[实用新型]一种氩气净化装置

权利要求书

1.一种氩气净化装置，包括低温储罐(1)，其特征在于：所述低温储罐(1)底部固定连接有出液管(2)，所述出液管(2)远离低温储罐(1)一端贯穿有储水箱(3)，所述出液管(2)与储水箱(3)固定连接，所述出液管(2)远离低温储罐(1)一端固定连接有进液管(4)，所述进液管(4)两端设有有空温式汽化器(5)，所述空温式汽化器(5)输入端与进液管(4)固定连接，所述空温式汽化器(5)输出端固定连接有三通管(6)，所述三通管(6)远离空温式汽化器(5)一端贯穿储水箱(3)，所述储水箱(3)与三通管(6)固定连接，所述三通管(6)贯穿储水箱(3)一端设有减压装置(7)，所述减压装置(7)输入端与三通管(6)固定连接，所述减压装置(7)输出端固定连接有进气管(8)，所述进气管(8)远离减压装置(7)一端设有纯化装置(9)，所述纯化装置(9)输入端与进气管(8)固定连接，所述纯化装置(9)输出端固定连接有出气管(10)，所述出气管(10)远离纯化装置(9)一端设有隔膜压缩机(11)，所述隔膜压缩机(11)输入端与出气管(10)固定连接，所述储水箱(3)外壁一侧设有水温机(12)，所述水温机(12)输出端和输入端均固定连接有换水管(13)，所述换水管(13)与储水箱(3)固定连接。

2.根据权利要求1所述的一种氩气净化装置，其特征在于：所述出液管(2)上靠近低温储罐(1)一端固定连接有第一流量阀(14)，所述出液管(2)上靠近储水箱(3)一端固定连接有液体流量计(15)。

3.根据权利要求1所述的一种氩气净化装置，其特征在于：所述进液管(4)上靠近出液管(2)的两端均固定连接有第二流量阀(16)。

4.根据权利要求1所述的一种氩气净化装置，其特征在于：所述三通管(6)上靠近两个空温式汽化器(5)的两端均固定连接有第三流量阀(17)。

5.根据权利要求4所述的一种氩气净化装置，其特征在于：所述三通管(6)上远离两个第三流量阀(17)的一端固定连接有压力表(18)。

6.根据权利要求1所述的一种氩气净化装置，其特征在于：所述储水箱(3)内部灌满有淹没空温式汽化器(5)的水。

7.根据权利要求1所述的一种氩气净化装置，其特征在于：所述隔膜压缩机(11)的输出端通过管道与外界充装排的输入端固定连接。