[发明专利]一种高效低损伤金刚石研磨液及其制备方法

权利要求书

1.一种高效低损伤金刚石研磨液，其特征在于，由以下重量份数的原料组成：

金刚石微粉0.5-15份；反应型增稠剂1-10份；减粘流平剂0.1-5份；润滑剂1-20份；消泡剂0.001-0.1份；水：10-90份。

2.如权利要求1所述的高效低损伤金刚石研磨液，其特征在于，所述金刚石微粉为单晶金刚石微粉、类多晶金刚石微粉或多晶金刚石微粉中的一种或几种的混合，金刚石微粉粒度10nm-40um。

3.如权利要求1所述的高效低损伤金刚石研磨液，其特征在于，所述反应型增稠剂由羟基型增稠剂、羧基型增稠剂、功能助剂和水反应获得；具体制备过程为：在50-100℃水浴中，将羟基型增稠剂溶于水中获得羟基型增稠剂溶液，然后加入羧基型增稠剂，溶解均匀，再加入功能助剂搅拌至发泡均匀，最后水浴中保温反应1-12h，取出、冷却至室温，即得。

4.如权利要求3所述的高效低损伤金刚石研磨液，其特征在于，所述羟基型增稠剂为聚乙烯醇、羟乙基纤维素、羧甲基纤维素、羟丙基甲基纤维素、羟丙基纤维素、乙基羟乙基纤维素中的一种或两种以上的混合物。

5.如权利要求3所述的高效低损伤金刚石研磨液，其特征在于，所述羧基型增稠剂为海藻酸盐类、聚丙烯酸类中的一种或两种以上的混合物；所述羟基型增稠剂与羧基型增稠剂的质量比为10：1-1：10。

6.如权利要求3所述的高效低损伤金刚石研磨液，其特征在于，所述功能助剂包含盐类和无机酸，所述盐类为碳酸盐和/或碳酸氢盐，所述无机酸为硫酸、硝酸、磷酸中的一种或两种以上的混合物；功能助剂中盐类与无机酸的质量比为1：5-5：1；所述羟基型增稠剂、羧基型增稠剂的质量之和与功能助剂的质量比为1：10-10：1。

7.如权利要求1所述的高效低损伤金刚石研磨液，其特征在于，所述减粘流平剂为烷醇酰胺类、烷基酚聚氧乙烯醚、聚醚改性硅氧烷类中的一种或其混合物。

8.如权利要求1所述的高效低损伤金刚石研磨液，其特征在于，所述润滑剂为二甘醇、异丙醇、烯丙基乙二醇中的一种或两种以上的混合物。

9.权利要求1至8任一所述高效低损伤金刚石研磨液的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：

1）将水与减粘流平剂均匀混合，形成分散液；

2）搅拌条件下，向分散液中加入金刚石微粉，并利用400-600W超声波辅助分散10-120min，形成金刚石微粉分散液；

3）加入润滑剂和消泡剂，超声搅拌均匀；

4）加入反应型增稠剂，搅拌均匀，即可。