[实用新型]一种砷化镓晶体生长设备有效
| 申请号： | 202021102937.7 | 申请日： | 2020-06-15 |
| 公开（公告）号： | CN213172686U | 公开（公告）日： | 2021-05-11 |
| 发明（设计）人： | 马争荣;王建玲 | 申请（专利权）人： | 高密普特电子设备有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/42 | 分类号： | C30B29/42;C30B15/30;C30B15/32 |
| 代理公司： | 济南诚智商标专利事务所有限公司 37105 | 代理人： | 殷盛江 |
| 地址： | 261500 山东省潍坊*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 砷化镓 晶体生长 设备 | ||
1.一种砷化镓晶体生长设备，包括固定板(1)，其特征在于：所述固定板(1)的顶部固定安装有数量为两个的支撑臂(2)，两个所述支撑臂(2)的内侧固定安装有支撑架(4)，所述支撑架(4)的内侧固定安装有限位环(5)，所述限位环(5)的内部活动安装有滚珠(6)，所述支撑架(4)的内侧固定安装有坩埚(7)，所述坩埚(7)的下方且位于固定板(1)的顶部固定安装有第一电机(3)，所述坩埚(7)的内部活动安装有籽晶夹持器(8)，所述籽晶夹持器(8)的顶部固定安装有延伸至坩埚(7)顶部外侧的连接杆(9)，所述连接杆(9)的顶部固定安装有第二电机(10)，所述第二电机(10)的顶部固定安装有延伸至左侧支撑臂(2)内部的升降板(11)，所述升降板(11)的底部且位于左侧支撑臂(2)的内部固定安装有升降杆(12)，所述升降杆(12)远离升降板(11)的一端固定安装有液压缸(13)。
2.根据权利要求1所述的一种砷化镓晶体生长设备，其特征在于：所述支撑架(4)的底部固定安装有轴承，轴承的内侧半径与第一电机(3)输出轴的半径相适配。
3.根据权利要求1所述的一种砷化镓晶体生长设备，其特征在于：所述坩埚(7)的外侧开设有与限位环(5)相适配的夹持槽，坩埚(7)的外侧且位于夹持槽的内侧开设有与滚珠(6)相适配的滚槽。
4.根据权利要求1所述的一种砷化镓晶体生长设备，其特征在于：所述坩埚(7)的顶部开设有与籽晶夹持器(8)相适配的通孔，坩埚(7)的外侧半径与支撑架(4)的内侧半径相适配。
5.根据权利要求1所述的一种砷化镓晶体生长设备，其特征在于：左侧所述支撑臂(2)的内部开设有与液压缸(13)相适配的安装腔，左侧支撑臂(2)的左侧开设有与升降板(11)相适配的升降滑槽。
6.根据权利要求1所述的一种砷化镓晶体生长设备，其特征在于：所述第一电机(3)与第二电机(10)均为三相电机，第一电机(3)的输出轴与坩埚(7)的底部固定连接，第二电机(10)输出轴的底部与连接杆(9)固定连接，所述第一电机(3)的功率大于第二电机(10)的功率。
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