[发明专利]一种激光检气装置

权利要求书

1.一种激光检气装置，其特征在于，包括：激光器(1)、分光元件(2)、具有双参比气体浓度的第一校准气室(3)以及第二校准气室(5)；所述激光器(1)发出的激光经所述分光元件(2)分光后分别入射到所述第一校准气室(3)以及所述第二校准气室(5)，通过双参比气体浓度的所述第一校准气室(3)以及所述第二校准气室(5)对待测气体浓度进行校准。

2.根据权利要求1所述的激光检气装置，其特征在于，所述分光元件(2)为半反半透镜。

3.根据权利要求2所述的激光检气装置，其特征在于，所述半反半透镜倾斜45゜角设置在所述激光器(1)和所述第一校准气室(3)之间；所述半反半透镜的分光比为1:1。

4.根据权利要求3所述的激光检气装置，其特征在于，所述半反半透镜正下方设置一面平面镜(4)，所述平面镜(4)与所述半反半透镜平行设置。

5.根据权利要求4所述的激光检气装置，其特征在于，所述半反半透镜将激光分为透射光和反射光，所述透射光透过所述半反半透镜进入所述第一校准气室(3)；所述反射光经所述平面镜(4)反射后平行于所述透射光，进入所述第二校准气室(5)。

6.根据权利要求5所述的激光检气装置，其特征在于，所述第一校准气室(3)和所述第二校准气室(5)的激光入射口(31)和激光出射口(36)处均设置有准直器(6)。

7.根据权利要求6所述的激光检气装置，其特征在于，还包括第一光电探测器(32)、第二光电探测器(51)以及光电检测及通讯电路(7)；所述第一校准气室(3)以及所述第二校准气室(5)准直后的出射光分别由所述第一光电探测器(32)和所述第二光电探测器(51)接收，转换成光电信号后传输至所述光电检测及通讯电路(7)。

8.根据权利要求1所述的激光检气装置，其特征在于，所述第一校准气室(3)以及所述第二校准气室(5)外形为立方体；所述第一校准气室(3)和所述第二校准气室(5)平行于所述透射光的四个表面均设置有半导体制冷片(35)；在所述第一校准气室(3)和所述第二校准气室(5)的两个侧面靠近底部的位置均安装有温度传感器(33)。

9.根据权利要求1所述的激光检气装置，其特征在于，还包括用于维持供电以及与外界进行通讯的电源及RS485接口(8)。

10.根据权利要求1所述的激光检气装置，其特征在于，还包括包裹在所述激光检气装置外围的金属外壳(9)，在所述金属外壳(9)的四个底脚分别放置四个底座(10)，使其不与放置面接触。