[发明专利]核孔膜蚀刻线自反馈联动生产控制装置

权利要求书

1.一种核孔膜蚀刻线自反馈联动生产控制装置，其特征在于包括：

核孔膜蚀刻线本体装置，被配置为完成辐照原膜的蚀刻，所述核孔膜蚀刻线本体装置包括蚀刻槽；

蚀刻液残渣自动处理单元，被配置为对蚀刻液浓度进行监测，并对残渣进行清洗；所述蚀刻液残渣自动处理单元包括浓度传感器、清洗装置、数据采集模块和控制分析单元；

所述浓度传感器设置在蚀刻槽内，用于对蚀刻槽内的蚀刻液浓度实时监测；

所述数据采集模块用于将采集的蚀刻液浓度数据发送到所述控制分析单元；

所述控制分析单元对浓度数据进行分析，如果残渣浓度值超过预设阈值则触发连锁报警，发送信号控制核孔膜蚀刻线本体装置进行紧急制动，停止生产，同时启动所述清洗装置进行残渣的清洗；

所述清洗装置，用于对蚀刻液内残渣进行清洗；

所述清洗装置包括金属网、运动导轨、垂直牵引电机、水平牵引电机和清洗喷头；

所述金属网覆盖在蚀刻槽底部；

所述运动导轨固定连接金属网，用于使所述金属网能够升降和平移；

所述垂直牵引电机和水平牵引电机固定连接所述运动导轨，使所述运动导轨能够进行垂直和水平的运动；

所述清洗喷头，用于清洗所述金属网的蚀刻残渣；其中，

所述垂直牵引电机、水平牵引电机和清洗喷头均通过所述控制分析单元控制启停；蚀刻液温度自动监测与加热单元，被配置为对蚀刻液温度进行监测，通过温度监测与自动加热实现蚀刻液温度平衡；

蚀刻膜孔密度探测单元，被配置为通过对蚀刻膜显微图像进行分析，实现蚀刻膜孔密度探测；

自反馈自动化生产单元，被配置为通过对蚀刻膜厚度测量，利用蚀刻膜厚度与卷膜机速度关系实现核孔膜蚀刻的自动化生产。

2.根据权利要求1所述的核孔膜蚀刻线自反馈联动生产控制装置，其特征在于，所述蚀刻液温度自动监测与加热单元包括温度传感器、加热棒、数据采集模块和控制分析单元；

所述温度传感器放置在蚀刻槽内，用于对蚀刻液的温度进行实时监测；

所述加热棒设置在蚀刻槽的底部，用于对蚀刻液温度进行加热；

所述数据采集模块用于将采集的温度数据发送到所述控制分析单元；

所述控制分析单元对温度数据进行分析，如果温度值超过预设阈值则触发连锁报警，同时启动所述加热棒，开始加热，如果温度值低于预设阈值则关闭连锁报警，并关闭所述加热棒，停止加热。

3.根据权利要求1所述的核孔膜蚀刻线自反馈联动生产控制装置，其特征在于，所述蚀刻膜孔密度探测单元包括显微单元、图像采集模块和控制分析单元；

蚀刻膜设置在所述显微单元的物镜下方；

所述图像采集模块设置在所述显微单元的目镜上方，用于拍摄蚀刻膜的显微成像；

所述控制分析单元获取图像采集模块采集的蚀刻膜显微成像，并将获取蚀刻膜显微成像图像识别蚀刻膜的实际孔数，通过蚀刻孔数判定进而判断出该核孔膜的密度。

4.根据权利要求1所述的核孔膜蚀刻线自反馈联动生产控制装置，其特征在于，所述自反馈自动化生产单元包括激光测厚仪和控制分析单元；

所述激光测厚仪用于测量蚀刻模的实际厚度；

所述控制分析单元根据膜厚度推算膜蚀刻是否合格，如果膜厚度高于设定值则被判定为核孔膜蚀刻不到位，则需要降低卷膜机速度让膜再多蚀刻一会，如果测定数据低于设定值，则被判定为核孔膜蚀刻过度，则要加快卷膜机的速度。

5.根据权利要求1所述的核孔膜蚀刻线自反馈联动生产控制装置，其特征在于，还包括核孔膜蚀刻生产故障回溯与诊断单元，被配置为对蚀刻生产中的数据存储与分析实现生产故障的回溯，实现故障的自动化诊断。

6.根据权利要求5所述的核孔膜蚀刻线自反馈联动生产控制装置，其特征在于，所述核孔膜蚀刻生产故障回溯与诊断单元包括控制分析单元和数据库；

所述数据库用于存储生产中历史数据和实时数据；

所述控制分析单元通过关联分析算法对数据库数据进行关联分析，判断所出故障是设备故障还是人为操作故障，获得故障诊断结果。

7.根据权利要求4所述的核孔膜蚀刻线自反馈联动生产控制装置，其特征在于，所述膜蚀刻线本体装置还包括卷膜装置、清洗槽、烘干槽和若干传动轴；

所述卷膜装置包括卷膜放料装置和卷膜收料装置，所述卷膜放料装置包括放料卷和放料电机，所述卷膜收料装置包括收料卷和收料电机，所述放料卷的转轴连接所述放料电机，所述收料卷的转轴连接所述收料电机；所述放料卷、蚀刻槽、清洗槽、烘干槽、激光测厚仪以及收料卷顺序依次间隔设置，所述蚀刻槽、清洗槽及烘干槽的底部均设置有传动轴，且相邻两槽之间上方也设置有传动轴；所述放料卷与蚀刻槽之间以及所述烘干槽与测厚装置之间均设置传动轴；所述激光测厚仪底部平行间隔设置有两个传动轴。