[发明专利]石墨烯等离激元多频带吸收器及其制备方法

权利要求书

1.一种石墨烯等离激元多频带吸收器，其特征在于：包括金属衬底和石墨烯层，所述石墨烯层与所述金属衬底连接；所述金属衬底上分布有倾斜空气槽阵列，形成一维金属栅结构；所述倾斜空气槽阵列由倾斜空气槽按周期排列而成，其周期为800纳米；空气槽的宽和高分别是100纳米和300纳米；空气槽的倾斜角度为45^o；所述金属衬底的厚度为400纳米。

2.根据权利要求1所述的石墨烯等离激元多频带吸收器，其特征在于：所述石墨烯层为单层完整的石墨烯。

3.根据权利要求2所述的石墨烯等离激元多频带吸收器，其特征在于：所述金属衬底的材料为金。

4.根据权利要求1所述的石墨烯等离激元多频带吸收器的制备方法，包括以下步骤：

步骤1、提供金属衬底和硅片；

步骤2、运用刻蚀技术，在金属衬底上表面刻蚀出倾斜空气槽阵列；

步骤3、在硅片上利用化学气相沉积法制造一层石墨烯；

步骤4、将步骤3制造的石墨烯转移到步骤2的金属衬底上表面，得到石墨烯等离激元多频带吸收器。