[发明专利]晶圆测试的异常数据聚类方法、装置、电子设备与介质

权利要求书

1.一种晶圆测试的异常数据聚类方法，其特征在于，包括：

获取待聚类异常数据；所述待聚类异常数据包括多个样本，每个样本包括多个参数，每个参数包括多个电流数据，其中，不同样本对应于不同的待测实体，同一样本中的不同参数对应于所实施的不同种类的测试，同一参数中的不同电流数据对应于实施测试时所施加的不同电压；

针对于每个参数，对所述多个样本中该参数的电流数据进行一次聚类，得到每个样本中每个参数的参数标签；

根据各样本中的参数标签，对所述多个样本进行二次聚类，得到每个样本的样本标签。

2.根据权利要求1所述的晶圆测试的异常数据聚类方法，其特征在于，针对于每个参数，对所述多个样本中该参数的电流数据进行一次聚类，得到每个样本中每个参数的参数标签，包括：

针对于每个参数，根据不同样本间该参数中电流数据的欧式距离进行所述一次聚类，得到所述参数标签。

3.根据权利要求1所述的晶圆测试的异常数据聚类方法，其特征在于，所述参数标签是利用字符表征的，每个样本中参数标签的字符能够形成字符串；

根据各样本中的参数标签，对所述多个样本进行二次聚类，得到每个样本的样本标签，包括：

根据不同样本的字符串之间的汉明距离，对所述多个样本进行聚类，得到所述样本标签。

4.根据权利要求1至3任一项所述的晶圆测试的异常数据聚类方法，其特征在于，所述一次聚类与所述二次聚类均采用DBSCAN。

5.根据权利要求1至3任一项所述的晶圆测试的异常数据聚类方法，其特征在于，获取待聚类异常数据，包括：

获取晶圆测试得到的原始异常数据；

根据所述原始异常数据，确定所述待聚类异常数据，所述待聚类异常数据的数据量小于所述原始异常数据。

6.根据权利要求5所述的晶圆测试的异常数据聚类方法，其特征在于，根据所述原始异常数据，确定所述待聚类异常数据，包括：

对所述原始异常数据进行取对数，得到取对数的异常数据；

对所述取对数的异常数据进行降维处理，得到所述待聚类异常数据。

7.根据权利要求1至3任一项所述的晶圆测试的异常数据聚类方法，其特征在于，若所述参数中的电流数据随电压值的递增而递增，则：对应的降维处理为PAA降维处理。

8.一种晶圆测试的异常数据聚类装置，其特征在于，包括：

获取模块，用于获取待聚类异常数据；所述待聚类异常数据包括多个样本，每个样本包括多个参数，每个参数包括多个电流数据，其中，不同样本对应于不同的待测实体，同一样本中的不同参数对应于所实施的不同种类的测试，同一参数中的不同电流数据对应于实施测试时所施加的不同电压；

一次聚类模块，用于针对于每个参数，对所述多个样本中该参数的电流数据进行一次聚类，得到每个样本中每个参数的参数标签；

二次聚类模块，用于根据各样本中的参数标签，对所述多个样本进行二次聚类，得到每个样本的样本标签。

9.一种电子设备，其特征在于，包括处理器与存储器，

所述存储器，用于存储代码和相关数据；

所述处理器，用于执行所述存储器中的代码用以实现权利要求1至7任一项所述的晶圆测试的异常数据聚类方法。

10.一种存储介质，其上存储有计算机程序，该程序被处理器执行时实现权利要求1至7任一项所述的晶圆测试的异常数据聚类方法。