[发明专利]电感与可调滤波器

权利要求书

1.一种电感，其特征在于，包括MEMS多触点开关和共面波导传输结构；

所述共面波导传输结构包括中心信号线以及设置于所述中心信号线两侧的多个支臂；沿所述中心信号线延伸的方向，至少两条直线上设置至少一对所述支臂；在所述MEMS多触点开关闭合时，所述中心信号线和一对中的所述支臂通过所述MEMS多触点开关连接。

2.根据权利要求1所述的电感，其特征在于，所述MEMS多触点开关包括接触片、第一驱动板和第二驱动板；

所述接触片、第一驱动板和第二驱动板均设置有阵列排布的孔；沿第一方向，所述接触片包括第一端和第二端，所述第一驱动板和所述第二驱动板分别设置于所述接触片的两侧，并分别与所述第一端和所述第二端连接；所述第一驱动板和所述第二驱动板能够沿所述第一方向向所述接触片运动；

其中，所述第一方向为所述接触片上阵列排布的孔的行方向。

3.根据权利要2所述的可重构电感，其特征在于，所述MEMS多触点开关还包括第一支撑梁和第二支撑梁；

沿第二方向，所述接触片包括第三端和第四端，所述第一支撑梁和所述第二支撑梁分别设置于所述接触片的两侧；所述第一支撑梁的第一端和所述第二支撑梁的第一端分别与所述第一驱动板连接，所述第一支撑梁的第二端和所述第二支撑梁的第二端分别与所述第二驱动板连接；其中，所述第二方向为所述接触片上阵列排布的孔的列方向。

4.根据权利要求1所述的电感，其特征在于，所述中心信号线的一侧设置有第一支臂和第二支臂，所述中心信号线的另一侧设置有第三支臂和第四支臂；

沿所述中心信号线的延伸方向，所述第一支臂和所述第二支臂位于一条直线上，所述第三支臂和所述第四支臂位于一条直线上；所述第一支臂远离所述第二支臂的一端与所述中心信号线连接，所述第二支臂远离所述第一支臂的一端与所述中心信号线连接，所述第三支臂远离所述第四支臂的一端与所述中心信号线连接，所述第四支臂远离所述第三支臂的一端与所述中心信号线连接。

5.根据权利要求2所述的电感，其特征在于，还包括衬底；

所述共面波导传输结构设置于所述衬底上，所述MEMS多触点开关设置于所述共面波导传输结构远离所述衬底的一侧；沿衬底的厚度方向，所述接触片的正投影与所述共面波导传输结构的所述中心信号线及所述支臂部分交叠。

6.根据权利要求2所述的电感，其特征在于，所述一对中的所述支臂间的间距小于所述接触片沿第一方向上的长度。

7.一种可调滤波器，其特征在于，包括权利要求1-6任一项所述的电感和MEMS电容开关；

所述电感和所述MEMS电容开关连接。

8.根据权利要求7所述的可调滤波器，其特征在于，还包括电容器；

所述电容器的第一端与所述MEMS电容开关连接，所述电容器的第二端接地。

9.根据权利要求7-8任一项所述的可调滤波器，其特征在于，包括输入端、输出端、两个所述电感和三个所述MEMS电容开关；

两个所述电感串联在所述输入端和所述输出端之间，三个所述MEMS电容开关分别与所述输入端、所述输出端和两个所述电感的连接点连接。

10.根据权利要求7所述的可调滤波器，其特征在于，所述MEMS开关电容包括可调膜桥电容。