[发明专利]一种全通式真空界面隔膜阀疲劳测试系统

权利要求书

1.一种全通式真空界面隔膜阀疲劳测试系统，其特征在于：包括压缩机(1)、脉冲阀(3)、调压阀(4)、导压阀(5)和隔膜阀(6)，所述压缩机(1)通过管道(2)连接有脉冲阀(3)，脉冲阀(3)通过管道(2)连接有调压阀(4)，调压阀(4)右端与导压阀(5)连接成整体；所述导压阀(5)下端从左至右设有大气孔(21)和真空孔(22)，大气孔(21)外接大气，真空孔(22)外接真空源，导压阀(5)右端开口接入大气；所述导压阀(5)上端设有导压孔(19)，导压孔(19)通过管道(2)连接隔膜阀(6)的内空腔，隔膜阀(6)出口外接真空源；

所述调压阀(4)包括调压左阀体(7)、调压膜片(9)、调压右阀体(10)、调压螺母(11)、调压阀杆(12)、调压弹簧(13)和磁铁(14)，所述调压左阀体(7)与调压右阀体(10)之间夹装有调压膜片(9)，调压膜片(9)中部连接有调压阀杆(12)，调压阀杆(12)上套装有调压弹簧(13)，调压弹簧(13)两端分别与调压膜片(9)、调压右阀体(10)内壁面相接触，调压膜片(9)左侧与调压螺母(11)相接触，调压螺母(11)安装于调压左阀体(7)左侧中部；所述调压左阀体(7)上端开有大气补偿孔(8)，大气补偿孔(8)为阶梯孔；所述调压阀杆(12)右端嵌装有磁铁(14)；所述调压左阀体(7)与调压右阀体(10)之间的下端嵌装有管头，管头通过管道(2)连接脉冲阀(3)；

所述调压阀(4)右端通过连接壳(16)与导压阀(5)连接为整体，导压阀(5)包括磁铁(14)、导压弹簧(15)、导压膜片(17)、导压杆(18)、膜片压盖(23)、导压左阀体(24)、导压中阀体(25)和导压右阀体(26)，所述连接壳(16)右侧面依次连接有膜片压盖(23)、导压左阀体(24)、导压中阀体(25)和导压右阀体(26)；所述连接壳(16)与膜片压盖(23)之间固定有导压膜片(17)，导压膜片(17)中部连接有导压杆(18)，导压杆(18)左端套装有磁铁(14)，导压杆(18)上套装有导压弹簧(15)，导压弹簧(15)右端与导压左阀体(24)内腔壁面相接触，导压左阀体(24)安装于膜片压盖(23)右侧，导压左阀体(24)右端安装有导压中阀体(25)，导压中阀体(25)右端连接有导压右阀体(26)；所述导压左阀体(24)与导压中阀体(25)的内部空腔内横向设有导压杆(18)，导压杆(18)右侧设有数量为2的环形凸起结构；所述导压左阀体(24)下端中部设有大气孔(21)，大气孔(21)为圆形通孔，大气孔(21)外接大气；所述导压左阀体(24)上端与导压中阀体(25)上端之间、导压中阀体(25)上端与导压右阀体(26)上端之间均设有导压孔(19)，导压孔(19)通过管道(2)连接隔膜阀(6)的内空腔，导压左阀体(24)与导压中阀体(25)之间、导压中阀体(25)与导压右阀体(26)之间均设有密封圈(20)；所述导压中阀体(25)下端竖直设有真空孔(22)，真空孔(22)为圆形通孔，真空孔(22)外接真空源。