[发明专利]软模板的拉力检测系统及检测方法

说明书

本发明实施例提供了一种软模板的拉力检测系统及检测方法，所述拉力检测系统包括：固定装置，所述固定装置用于固定软模板；投影装置，所述投影装置用于向所述软模板投射预设的检测图像，其中，所述检测图像覆盖所述软模板；检测装置，所述检测装置用于接收所述软模板反射所述检测图像形成的反射图像，所述反射图像用于分析所述固定装置对所述软模板的拉力。本发明的具有提高软模板的拉力检测准确性的优点。

技术领域

本发明涉及纳米压印技术领域，特别涉及一种软模板的拉力检测系统及检测方法。

背景技术

纳米压印技术是近年来在国际上迅速发展起来的微纳制造技术，以其超高图形精度(亚10nm)、工艺和设备简单、工艺吞吐量高等特点，备受学术界和工业界关注，被认为是下一代低成本、大规模制造纳米结构最有潜力的技术之一。纳米压印技术使用机械压印方式来复制微纳表面结构，根据工艺和使用材料的不同，通常分为热塑纳米压印和紫外固化纳米压印。

在纳米压印生产过程中，进行大面积压印时，普遍需要制作软膜板版，从而通过软膜板版实现压印图像从硬膜版到目标产物之间的转印。传统的软模板一般由夹具及软膜板组成，但是在软膜板装载到夹具的过程中，容易造成软膜板两端拉力不均，软膜板内部松弛等问题，会在后续的纳米压印过程造成纳米压印缺陷甚至纳米压印转印失败的问题。当前，一般通过手指感受夹具对软膜板的拉力，以判断软膜板是否受力均匀，由于不同人的检测标准不同，导致夹具对软膜板的拉力检测存在较大的误差。

发明内容

本发明的主要目的是提供一种软模板的拉力检测系统，旨在解决目前人工检测夹具对软膜板的拉力攒在较大误差的问题。

为实现上述目的，本发明实施例提供一种软模板的拉力检测系统，所述拉力检测系统包括：固定装置，所述固定装置用于固定软模板；投影装置，所述投影装置用于向所述软模板投射预设的检测图像，其中，所述检测图像覆盖所述软模板；检测装置，所述检测装置用于接收所述软模板反射所述检测图像形成的反射图像，所述反射图像用于分析所述固定装置对所述软模板的拉力。

进一步地，所述固定装置包括：固定框，所述固定框用于固定所述软模板至少两个相对的侧边；支架，所述固定框可调节设置于所述支架上。

进一步地，所述投影装置包括：上位机；投影仪，所述投影仪与所述上位机电性连接，所述上位机用于控制所述投影仪向所述软模板投射所述检测图像。

进一步地，所述检测装置包括：幕布，所述幕布所在平面与所述软模板所在平面平行，经所述软模板反射形成的所述反射图像投射至所述幕布上；相机，所述相机用于拍摄所述幕布上的所述反射图像。

进一步地，所述投影仪将所述检测图像倾斜投射至所述软模板上，所述软模板将所述反射图像倾斜投射至所述幕布上，以使所述软模板上的检测图像的中轴线与所述幕布上的反射图像的中轴线不在同一直线上。

进一步地，所述投影仪到所述软模板所在平面的垂直距离为第一距离，所述幕布到所述软模板所在平面的垂直距离为第二距离，所述第二距离大于或者等于所述第一距离。

进一步地，预设的所述检测图像为棋盘格图像。

为实现上述目的，本发明还提供一种软模板的拉力检测方法，应用于如上任一项所述的软模板的拉力检测系统，所述拉力检测方法包括如下步骤：

控制所述投影装置向所述固定装置上的软模板投射预设的检测图像；

通过所述检测装置获取所述软模板反射所述检测图像形成的反射图像；

根据所述反射图像分析所述固定装置对所述软模板的拉力。

进一步地，所述控制所述投影装置向所述固定装置上的软模板投射预设的检测图像的步骤之前包括：

将所述软模板安装于所述固定装置上。