[发明专利]一种有机硅/石墨烯热界面材料的制备方法在审

专利信息
申请号: 202110346875.7 申请日: 2021-03-31
公开(公告)号: CN112937065A 公开(公告)日: 2021-06-11
发明(设计)人: 叶振强;曾小亮;李俊伟;张晨旭;张月星;许建斌;孙蓉 申请(专利权)人: 中国科学院深圳先进技术研究院
主分类号: B32B37/12 分类号: B32B37/12;B32B38/00;B32B9/00;B32B9/04;B32B7/12;H01L23/373
代理公司: 北京市诚辉律师事务所 11430 代理人: 范盈;李玉娜
地址: 518055 广东省深圳*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 有机硅 石墨 界面 材料 制备 方法
【权利要求书】:

1.一种有机硅/石墨烯热界面材料的制备方法,其特征在于,所述方法包括以下步骤:

(1)、将石墨膜或石墨烯膜表面一侧涂覆一层粘结剂;

(2)、将硅胶垫与涂覆有粘结剂石墨膜或石墨烯膜的一侧进行贴合;

(3)、将步骤(2)得到硅胶垫样品的一侧的表面涂覆一层粘结剂;

(4)、再将新的石墨膜或石墨烯膜与步骤(3)得到样品进行贴合;

(5)在步骤(4)获得样品的基础上,重复步骤(1)~(3),获得堆叠结构的有机硅/石墨烯热界面材料。

2.根据权利要求1所述的有机硅/石墨烯热界面材料的制备方法,其特征在于,还包括步骤(6),将步骤(5)获得的堆叠结构的有机硅/石墨烯热界面材料样品沿着叠层厚度方向切割成薄片,薄片厚度0.3~3mm。

3.根据权利要求1所述的有机硅/石墨烯热界面材料的制备方法,其特征在于,还包括步骤(7),将步骤(6)获得的获得的薄片样品进行打磨抛光处理。

4.根据权利要求1所述的有机硅/石墨烯热界面材料的制备方法,其特征在于,所述堆叠结构的有机硅/石墨烯热界面材料中石墨膜或石墨烯膜的体积分数为7.4%~40%,优选为17.2%。

5.根据权利要求1所述的有机硅/石墨烯热界面材料的制备方法,其特征在于,所述硅胶垫的厚度为50~200μm,优选为100μm。

6.根据权利要求1所述的有机硅/石墨烯热界面材料的制备方法,其特征在于,所述粘结剂的厚度为5~20μm,优选为10μm。

7.根据权利要求1所述的有机硅/石墨烯热界面材料的制备方法,其特征在于,所述石墨膜或石墨烯膜的厚度为17~40μm,优选为25μm。

8.根据权利要求1所述的有机硅/石墨烯热界面材料的制备方法,其特征在于,所述堆叠结构的有机硅/石墨烯热界面材料的厚度为30mm。

9.根据权利要求1所述的有机硅/石墨烯热界面材料的制备方法,其特征在于,所述切割采用超声切割或者线切割。

10.根据权利要求1所述的有机硅/石墨烯热界面材料的制备方法,其特征在于,所述粘结剂为聚丁二烯、聚甲基丙烯酸甲酯,优选为聚丁二烯。

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