[发明专利]一种弱刚性平面构件的平行度测量方法

权利要求书

1.一种弱刚性平面构件的平行度测量方法，其特征在于，包括以下步骤：

第一步，将表面上预设通孔的打孔平晶(4)粘接在真空吸盘(5)上，打孔平晶(4)与真空吸盘(5)的粘接面不漏气；再将打孔平晶(4)和真空吸盘(5)放置在非接触式三坐标测量仪(1)的测量空间内，非接触式三坐标测量仪(1)通过非接触探头(2)对弱刚性平面构件(3)进行非接触式测量；

第二步，将弱刚性平面构件(3)放置在打孔平晶(4)上，通过真空吸盘(5)实现对弱刚性平面构件(3)的吸附和释放；开启真空吸盘(5)后，弱刚性平面构件(3)下表面与打孔平晶(4)上表面处于贴紧状态；

第三步，使用非接触式三坐标测量仪(1)测量打孔平晶(4)上表面的四个测量点，其中测量点为在打孔平晶(4)与弱刚性平面构件(3)未接触的上表面上任意选择的四个测量点；通过四个测量点的数据拟合出打孔平晶(4)上表面的平面方程：Z＝f(x，y)；

第四步，使用非接触式三坐标测量仪(1)对弱刚性平面构件(3)进行厚度测量，获取厚度测量数据；所述厚度测量方法为：利用非接触式三坐标测量仪(1)按照等间隔同心圆测量轨迹测得弱刚性平面构件(3)上表面的一组测量数据(x，y，z)，将这组测量数据的(x，y)值代入打孔平晶(4)的拟合上表面方程：Z＝f(x，y)，计算得到打孔平晶(4)上表面的一组数据(x，y，Z)，将打孔平晶(4)上表面的计算数据与弱刚性平面构件(3)上表面的测量数据做差，即可得到整个弱刚性平面构件(3)的厚度数据；

第五步，关闭真空吸盘(5)，释放弱刚性平面构件(3)，弱刚性平面构件(3)恢复到原来的表面形貌；此时，采用非接触式三坐标测量仪(1)按照与步骤四相同的等间隔同心圆测量轨迹测量弱刚性平面构件(3)上表面平面度数据；

第六步，将弱刚性平面构件(3)厚度数据与上表面平面度数据相加，得到弱刚性平面构件(3)下表面平面度数据；至此，得到弱刚性平面构件(3)两表面的形貌信息；

第七步：利用最小二乘法，对弱刚性平面构件(3)下表面平面度的数据进行平面拟合，得到拟合基准平面(8)；则平行于拟合基准平面(8)且包容弱刚性平面构件(3)上表面的两平行平面的距离为弱刚性平面构件(3)的平行度数值p，此平行度数值p为：p＝(M-m)*cosθ，其中θ为拟合基准平面(8)与水平面(9)的夹角，M、m分别为弱刚性平面构件(3)上表面的平面度数据减去拟合基准平面的平面度数据所得的最大值、最小值。

2.根据权利要求1所述的一种弱刚性平面构件的平行度测量方法，其特征在于，所述打孔平晶(4)平面度能达到0.1μm，可视为理想平面作为弱刚性平面构件(3)厚度测量的基准。

3.根据权利要求1所述的一种弱刚性平面构件的平行度测量方法，其特征在于，所述打孔平晶(4)表面上预设的通孔沿半径方向呈放射状分布。