[实用新型]基于线性位移传感器的多功能检测装置

说明书

本实用新型公开了基于线性位移传感器的多功能检测装置，涉及线性位移传感器检测技术领域，解决了现有检测装置功能单一的问题，其技术方案要点是：包括基座、直线电机、高精度光栅位移传感器、试品线性位移传感器和主控单元，基座固定连接有导轨；直线电机包括电机动子和电机定子；高精度光栅位移传感器和试品线性位移传感器均包括固定部和检测探头，固定部均固定在基座上，检测探头均与电机动子固定连接；高精度光栅位移传感器和直线电机均与主控单元电性连接，高精度光栅位移传感器与试品线性位移传感器电性连接有数据采集单元，具有既可以实现定位精度测量，又可以实现动态位置检测准确性和频域失真检测，增强检测装置使用范围的效果。

技术领域

本实用新型涉及线性位移传感器检测技术领域，更具体地说，它涉及基于线性位移传感器的多功能检测装置。

背景技术

位移传感器又称为线性传感器，是一种属于金属感应的线性器件，传感器的作用是把各种被测物理量转换为电量。小位移通常用应变式、电感式、差动变压器式、涡流式、霍尔传感器来检测，大的位移常用感应同步器、光栅、容栅、磁栅等传感技术来测量。

光栅传感器因具有易实现数字化、精度高(目前分辨率最高的可达到纳米级)、抗干扰能力强、没有人为读数误差、安装方便、使用可靠等优点，在精密数控机床、检测仪表等行业中得到日益广泛的应用。传统的线性位移传感器检测装置主要是实现定位精度测量，其功能单一。而线性位移传感器检测装置受使用时间、外界干扰、电容等影响，其测量误差将会随之改变，对检测结果准确性要求较高的场所将难以适用。

因此，如何设计一种既可以实现定位精度测量，又可以实现动态位置检测准确性和频域失真检测的多功能检测装置是我们目前迫切需要解决的问题。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供基于线性位移传感器的多功能检测装置，具有既可以实现定位精度测量，又可以实现动态位置检测准确性和频域失真检测，增强检测装置使用范围的效果。

本实用新型的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：基于线性位移传感器的多功能检测装置，包括基座、直线电机、高精度光栅位移传感器、试品线性位移传感器和主控单元，基座固定连接有导轨；所述直线电机包括与导轨活动连接的电机动子以及与基座固定连接的电机定子；所述高精度光栅位移传感器和试品线性位移传感器均包括固定部和与固定部活动连接的检测探头，高精度光栅位移传感器和试品线性位移传感器的固定部平行固定在基座上，高精度光栅位移传感器和试品线性位移传感器的检测探头均与电机动子固定连接；所述高精度光栅位移传感器和直线电机均与主控单元电性连接，所述高精度光栅位移传感器与试品线性位移传感器的输出端电性连接有数据采集单元。

通过采用上述技术方案，单独启动试品线性位移传感器，即可实现传统的静态定位精度测量；同时启动高精度光栅位移传感器、试品线性位移传感器，直线电机同时驱动检测探头相对于固定部移动，高精度光栅位移传感器、试品线性位移传感器将检测信号传输至数据采集单元，即可实现数据采集单元对试品线性位移传感器的动态精度测量和运动测量位置、速度频域失真检测；主控单元可设定直线电机的移动速度和位移，高精度光栅位移传感器的反馈信号伺服驱动直线电机按照主控单元设定的移动速度和位移进行移动。

本实用新型进一步设置为：所述高精度光栅位移传感器的检测精度不小于试品线性位移传感器的检测精度；所述试品线性位移传感器为光栅、时栅、磁栅、容栅位移传感器中的任意一种。

通过采用上述技术方案，便于以高精度光栅位移传感器的检测结果为基准对试品线性位移传感器的检测结果进行对比分析。

本实用新型进一步设置为：所述主控单元包括运动控制器和交流伺服驱动器。

通过采用上述技术方案，使得高精度光栅位移传感器、主控单元和直线电机形成闭环控制回路。

本实用新型进一步设置为：所述高精度光栅位移传感器和试品线性位移传感器的检测探头均通过机械连接件与电机动子固定连接。