[发明专利]液晶基板玻璃翘曲度测量方法及系统

权利要求书

1.一种液晶基板玻璃翘曲度测量方法，基于翘曲度测量装置，所述翘曲度测量装置包括承载平台和激光测量镜头，其特征在于，所述翘曲度测量方法包括：

在承载平台上划定工作区域，并在工作区域内划定测量区域；

获取工作区域面的三维坐标，所述工作区域面为零面I；

基于零面I的三维坐标，确定测量镜头在测量区域面运动的轨迹面的三维坐标，所述轨迹面为零面III；其中所述零面III在三维空间中与零面I平行，且零面III在测量镜头景深H毫米范围内，H0毫米；

样片测量过程中，规划测量镜头按所述零面III的三维坐标点运动，实时采集样片上采样点的三维坐标；

计算每一采样点到零面III的垂直距离，根据所述垂直距离计算样片的翘曲度值；

所述基于零面I的三维坐标，确定测量镜头在测量区域面运动的轨迹面的三维坐标，所述轨迹面为零面III，包括：

以测量装置的机械原点作为机械零点，建立机械坐标系；

以机械坐标系为基准，建立第一坐标系和第二坐标系，所述第一坐标系和第二坐标系为相对坐标系；

根据所述第一坐标系和第二坐标系在机械坐标系中的位置，建立第一坐标系与第二坐标系的对应关系；

以第一坐标系为测量坐标系，获取零面I在第一坐标系中的三维坐标；

以所述零面I的三维坐标及第一坐标系与第二坐标系的对应关系，计算零面I在第二坐标系中的三维坐标；

将所述零面I在第二坐标系中的所有坐标点，在Z轴方向上增加e毫米，得到零面III在第二坐标系中的三维坐标，其中e0毫米。

2.根据权利要求1所述的翘曲度测量方法，其特征在于，所述机械坐标系、第一坐标系和第二坐标系的对应关系包括：

将所述机械坐标系定义为(x,y,z)，第一坐标系定义为(x1,y1,z1)，第二坐标系定义为(X,Y,Z)，所述第一坐标系与机械坐标系的对应关系为：(x1,y1,z1)＝(x-a,y-b,z-f)，

所述第二坐标系与机械坐标系的对应关系为(X,Y,Z)＝(x-c,y-d,z-f)；

根据第一坐标系与机械坐标系的对应关系和第二坐标系与机械坐标系的对应关系，计算第一坐标系与第二坐标系的对应关系：(X,Y,Z)＝(x1-c+a,y1-d+b,z1)；

计算零面III在第二坐标系中的三维坐标与零面I在第一坐标系中的三维坐标的对应关系为：(X_III,Y_III,Z_III)＝(x1-c+a,y1-d+b,z1+e)；

其中，c≥a，d≥b，f≥0。

3.根据权利要求2所述的翘曲度测量方法，其特征在于，所述规划测量镜头按所述零面III的三维坐标点运动，实时采集样片上采样点的三维坐标，包括：

在测量镜头按所述零面III的三维坐标点运动过程中，以第二坐标系为测量坐标系，分别以X轴和Y轴L毫米为间距，拾取样片上采样点的三维坐标；

所述计算每一采样点到零面III的垂直距离，包括：

对于每一采样点，根据该采样点的三维坐标和零面III对应点的三维坐标，计算该采样点与对应点在Z轴方向的距离W_i，其中，L≥1毫米。

4.根据权利要求3所述的翘曲度测量方法，其特征在于，所述根据垂直距离计算样片的翘曲度值，包括：

在样片测量完成后，根据样片上所有采样点到零面III的垂直距离，计算样片的翘曲度值；或

在样片测量过程中，根据样片上已测区域内的采样点到零面III的垂直距离，实时计算样片上已测区域的翘曲度值，将样片测量完成时计算得到的翘曲度值作为样片的翘曲度值。