类号： B24B37/005 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种基板处理装置，基板处理装置包括研磨平板，其包括金属面；研磨垫，其配置于研磨平板的上面，并且与基板相接触；调节器，其对研磨垫的表面进行改质；涡电流传感器，其设置于调节器，并且从金属面感知涡电流信号；检测部，其根据涡电流传感器所感知的信号对研磨垫的厚度进行检测，据此可得到的有利的效果在于，准确地对研磨垫的厚度进行感知，并且根据研磨垫的状态准确地对基板的研磨及调节条件进行控制。
处理装置