[发明专利]用于晶圆升降的顶针支撑部件的装配方法

权利要求书

1.用于晶圆升降的顶针支撑部件的装配方法，其特征在于：包括以下步骤：

(a)设计装配工装 设计专用装配工装用以简化顶针支撑部件装配工序，从而实现快速合理的装配；

(b)加工装配工装 按图纸要求加工装配工装；

(c) 对装配工装进行本色阳极氧化处理；

(d)安装陶瓷顶针 将装配工装（3）底面朝上，三个陶瓷顶针（2）分别放入顶针孔（32）内，在底部对应位置安装支撑底座（1），三个陶瓷顶针（2）插进支撑底座（1）陶瓷顶针孔内；将两个定位销（4）装入支撑底座（1）和装配工装（3）定位销孔（31）中,两个螺钉（5）将支撑底座（1）紧固在装配工装（3）上；

(e)灌胶 用工具轻压陶瓷顶针（2）尾部，使三个陶瓷顶针（2）头部与装配工装（3）上顶针孔（32）底孔接触,在支撑底座（1）上陶瓷顶针孔内灌环氧树脂密封胶固定陶瓷顶针（2）；

(f)烘烤 从装配工装（3）上卸下安装好的顶针支撑部件，放入烤箱，设定温度110~130°烘烤 3~4小时即可。

2.根据权利要求1所述的用于晶圆升降的顶针支撑部件的装配方法，其特征在于：所述步骤（a）设计特点;(1) 装配工装设计为整体结构；（2）设计2个直径4mm定位销孔(31)，用于支撑底座(1)和装配工装（3）之间快速定位；(3)设计3个顶针孔(32)，用于固定陶瓷顶针(2); (4)设计2个M4螺纹孔（33），用于锁紧支撑底座(1)与装配工装（3）；（5）装配工装（3）整体的本色阳极氧化处理，避免了装配过程中陶瓷顶针（2）划伤和污染陶瓷顶针（2）。

3.根据权利要求1所述的用于晶圆升降的顶针支撑部件的装配方法，其特征在于：所述步骤（b）中3个顶针孔(32)的深度采用靠模加工，靠模加工的优点：（1）保证了3个顶针孔(32)的位置关系，即互成120°；（2）保证了3个顶针孔(32)与装配工装（3）安装面的垂直度；（3）保证了3个顶针孔(32)深度尺寸的一致性。