[发明专利]液晶基板玻璃翘曲度测量方法及系统

说明书

本发明提供一种液晶基板玻璃翘曲度测量方法及系统，属于液晶基板玻璃领域。所述翘曲度测量方法包括：在承载平台上划定工作区域，并在工作区域内划定测量区域；获取工作区域面的三维坐标，所述工作区域面为零面I；基于零面I的三维坐标，确定测量镜头在测量区域面运动的轨迹面的三维坐标，所述轨迹面为零面III；其中所述零面III在三维空间中与零面I平行，且零面III在测量镜头景深H毫米范围内，H0毫米；样片测量过程中，规划测量镜头按所述零面III的三维坐标点运动，实时采集样片上采样点的三维坐标；计算每一采样点到零面III的垂直距离，根据所述垂直距离计算样片的翘曲度值。所述方法可消除零面I的机械误差，使测量结果更准确。

技术领域

本发明涉及液晶基板玻璃领域，具体地涉及一种液晶基板玻璃翘曲度测量方法及一种液晶基板玻璃翘曲度测量系统。

背景技术

翘曲度是评价基板玻璃的一项重要指标，翘曲度的优劣直接反映了生产制程是否稳定可靠，对客户制程工艺也有较大影响。

现有的液晶基板玻璃翘曲度测量方法不能完全排除液晶基板测量装置00级大理石平台面的机械误差，不利于对翘曲度日益严格的要求。且实施一次翘曲度测量，需要将整板样品测量完成后，通过对各测量点进行云计算得到翘曲度值，最后再输出翘曲度值，而不能实时输出翘曲度数值。

发明内容

为解决上述问题，本发明实施方式的目的是提供一种液晶基板玻璃翘曲度测量方法及系统。

为了实现上述目的，本发明第一方面提供一种液晶基板玻璃翘曲度测量方法，基于翘曲度测量装置，所述翘曲度测量装置包括承载平台和激光测量镜头，所述翘曲度测量方法包括：

在承载平台上划定工作区域，并在工作区域内划定测量区域；

获取工作区域面的三维坐标，所述工作区域面为零面I；

基于零面I的三维坐标，确定测量镜头在测量区域面运动的轨迹面的三维坐标，所述轨迹面为零面III；其中所述零面III在三维空间中与零面I平行，且零面III在测量镜头景深H毫米范围内，H0毫米；

样片测量过程中，规划测量镜头按所述零面III的三维坐标点运动，实时采集样片上采样点的三维坐标；

计算每一采样点到零面III的垂直距离，根据所述垂直距离计算样片的翘曲度值。

可选的，所述基于零面I的三维坐标，确定测量镜头在测量区域面运动的轨迹面的三维坐标，所述轨迹面为零面III，包括：

以测量装置的机械原点作为机械零点，建立机械坐标系；

以机械坐标系为基准，建立第一坐标系和第二坐标系，所述第一坐标系和第二坐标系为相对坐标系；

根据所述第一坐标系和第二坐标系在机械坐标系中的位置，建立第一坐标系与第二坐标系的对应关系；

以第一坐标系为测量坐标系，获取零面I在第一坐标系中的三维坐标；

以所述零面I的三维坐标及第一坐标系与第二坐标系的对应关系，计算零面I在第二坐标系中的三维坐标；

将所述零面I在第二坐标系中的所有坐标点，在Z轴方向上增加e毫米，得到零面III在第二坐标系中的三维坐标，其中e0毫米。

可选的，所述机械坐标系、第一坐标系和第二坐标系的对应关系包括：

将所述机械坐标系定义为(x,y,z)，第一坐标系定义为(x1,y1,z1)，第二坐标系定义为(X,Y,Z)，所述第一坐标系与机械坐标系的对应关系为：(x1,y1,z1)＝(x-a,y-b,z-f)，

所述第二坐标系与机械坐标系的对应关系为(X,Y,Z)＝(x-c,y-d,z-f)；