[发明专利]基于线阵相机的载板检测及激光标记系统和方法在审

专利信息
申请号: 202111483564.1 申请日: 2021-12-07
公开(公告)号: CN113884502A 公开(公告)日: 2022-01-04
发明(设计)人: 王莉;陈竣;张文驰;王建刚 申请(专利权)人: 武汉华工激光工程有限责任公司
主分类号: G01N21/88 分类号: G01N21/88;G01N21/95;B41J2/47;B41J3/407;G06K17/00;G06T3/40;G06T7/00
代理公司: 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 代理人: 徐瑛
地址: 430000 湖北省武汉市东湖新技术*** 国省代码: 湖北;42
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摘要:
搜索关键词: 基于 相机 检测 激光 标记 系统 方法
【说明书】:

本发明公开一种基于线阵相机的载板检测及激光标记系统,包括高速运动模块、线阵成像模块、控制模块和激光标记模块;高速运动模块包括X向运动模块和Z向运动模块,X向运动模块用于根据预设的开始拍照信号触发线阵成像模块开始拍照并在移动过程中实时发送运动脉冲给线阵成像模块,Z向运动模块用于移动产品至相机焦点或激光标记焦点;线阵成像模块用于根据X向运动模块发送的运动脉冲拍摄整个载板产品的图像;控制模块用于接收并识别线阵成像模块传入的成像图片,检测图片中的载板缺陷位置并输出检测结果;激光标记模块用于根据检测结果进行激光标记。本发明解决了现有面阵相机与激光标记的生产流程难以满足效率及产品品质要求的问题。

技术领域

本发明属于IC载板加工领域,尤其涉及IC载板加工流程终检中,使用线阵相机进行高速拍照取像,进行视觉算法处理后进行激光标记的一种方法,具体为一种基于线阵相机的载板检测及激光标记系统和方法。

背景技术

在当前的工艺流程上,IC载板在制作过程中有一道名为终检的工艺流程,用以检测载板上每个UNIT里的缺陷标记,并通过激光标记的方式在其中进行标记处理,以防不良品流出。现有的加工方法是使用面阵相机多次移动进行拍摄图片,再将图片拼接成一个整体图片进行视觉处理,最后通过软件算法进行计算激光标记的位置。如公开号CN105372854B的中国专利于2016年3月2日公开的一种液晶模组屏检测设备,其利用工业面阵相机对被测液晶模组屏的点亮画面进行图像采集并将图像传输至工控机进行质量检测。然而,使用面阵相机多次移动取像效率低下,且最后多个位置拍照的图片拼接精度差,难以满足产品的供货需求及产品品质。

随着市场对IC载板的需求越来越多,且对于产品的良品流出率及产品要求也越来越高,现有终检流程中的检测方法难以满足工程应用需求,需要提供新的高效高精度检测方法。

发明内容

为克服上述现有技术的不足,本发明提供一种基于线阵相机的载板检测及激光标记系统和方法,以解决现有面阵相机与激光标记的生产流程难以满足效率及产品品质要求的问题。

根据本发明说明书的一方面,提供一种基于线阵相机的载板检测及激光标记系统,包括高速运动模块、线阵成像模块、控制模块和激光标记模块;所述高速运动模块包括X向运动模块和Z向运动模块,所述X向运动模块用于根据预设的开始拍照信号触发线阵成像模块开始拍照并在移动过程中实时发送运动脉冲给线阵成像模块,所述Z向运动模块用于移动产品至相机焦点或激光标记焦点;所述线阵成像模块用于根据X向运动模块发送的运动脉冲拍摄整个载板产品的图像;所述控制模块用于接收并识别线阵成像模块传入的成像图片,检测图片中的载板缺陷位置并输出检测结果;所述激光标记模块用于根据检测结果进行激光标记。

上述技术方案中,利用Z向运动模块将载板移动至线阵成像模块的焦点,由X向运动模块触发线阵成像模块开始拍照,并在X向运动模块高速运动过程中,实时发送运动脉冲给线阵成像模块,线阵成像模块将每一个脉冲取的像收集并拼接成像,然后通过控制模块对成像图片进行视觉检测得到缺陷位置信息,由Z向运动模块将载板移动至激光标记模块的焦点处,然后由激光标记模块根据检测到的缺陷位置信息进行激光标记。

上述技术方案利用X向运动模块与线阵成像模块的配合,提高了载板产品终检流程的检测效率及检测精度,满足了对载板产品终检及激光标记流程的高效率、高品质的工程应用需求。

进一步地,所述X向运动模块内预设有开始拍照信号,当X向运动模块移动到预设位置时,会触发该开始拍照信号发送至线阵成像模块,使线阵成像模块在收到该信号后开始取像。

作为进一步的技术方案,所述线阵成像模块包括线阵相机和三个条形光源,所述线阵相机设置在平台正上方且垂直于水平面,三个所述条形光源以设定的位置和角度设置在平台上方。该技术方案可使光线更容易聚集在一起,使产品接触的光尽可能的多,提高相机的拍照质量。

作为进一步的技术方案,三个所述条形光源的设置方式进一步包括:第一、第二条形光源相对于线阵相机所在的垂直面对称设置在左右两侧,第三条形光源设置在平台上方右侧。

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