[发明专利]一种热型红外探测器性能测试方法

权利要求书

1.一种热型红外探测器性能测试方法，其特征在于，包括：

S110、将热型红外探测器置于环境温度为T₀的真空环境中；

S120、以恒流源偏置电流I₀为热型红外探测器施加时长为t的自热功率P₀，并记录所述热型红外探测器达到热平衡时的输出电压变化量ΔV₀；

S130、根据所述热型红外探测器达到热平衡时的输出电压变化量-表面温度函数关系计算所述热型红外探测器的表面温度T_c，以及根据所述热型红外探测器达到热平衡时的自热功率-热导函数关系计算所述热型红外探测器的热导值G；

S140、改变所述恒流源偏置电流I₀的大小，重复步骤S120和步骤S130，获得多组不同的热型红外探测器的表面温度和热导值，并拟合建立热型红外探测器的热导-表面温度函数关系；

S150、根据所述热型红外探测器的热导-表面温度函数关系，提取所述热型红外探测器的发射率ε；

S160、根据所述热型红外探测器的发射率-红外吸收率函数关系，提取热型红外探测器的红外吸收率η；

S170、获取热型红外探测器的噪声V_n；

S180、根据热型红外探测器的等效温差-噪声-红外吸收率的函数关系，获得所述热型红外探测器的噪声等效温差NETD；

所述获得多组不同的热型红外探测器的表面温度和热导值，包括：

获得不少于10组不同的热型红外探测器的表面温度和热导值。

2.根据权利要求1所述的热型红外探测器性能测试方法，其特征在于，所述热型红外探测器的表面温度T_c高于环境温度T₀的温差不小于100℃。

3.根据权利要求1所述的热型红外探测器性能测试方法，其特征在于，所述热平衡表示热型红外探测器的自热功率达到恒定，产生的焦耳热与热型红外探测器的散热达到动态平衡的状态。

4.根据权利要求1所述的热型红外探测器性能测试方法，其特征在于，所述热型红外探测器的热导表示包含固体热导和辐射热导的总热导。

5.根据权利要求1所述的热型红外探测器性能测试方法，其特征在于，所述获取热型红外探测器的噪声V_n，包括：

给所述热型红外探测器施加正常工作的偏置源，测得所述热型红外探测器的噪声V_n；

其中所述偏置源包括电压源和电流源，施加的所述偏置源的类型与所述热型红外探测器的类型相关。

6.根据权利要求1所述的热型红外探测器性能测试方法，其特征在于，所述热型红外探测器的类型包括热阻型红外探测器、二极管型红外探测器和热电堆型红外探测器中的任意一种，其中所述热阻型红外探测器、二极管型红外探测器和热电堆型红外探测器均包括薄膜式和谐振腔式两种类型。

7.根据权利要求1所述的热型红外探测器性能测试方法，其特征在于，所述真空环境的真空度不大于0.1Pa。

8.根据权利要求1所述的热型红外探测器性能测试方法，其特征在于，所述自热功率P₀的施加时长t大于或者等于热型红外探测器的时间常数的10倍。

9.根据权利要求1所述的热型红外探测器性能测试方法，其特征在于，

所述热型红外探测器达到热平衡时的输出电压变化量-表面温度函数关系的表达式为：

T_c＝Z(ΔV₀,T₀)；

所述热型红外探测器达到热平衡时的自热功率-热导函数关系的表达式为：

G＝S(P₀,T₀,T_c)；

所述热型红外探测器的热导-表面温度函数关系的表达式为：

G＝F(T_c,T₀)；

所述热型红外探测器的热导-发射率函数关系的表达式为：

ε＝H(G)；

所述的热型红外探测器发射率-红外吸收率函数关系，为：

η＝Q(ε)；

所述热型红外探测器的噪声等效温差-噪声-红外吸收率的函数关系的表达式为：

NETD＝U(V_n,η)。