[实用新型]一种薄膜压力传感器的检测装置有效
申请号: | 202023344540.1 | 申请日: | 2020-12-31 |
公开(公告)号: | CN213688789U | 公开(公告)日: | 2021-07-13 |
发明(设计)人: | 凌舞;金林升 | 申请(专利权)人: | 浙江金池科技有限公司 |
主分类号: | G01L25/00 | 分类号: | G01L25/00 |
代理公司: | 北京维正专利代理有限公司 11508 | 代理人: | 赵保迪 |
地址: | 312000 浙江*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 薄膜 压力传感器 检测 装置 | ||
本申请涉及检测装置的技术领域,公开了一种薄膜压力传感器的检测装置,包括支撑平台,支撑平台设有第一驱动组件,第一驱动组件设有第二驱动组件,第二驱动组件连接有第三气缸,第三气缸的活塞杆设有安装座,安装座上设有砝码;第二驱动组件的滑移方向与第三气缸的滑移方向垂直,第三气缸的滑移方向与安装座的滑移方向垂直;第一驱动组件包括固定设置于支撑平台上的第一气缸,第二驱动组件与第一气缸的活塞杆相连。工作时,工作人员只需要控制第一气缸以及第二驱动组件,即能够将砝码移动至待测工件的正上方,因此工作人员只需将待测工件放置于支撑平台上,即能够方便的将砝码放置于待测工件的感应部,结构简单,检测工作方便快捷。
技术领域
本申请涉及检测装置的技术领域,尤其是涉及一种薄膜压力传感器的检测装置。
背景技术
薄膜压力传感器是一种常见的压力传感器,相关技术中的薄膜压力传感器如申请公布号为CN105806517A公开了一种压力传感器,包括上电极层、下电极层以及布置在上电极层、下电极层之间的绝缘层,绝缘层上设置有与上电极层、下电极层上的电极相对应的通孔,上电极层、下电极层上分布有多组对应布置的电极点。在薄膜压力传感器受压时,上、下电极层上对应的电极点之间的阻力发生变化,根据对应电极点之间的阻力变化计算出薄膜压力传感器对应位置处所受到的压力。
薄膜压力传感器在使用前,需要对薄膜压力传感器的承受力与实际承受力进行检测校验,因此需要使用相应的检测装置对其进行检测。相关技术中,薄膜压力传感器的压力检测装置包括支撑平台,支撑平台的一侧固定设置有连接柱,连接柱上固定连接有支撑杆,支撑杆沿水平方向延伸,并且支撑杆位于支撑平台的上方。支撑杆上连接气缸,气缸活塞杆的轴向为竖直方向。气缸的活塞杆上连接有安装座,气缸驱动安装座朝向靠近以及远离支撑平台滑移,安装座上挂设有砝码。
工作时,工作人员先启动气缸,带动安装座朝向远离支撑平台的方向滑移,将待检测压力的薄膜压力传感器放置在气缸下方的支撑平台上。然后工作人员将砝码按照薄膜压力传感器标识额定重力挂设相应重量的砝码。然后,启动气缸,带动安装座朝向支撑平台的方向滑移,直到砝码与薄膜压力传感器接触后薄膜压力传感器将砝码完全支持起来之后,此时安装座仅对砝码起到周向的支撑力,竖直方向上砝码仅受到薄膜压力传感器的支持力。然后工作人员将气缸关闭,观察薄膜压力传感器的示数,从而与砝码的质量进行对比,从而检测出薄膜压力传感器的准确度。
但是,相关技术中提到的薄膜压力传感器的压力检测装置中挂设砝码的安装座仅仅只能朝靠近已经远离支撑平台的方向滑移,不能在水平方向发生移动,只能依靠工作人员将待测压力的工件对准安装座上的砝码以完成压力检测工作,从而造成了测量待测工件压力工作的不便。
实用新型内容
为了解决工作人员测量待测工件压力工作不便的问题,本申请提供一种薄膜压力传感器的检测装置。
本申请提供的一种薄膜压力传感器的检测装置,采用如下的技术方案:
一种薄膜压力传感器的检测装置,包括支撑平台,所述支撑平台设有第一驱动组件,所述第一驱动组件设有第二驱动组件以驱动所述第二驱动组件滑移,所述第二驱动组件连接有第三气缸以驱动所述第三气缸滑移,所述第三气缸的活塞杆设有安装座以驱动安装座沿竖直方向移动,所述安装座上设有砝码;所述第二驱动组件的滑移方向与第三气缸的滑移方向垂直,所述第三气缸的滑移方向与所述安装座的滑移方向垂直;所述第一驱动组件包括固定设置于所述支撑平台上的第一气缸,所述第二驱动组件与所述第一气缸的活塞杆相连。
通过采用上述技术方案,工作时,工作人员将待测工件放置在支撑平台上,然后观察待测工件的承重质量后,将相对应的砝码挂设在安装座上。接着启动第一气缸以及第二驱动组件,最终带动砝码移动至待测工件的正上方,然后启动第三气缸,带动砝码抵紧在待测工件上,从而完成了工件的校验工作。工作时,工作人员只需要控制第一气缸以及第二驱动组件,即能够将砝码移动至待测工件的正上方,因此工作人员只需将待测工件放置于支撑平台上,即能够方便的将砝码放置于待测工件的感应部,结构简单,检测工作方便快捷。
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