[发明专利]一种光罩高效率清洗工艺在审
| 申请号： | 202110488522.0 | 申请日： | 2021-05-06 |
| 公开（公告）号： | CN113102363A | 公开（公告）日： | 2021-07-13 |
| 发明（设计）人： | 郑永庆;张衡;陈宏渊 | 申请（专利权）人： | 艾斯尔光电（南通）有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/08 | 分类号： | B08B3/08;B08B3/10;B08B1/00;B08B3/02 |
| 代理公司： | 北京权智天下知识产权代理事务所(普通合伙) 11638 | 代理人： | 王新爱 |
| 地址： | 226000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 高效率 清洗 工艺 | ||
【权利要求书】：
1.一种光罩高效率清洗工艺,其特征在于：包括以下步骤：
A、首先将光罩放入碱洗液中浸泡一段时间；
B、之后将光罩从碱洗液中取出，立即放入去离子水中采用流动水冲洗一段时间；
C、之后将光罩取出，放入光罩放置盘内，采用海绵刷刷洗光罩的正面和背面；
D、将刷洗后的光罩采用碱洗液喷淋；
E、将喷淋后的光罩立即放入去离子水中反复冲洗一段时间；
F、最后将光罩放入干燥箱中低温干燥。
2.根据权利要求1所述的一种光罩高效率清洗工艺,其特征在于：所述碱洗液组分按重量份数包括水30-50份、氢氧化钠5-12份、磷酸钾4-10份、三聚磷酸钠3-9份、十三烷基异构醇聚氧乙烯醚8-20份、椰油酸二乙醇酰胺6-12份。
3.根据权利要求1所述的一种光罩高效率清洗工艺,其特征在于：所述步骤A中浸泡时间为10min-20min。
4.根据权利要求1所述的一种光罩高效率清洗工艺,其特征在于：所述步骤B中冲洗时间为8min-16min。
5.根据权利要求1所述的一种光罩高效率清洗工艺,其特征在于：所述步骤D中采用流动水反复冲洗，冲洗次数3-5次，每次冲洗时间为30min-40min，相邻两次间隔时间为1min-2min。
6.根据权利要求1所述的一种光罩高效率清洗工艺,其特征在于：所述步骤F中低温干燥温度为50-60℃，干燥时间为30min-50min。
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