[发明专利]石英连熔炉芯杆气压稳定装置

权利要求书

1.一种石英连熔炉芯杆气压稳定装置，包括炉体（1），其特征在于，所述炉体（1）内部固定安装有坩埚（2），所述坩埚（2）内部设置有芯杆（3），所述坩埚（2）外侧套设有主加热套（4），所述坩埚（2）外侧底部套设有辅助加热套（5），所述主加热套（4）和辅助加热套（5）外侧设置有保温层（6），所述保温层（6）底部靠近下料口的一侧设置有隔热层（7），所述炉体（1）外部一侧设置有第一电加热器（8），所述炉体（1）外部靠近第一电加热器（8）底部一侧设置有第二电加热器（9），所述炉体（1）的顶部固定安装有炉盖（10），所述炉盖（10）顶部一侧设置有进料口（11），所述所述炉盖（10）顶部远离进料口（11）的一侧固定安装有气泵（15），所述气泵（15）通过管道与芯杆（3）进气管相互接通，且所述气泵（15）与芯杆（3）相互连接的管道上设置有调压阀门（14），所述气泵（15）另一端通过管道连接有保护气气瓶（16）。

2.根据权利要求1所述的一种石英连熔炉芯杆气压稳定装置，其特征在于，所述第一电加热器（8）和第二电加热器（9）顶部均设置有出气管，所述第一电加热器（8）的出气管通过管道与主加热套（4）相互接通，所述第二电加热器（9）的出气管与辅助加热套（5）相互接通。

3.根据权利要求1所述的一种石英连熔炉芯杆气压稳定装置，其特征在于，所述调压阀门（14）包括阀体（17），所述阀体（17）内部一侧固定安装有气缸（18），所述气缸（18）的伸缩杆连接有活塞杆（20），所述活塞杆（20）套设有密封隔板（19），所述活塞杆（20）另一端抵接有调压球（21）。

4.根据权利要求3所述的一种石英连熔炉芯杆气压稳定装置，其特征在于，所述调压球（21）的球径略大于进气管直径，所述活塞杆（20）底部为锥形，所述阀体（17）与活塞杆（20）接触部分为锥形，且所述阀体（17）与活塞杆（20）接触部分紧密卡合。

5.根据权利要求1所述的一种石英连熔炉芯杆气压稳定装置，其特征在于，所述气泵（15）顶部固定安装有气压表（22），且所述气压表（22）的进气口通过管道与气泵（15）相互接通。

6.根据权利要求1所述的一种石英连熔炉芯杆气压稳定装置，其特征在于，所述炉体（1）外部靠近气泵（15）的一侧固定安装有环形安装座（23），所述保护气气瓶（16）固定安装在环形安装座（23）的内部。

7.根据权利要求1所述的一种石英连熔炉芯杆气压稳定装置，其特征在于，所述进料口（11）顶部为锥形，且所述进料口（11）在管口下方设置有进料控制阀。

8.根据权利要求1所述的一种石英连熔炉芯杆气压稳定装置，其特征在于，所述炉体（1）底部在靠近下料口一侧设置有冷却水套（12），所述冷却水套（12）底部固定安装有测径仪（13）。